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公开(公告)号：CN110140038A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201780081876.5
申请日：2017-11-21
Applicant: 斯维尔系统
IPC: G01M11/00 , G01R31/311 , G02B5/04
Abstract: 本公开的各方面涉及一种用于执行具有面内光轴的光学微机电系统(MEMS)结构的晶片测试的集成光学探针卡和系统。可以利用一个或多个微光学平台组件来执行光学MEMS结构的晶片上光学屏蔽，以在垂直于面内光轴的面外方向与平行于面内光轴的面内方向之间重定向光以便能够通过光的竖直注入来测试光学MEMS结构。
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公开(公告)号：CN117501099A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202280025616.7
申请日：2022-02-02
Applicant: 斯维尔系统
Inventor： Y·M·萨布里 , B·A·莫尔塔达 , K·哈桑 , A·A·M·M·E·萨勒姆 , D·卡里尔 , M·H·埃尔·哈龙 , M·A·埃尔谢赫 , A·什布尔 , B·萨达尼 , M·梅德哈特 , B·G·I·谢努达
IPC: G01N21/25
Abstract: 各方面涉及一种紧凑型材料分析仪，该紧凑型材料分析仪包括光源、检测器和模块，该模块包括在该模块的第一面上的第一光学窗口、在该模块的与第一面相对的第二面上的第二光学窗口、以及光调制器。光源产生高功率的输入光，该输入光穿过第一光学窗口被传递到光调制器。光调制器被配置为衰减输入光、基于输入光产生调制光、并且引导调制光穿过第二光学窗口到样品。由光调制器产生的调制光对于样品来说是以较低功率安全的。检测器被配置为穿过第二光学窗口的来自样品的由与调制光的相互作用而产生的输出光，并且检测输出光的光谱。
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公开(公告)号：CN110140038B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201780081876.5
申请日：2017-11-21
Applicant: 斯维尔系统
IPC: G01M11/00 , G01R31/311 , G02B5/04
Abstract: 本公开的各方面涉及一种用于执行具有面内光轴的光学微机电系统(MEMS)结构的晶片测试的集成光学探针卡和系统。可以利用一个或多个微光学平台组件来执行光学MEMS结构的晶片上光学屏蔽，以在垂直于面内光轴的面外方向与平行于面内光轴的面内方向之间重定向光以便能够通过光的竖直注入来测试光学MEMS结构。
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