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公开(公告)号:CN107250858A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201680011152.9
申请日:2016-02-19
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 一种微型光学台器件通过以下工艺来制造,所述工艺提供对所述微型光学台器件的一种或者多种特性和/或所述微型光学台器件中的光学表面的一种或者多种特性的控制。所述工艺包括:蚀刻衬底以形成临时性结构和包括光学元件的永久性结构。所述临时性结构的形状和在所述临时性结构与永久性结构之间的间隙有助于控制所述微型光学台和/或所述微型光学台中的光学表面的特性。所述工艺进一步包括从所述微型光学台器件的光路去除所述临时性结构。
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公开(公告)号:CN109983313A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201780037361.5
申请日:2017-06-15
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 本公开的方面涉及集成光谱单元,其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构,其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜,该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。
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公开(公告)号:CN107250858B
公开(公告)日:2020-06-16
申请号:CN201680011152.9
申请日:2016-02-19
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 一种微型光学台器件通过以下工艺来制造,所述工艺提供对所述微型光学台器件的一种或者多种特性和/或所述微型光学台器件中的光学表面的一种或者多种特性的控制。所述工艺包括:蚀刻衬底以形成临时性结构和包括光学元件的永久性结构。所述临时性结构的形状和在所述临时性结构与永久性结构之间的间隙有助于控制所述微型光学台和/或所述微型光学台中的光学表面的特性。所述工艺进一步包括从所述微型光学台器件的光路去除所述临时性结构。
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公开(公告)号:CN117501099A
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN202280025616.7
申请日:2022-02-02
Applicant: 斯维尔系统
Inventor: Y·M·萨布里 , B·A·莫尔塔达 , K·哈桑 , A·A·M·M·E·萨勒姆 , D·卡里尔 , M·H·埃尔·哈龙 , M·A·埃尔谢赫 , A·什布尔 , B·萨达尼 , M·梅德哈特 , B·G·I·谢努达
IPC: G01N21/25
Abstract: 各方面涉及一种紧凑型材料分析仪,该紧凑型材料分析仪包括光源、检测器和模块,该模块包括在该模块的第一面上的第一光学窗口、在该模块的与第一面相对的第二面上的第二光学窗口、以及光调制器。光源产生高功率的输入光,该输入光穿过第一光学窗口被传递到光调制器。光调制器被配置为衰减输入光、基于输入光产生调制光、并且引导调制光穿过第二光学窗口到样品。由光调制器产生的调制光对于样品来说是以较低功率安全的。检测器被配置为穿过第二光学窗口的来自样品的由与调制光的相互作用而产生的输出光,并且检测输出光的光谱。
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公开(公告)号:CN109983313B
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN201780037361.5
申请日:2017-06-15
Applicant: 斯维尔系统
Abstract: 本公开的方面涉及集成光谱单元,其包括在第一基板内制造的微机电系统(MEMS)干涉仪以及在第二基板上集成的光重定向结构,其中第二基板被耦合到第一基板。光重定向结构包括至少一个镜,该至少一个镜用于接收在相对于第一基板的面外方向上传播的输入光束以及将输入光束重定向到朝向MEMS干涉仪的相对于第一基板的面内方向。
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