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公开(公告)号:CN113566699B
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN202110428450.0
申请日:2021-04-23
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: J.D.托比亚森
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种用于坐标测量机(CMM)的色度范围传感器(CRS)光学探针的校准配置包含校准对象。所述校准对象包含至少第一标称圆柱形校准表面,所述第一标称圆柱形校准表面具有沿Z方向延伸的中心轴线,所述中心轴线旨在大致平行于所述CRS光学探针的旋转轴线对准。所述第一标称圆柱形校准表面被布置在距沿所述Z方向延伸的所述中心轴线已知的第一半径R1处。第一组角度参考特征形成在所述第一标称圆柱形校准表面上或其中。所述角度参考特征被配置成由径向距离感测光束感测,并且在所述第一标称圆柱形校准表面上或其中围绕所述中心轴线以已知的角度或已知的角度间隔彼此定位。
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公开(公告)号:CN111380470B
公开(公告)日:2021-12-28
申请号:CN201911256393.1
申请日:2019-12-10
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: J.D.托比亚森
IPC: G01B11/06
Abstract: 一种利用机器视觉检查系统来测量工件表面的Z高度值的方法,包括:利用结构化光照射工件表面,收集工件的图像的至少两个堆栈,每个堆栈包括在每个堆栈中对应的Z高度处的、结构化光和工件表面之间的不同X‑Y位置,以及基于与在X‑Y平面中的相同工件位置相对应且处于相同Z高度的像素的强度值的集合来确定Z值。在图像的每个堆栈中,以比Z高度慢的速率改变X‑Y位置,并且X‑Y位置或者在至少两个堆栈中的每个堆栈期间以比Z移位慢的速率连续改变,或者在至少两个堆栈中的每个堆栈期间固定为不同的值。
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公开(公告)号:CN108240828B
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN201711351956.6
申请日:2017-12-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了一种位移编码器。相对于标尺可移动的检测头检测衍射光并输出检测结果。衍射光被增量图案衍射。信号处理单元计算标尺与检测头之间的相对位移。检测头包括:向标尺发射光的光源;以及检测单元,其包括布置有输出检测信号的多个光接收元件的光接收单元。多个光接收元件的数量是偶数。多个光接收元件的布置周期是基本周期的奇数倍。基本周期是由+1级和‑1级衍射光在光接收单元上形成的干涉条纹的周期。光接收元件的宽度不等于基本周期的整数倍。
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公开(公告)号:CN109990812A
公开(公告)日:2019-07-09
申请号:CN201811620246.3
申请日:2018-12-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: J.D.托比亚森
IPC: G01D5/347
Abstract: 提供了一种用于提供位移信号的抗污染和缺陷的旋转光学编码器构造,其包括旋转标尺、照明源和光检测器构造。照明源构造为在第一照明区域处将准直光输出到标尺,该光随后在第二照明区域处输出至标尺,标尺从该第二照明区域输出形成检测器条纹图案的标尺光,该检测器条纹图案包括周期性的高强度带和低强度带,其沿旋转测量方向在相对较长的尺寸上延伸,并且沿横向于旋转测量方向的检测到的条纹运动方向相对较窄且呈周期性。随着标尺光栅沿旋转测量方向移位,高强度带和低强度带沿检测到的条纹运动方向移动。光检测器构造被构造为检测高强度带和低强度带的位移,并且提供指示该旋转标尺位移的相应的空间相位位移信号。
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公开(公告)号:CN109211288A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201810694981.2
申请日:2018-06-29
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01D5/34761 , G01D5/24438 , G01D5/34707 , G01D5/38 , G01D5/30 , G01B11/02 , G01D3/032 , G01D5/34
Abstract: 一种光学编码器配置包括照明部分、标尺和光电检测器配置。照明部分将源光传输至将周期性标尺光图案输出至光电检测器配置的标尺。光电检测器配置包括沿着横向于测量轴的方向以空间相位序列布置的N个空间相位检测器的集合,并且空间相位序列包括在沿着横向于测量轴的方向的序列的开始和结束处的两个外部空间相位检测器。至少大部分的各个空间相位检测器沿着测量轴方向相对伸长并且沿着垂直于测量轴方向的方向相对较窄,并且包括对应于该空间相位检测器相对于周期性标尺光图案的各个空间相位被定位的标尺光接收器区域,并且被配置为提供各个空间相位检测器信号。
