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公开(公告)号:CN115682945A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202210875204.4
申请日:2022-07-22
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: N.拉曼
Abstract: 一种色度范围传感器(CRS)系统被配置成提供包含可用作导向光的测量光点的工件表面的合焦图像。所述系统包含光学笔,所述光学笔具有提供轴向色散的色度色散透镜配置,和被布置成从所述工件表面接收反射光并将其分割成测量部分和成像部分的反射光分割配置(例如,分束器)。所述光学笔包含窄带光谱滤光片和相机。所述CRS系统包含处理部分,所述处理部分被配置成测量从所述光学笔到所述工件表面的距离,并且作出调整,使得所述距离对应于当由通过所述窄带光谱滤光片的光成像时所述工件表面合焦的聚焦距离。
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公开(公告)号:CN116428970A
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202211649710.8
申请日:2022-12-21
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供了一种计量系统,该计量系统用于与移动端部工具(例如,探头)的移动系统一起使用。该计量系统包括传感器结构、光束源结构和处理部。该传感器结构包括多个光束传感器。该光束源结构将光束引导到该传感器结构的该光束传感器。该光束源结构或该传感器结构中的一者耦合到该端部工具和/或移动该端部工具的该移动系统的端部工具安装结构。被引导到该光束传感器的该光束使该光束传感器产生对应的测量信号。处理部处理来自该光束传感器的该测量信号,该测量信号指示该端部工具的位置和取向。
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公开(公告)号:CN109211285A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201810695514.1
申请日:2018-06-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种光学编码器配置包括标尺、照明源和光电检测器配置。照明源被配置为向标尺输出结构化照明。标尺沿着测量轴方向延伸并且被配置为输出标尺光,该标尺光形成检测器条纹图案,该检测条纹图案包括沿着测量轴方向在相对较长的尺寸上延伸的周期性高强度带和低强度带、并且沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向是相对窄的而且是周期性的。当标尺光栅沿着测量轴方向移位时,高强度带和低强度带沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向移动。光电检测器配置被配置为检测沿检测到的条纹运动方向的高强度带和低强度带的位移,并提供指示标尺位移的相应空间相位位移信号。
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公开(公告)号:CN114646267B
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202111540823.X
申请日:2021-12-16
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: N.拉曼
IPC: G01B11/06
Abstract: 提供了一种色度范围传感器(CRS)系统,所述CRS确定工件厚度并且包含光学笔、照明源、波长检测器和处理部分。所述光学笔包含提供轴向色度色散的光学器件部分,所述照明源被配置成产生多波长光,并且所述波长检测器包含沿测量轴分布的多个像素。在操作中,所述光学笔输入来自所述照明源的光谱并将对应的辐射输出到工件(例如,所述工件可以是透明的)的第一工件表面和第二工件表面,并且将所反射辐射输出到提供输出光谱数据的所述波长检测器。所述处理部分对所述输出光谱数据进行处理以确定所述工件的厚度。在各个实施方案中,所述用于确定所述厚度的处理可以不依赖于确定到所述工件的距离和/或可以利用变换处理等。
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公开(公告)号:CN109211285B
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN201810695514.1
申请日:2018-06-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种光学编码器配置包括标尺、照明源和光电检测器配置。照明源被配置为向标尺输出结构化照明。标尺沿着测量轴方向延伸并且被配置为输出标尺光,该标尺光形成检测器条纹图案,该检测条纹图案包括沿着测量轴方向在相对较长的尺寸上延伸的周期性高强度带和低强度带、并且沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向是相对窄的而且是周期性的。当标尺光栅沿着测量轴方向移位时,高强度带和低强度带沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向移动。光电检测器配置被配置为检测沿检测到的条纹运动方向的高强度带和低强度带的位移,并提供指示标尺位移的相应空间相位位移信号。
