公开(公告)号：CN1282692C

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN03142368.X

申请日：2003-06-10

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 岩丸俊一

IPC: C08J7/06 ,  B32B5/00 ,  G02B1/11 ,  H01J9/02 ,  H05H1/34 ,  H05H1/48

CPC classification number: C23C30/00 ,  B05D1/62 ,  C23C4/18 ,  C23C16/509 ,  C23C16/545 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/485 ,  Y10S156/914

Abstract: 一种电介质涂覆的电极，它具有在其表面上用电介质涂覆的导电性基质材料，电介质包括第一金属原子和第二金属原子。关于第一金属原子的离子强度和第二金属原子的离子强度，根据动态的SIMS测量，从电介质的最表面向电介质的预定深度，第二金属原子的离子强度大于第一金属原子的离子强度，从上述预定深度向导电性基质材料表面，第一金属原子的离子强度大于第二金属原子的离子强度。

公开(公告)号：CN1468892A

公开(公告)日：2004-01-21

申请号：CN03142368.X

申请日：2003-06-10

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 岩丸俊一

IPC: C08J7/06 ,  B32B5/00 ,  G02B1/11 ,  H01J9/02 ,  H05H1/34 ,  H05H1/48

CPC classification number: C23C30/00 ,  B05D1/62 ,  C23C4/18 ,  C23C16/509 ,  C23C16/545 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/485 ,  Y10S156/914

Abstract: 一种电介质涂覆的电极，它具有在其表面上用电介质涂覆的导电性基质材料，电介质包括第一金属原子和第二金属原子。关于第一金属原子的离子强度和第二金属原子的离子强度，根据动态的SIMS测量，从电介质的最表面向电介质的预定深度，第二金属原子的离子强度大于第一金属原子的离子强度，从上述预定深度向导电性基质材料表面，第一金属原子的离子强度大于第二金属原子的离子强度。

公开(公告)号：CN1398305A

公开(公告)日：2003-02-19

申请号：CN01804728.9

申请日：2001-12-06

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 福田和浩 ,  近藤庆和 ,  村上隆 ,  岩丸俊一 ,  村松由海 ,  辻稔夫

IPC: C23C16/505 ,  G02B1/10

CPC classification number: G02B1/11 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18 ,  C23C16/402 ,  C23C16/405 ,  C23C16/509 ,  C23C16/5093 ,  C23C16/545 ,  G02B1/10 ,  G02B1/115 ,  G02B1/14 ,  G02B1/16 ,  G02B1/18 ,  H01J37/32532

Abstract: 一种薄膜形成方法，其特征在于：通过在大气压或大气压附近的压力下，在对置的两种电极之间，以超过10kHz的高频电压供给1W/cm2以上的电力而放电，使反应性气体成为等离子态，通过在上述等离子态的反应性气体中暴露衬底，在上述衬底上形成薄膜。