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公开(公告)号:CN110967047B
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN201910932987.3
申请日:2019-09-29
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: J.D.托比亚森
Abstract: 光学编码器构造包括圆柱形或平面旋转标尺、照明源、结构化照明生成布置(SIGA)和包括光电探测器的探测器布置,该标尺包括偏航光栅条。结构化照明生成布置配置为将源光输入到旋转标尺上的将光衍射到光束偏转器构造的第一照明区域,光束偏转器构造以在接近标尺上第二照明区域处提供特定条纹图案的形式来传送衍射光。标尺过滤并输出光以形成强度带的探测器条纹图案,图案沿旋转测量方向较长,并沿横向于旋转测量方向的探测到的条纹运动方向(DFMD)相对较窄且是周期性的。光电探测器配置为探测作为旋转标尺位移的函数的强度带的位置并提供对应的位移或位置信号。
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公开(公告)号:CN109211285B
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN201810695514.1
申请日:2018-06-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种光学编码器配置包括标尺、照明源和光电检测器配置。照明源被配置为向标尺输出结构化照明。标尺沿着测量轴方向延伸并且被配置为输出标尺光,该标尺光形成检测器条纹图案,该检测条纹图案包括沿着测量轴方向在相对较长的尺寸上延伸的周期性高强度带和低强度带、并且沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向是相对窄的而且是周期性的。当标尺光栅沿着测量轴方向移位时,高强度带和低强度带沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向移动。光电检测器配置被配置为检测沿检测到的条纹运动方向的高强度带和低强度带的位移,并提供指示标尺位移的相应空间相位位移信号。
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公开(公告)号:CN109990812B
公开(公告)日:2021-04-06
申请号:CN201811620246.3
申请日:2018-12-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: J.D.托比亚森
IPC: G01D5/347
Abstract: 提供了一种用于提供位移信号的抗污染和缺陷的旋转光学编码器构造,其包括旋转标尺、照明源和光检测器构造。照明源构造为在第一照明区域处将准直光输出到标尺,该光随后在第二照明区域处输出至标尺,标尺从该第二照明区域输出形成检测器条纹图案的标尺光,该检测器条纹图案包括周期性的高强度带和低强度带,其沿旋转测量方向在相对较长的尺寸上延伸,并且沿横向于旋转测量方向的检测到的条纹运动方向相对较窄且呈周期性。随着标尺光栅沿旋转测量方向移位,高强度带和低强度带沿检测到的条纹运动方向移动。光检测器构造被构造为检测高强度带和低强度带的位移,并且提供指示该旋转标尺位移的相应的空间相位位移信号。
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公开(公告)号:CN110967047A
公开(公告)日:2020-04-07
申请号:CN201910932987.3
申请日:2019-09-29
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: J.D.托比亚森
Abstract: 光学编码器构造包括圆柱形或平面旋转标尺、照明源、结构化照明生成布置(SIGA)和包括光电探测器的探测器布置,该标尺包括偏航光栅条。结构化照明生成布置配置为将源光输入到旋转标尺上的将光衍射到光束偏转器构造的第一照明区域,光束偏转器构造以在接近标尺上第二照明区域处提供特定条纹图案的形式来传送衍射光。标尺过滤并输出光以形成强度带的探测器条纹图案,图案沿旋转测量方向较长,并沿横向于旋转测量方向的探测到的条纹运动方向(DFMD)相对较窄且是周期性的。光电探测器配置为探测作为旋转标尺位移的函数的强度带的位置并提供对应的位移或位置信号。
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公开(公告)号:CN108240828A
公开(公告)日:2018-07-03
申请号:CN201711351956.6
申请日:2017-12-15
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01D5/34746 , G01D5/38
Abstract: 本发明公开了一种位移编码器。相对于标尺可移动的检测头检测衍射光并输出检测结果。衍射光被增量图案衍射。信号处理单元计算标尺与检测头之间的相对位移。检测头包括:向标尺发射光的光源;以及检测单元,其包括布置有输出检测信号的多个光接收元件的光接收单元。多个光接收元件的数量是偶数。多个光接收元件的布置周期是基本周期的奇数倍。基本周期是由+1级和-1级衍射光在光接收单元上形成的干涉条纹的周期。光接收元件的宽度不等于基本周期的整数倍。
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