公开(公告)号：CN100469944C

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200410092935.3

申请日：2002-04-22

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 村上隆 ,  福田和浩

IPC: C23C16/513 ,  C23C16/22 ,  G02B1/10 ,  G02B5/30 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1337 ,  B32B23/00 ,  B32B23/08

CPC classification number: B05D1/62 ,  C23C16/509 ,  C23C16/545 ,  Y02T50/67

Abstract: 一种形成一个第一层的方法，包括：使一个基片的表面或提供在一个基片上的一个第二层经受等离子放电处理，以便在向形成于彼此相对的一个第一电极与一个第二电极之间的一个间隙供给反应气体的同时，在大气压力下或近似在大气压力下在该间隙处形成所述第一层，其中基片在23℃和80%RH下具有不大于4%的含水量。

公开(公告)号：CN1407131A

公开(公告)日：2003-04-02

申请号：CN02116163.1

申请日：2002-04-22

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 村上隆 ,  福田和浩

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/54 ,  B32B23/00 ,  G02B17/08 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1337

CPC classification number: B05D1/62 ,  C23C16/509 ,  C23C16/545 ,  Y02T50/67

Abstract: 公开了一种形成一层或多层的方法，该方法包括步骤：把一个具有一个第一表面和一个在相对第一表面的侧上的第二表面的基片，运送到在彼此面对着的一个第一电极与一个第二电极之间形成的一个间隙，第二表面具有不大于0.9的动摩擦系数；和使基片的第一表面经受等离子放电处理，以在大气压力下或近似在大气压力下在向间隙供给活性气体的同时形成该层。

公开(公告)号：CN1680620A

公开(公告)日：2005-10-12

申请号：CN200410092935.3

申请日：2002-04-22

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 村上隆 ,  福田和浩

IPC: C23C16/513 ,  C23C16/22 ,  G02B1/10 ,  G02B5/30 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1337 ,  B32B23/00 ,  B32B23/08

CPC classification number: B05D1/62 ,  C23C16/509 ,  C23C16/545 ,  Y02T50/67

Abstract: 一种形成一个第一层的方法，包括：使一个基片的表面或提供在一个基片上的一个第二层经受等离子放电处理，以便在向形成于彼此相对的一个第一电极与一个第二电极之间的一个间隙供给反应气体的同时，在大气压力下或近似在大气压力下在该间隙处形成所述第一层，其中基片在23℃和80％RH下具有不大于4％的含水量。

公开(公告)号：CN1164512A

公开(公告)日：1997-11-12

申请号：CN97104553.4

申请日：1997-03-25

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 村上隆

IPC: C02F1/461 ,  C25B9/00 ,  G03C5/00

Abstract: 一种防止电极侧面部分的泄漏流的更有效的电解槽以及处理方法。用于使被处理水通过固定床式三元电极进行电化学处理的固定床式三元电极电解槽的密封垫圈，是以可以包覆该电解槽内的固定床式三元电极的侧面以及端部为特征的固定床式三元电极电解槽用密封垫圈，是使用该密封垫圈的固定床式三元电极电解槽以及使用该电解槽的水处理方法。

公开(公告)号：CN1272467C

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN02116163.1

申请日：2002-04-22

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 村上隆 ,  福田和浩

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/54 ,  B32B23/00 ,  G02B17/08 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1337

CPC classification number: B05D1/62 ,  C23C16/509 ,  C23C16/545 ,  Y02T50/67

Abstract: 公开了一种形成一层或多层的方法，该方法包括步骤：把一个具有一个第一表面和一个在相对第一表面的侧上的第二表面的基片，运送到在彼此面对着的一个第一电极与一个第二电极之间形成的一个间隙，第二表面具有不大于0.9的动摩擦系数；和使基片的第一表面经受等离子放电处理，以在大气压力下或近似在大气压力下在向间隙供给活性气体的同时形成该层。

公开(公告)号：CN1398305A

公开(公告)日：2003-02-19

申请号：CN01804728.9

申请日：2001-12-06

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 福田和浩 ,  近藤庆和 ,  村上隆 ,  岩丸俊一 ,  村松由海 ,  辻稔夫

IPC: C23C16/505 ,  G02B1/10

CPC classification number: G02B1/11 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18 ,  C23C16/402 ,  C23C16/405 ,  C23C16/509 ,  C23C16/5093 ,  C23C16/545 ,  G02B1/10 ,  G02B1/115 ,  G02B1/14 ,  G02B1/16 ,  G02B1/18 ,  H01J37/32532

Abstract: 一种薄膜形成方法，其特征在于：通过在大气压或大气压附近的压力下，在对置的两种电极之间，以超过10kHz的高频电压供给1W/cm2以上的电力而放电，使反应性气体成为等离子态，通过在上述等离子态的反应性气体中暴露衬底，在上述衬底上形成薄膜。