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公开(公告)号:CN115707934B
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202210997391.3
申请日:2022-08-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/347
Abstract: 提供了一种编码器,即使标尺通过绕与接收表面正交的轴线旋转而相对于接收单元以倾斜方式设置,也能抑制精度劣化。编码器1包括标尺2和检测头3。检测头3包括光源(发射单元)4和光接收单元(接收单元)5。光接收单元包括光接收表面50,将在光接收表面50处接收的光转换成具有两个相位的差分检测信号并输出。光接收表面50包括元件阵列组7,其包括沿正交方向以平行方式设置的四个元件阵列71‑74,每个阵列包括多个光接收元件(接收元件)500。元件阵列组7中的多个元件阵列71‑74布置在(i)在正交方向上从参考位置到正相位信号元件阵列71、72的距离和(ii)在正交方向上从参考位置到负相位信号元件阵列73、74的距离之和对于至少两相位的所有相位都相同的位置处。
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公开(公告)号:CN115707934A
公开(公告)日:2023-02-21
申请号:CN202210997391.3
申请日:2022-08-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/347
Abstract: 提供了一种编码器,即使标尺通过绕与接收表面正交的轴线旋转而相对于接收单元以倾斜方式设置,也能抑制精度劣化。编码器1包括标尺2和检测头3。检测头3包括光源(发射单元)4和光接收单元(接收单元)5。光接收单元包括光接收表面50,将在光接收表面50处接收的光转换成具有两个相位的差分检测信号并输出。光接收表面50包括元件阵列组7,其包括沿正交方向以平行方式设置的四个元件阵列71‑74,每个阵列包括多个光接收元件(接收元件)500。元件阵列组7中的多个元件阵列71‑74布置在(i)在正交方向上从参考位置到正相位信号元件阵列71、72的距离和(ii)在正交方向上从参考位置到负相位信号元件阵列73、74的距离之和对于至少两相位的所有相位都相同的位置处。
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公开(公告)号:CN114646267A
公开(公告)日:2022-06-21
申请号:CN202111540823.X
申请日:2021-12-16
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: N.拉曼
IPC: G01B11/06
Abstract: 提供了一种色度范围传感器(CRS)系统,所述CRS确定工件厚度并且包含光学笔、照明源、波长检测器和处理部分。所述光学笔包含提供轴向色度色散的光学器件部分,所述照明源被配置成产生多波长光,并且所述波长检测器包含沿测量轴分布的多个像素。在操作中,所述光学笔输入来自所述照明源的光谱并将对应的辐射输出到工件(例如,所述工件可以是透明的)的第一工件表面和第二工件表面,并且将所反射辐射输出到提供输出光谱数据的所述波长检测器。所述处理部分对所述输出光谱数据进行处理以确定所述工件的厚度。在各个实施方案中,所述用于确定所述厚度的处理可以不依赖于确定到所述工件的距离和/或可以利用变换处理等。
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公开(公告)号:CN109211286B
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN201810695534.9
申请日:2018-06-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种光学编码器配置包括标尺、照明源和光电检测器配置。照明源被配置为向标尺输出结构化照明。该标尺沿着测量轴方向延伸并且被配置为输出标尺光,该标尺光形成检测器条纹图案,该检测器条纹图案包括沿着测量轴方向在相对较长的尺寸上延伸的周期性高强度带和低强度带,并且沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向是相对窄且周期性的。当标尺光栅沿着测量轴方向移位时,高强度带和低强度带沿横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向移动。光电检测器配置被配置为检测沿检测到的条纹运动方向的高强度带和低强度带的位移,并提供指示标尺位移的相应空间相位位移信号。
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公开(公告)号:CN109211284B
公开(公告)日:2021-03-12
申请号:CN201810695028.X
申请日:2018-06-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种光学编码器配置包括标尺、照明源和光电检测器配置。照明源被配置为向标尺输出结构化照明。标尺沿着测量轴方向延伸并且被配置为输出标尺光,该标尺光形成检测器条纹图案,该检测条纹图案包括沿着测量轴方向在相对较长的尺寸上延伸的周期性高强度带和低强度带、并且沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向是相对窄的而且是周期性的。当标尺光栅沿着测量轴方向移位时,高强度带和低强度带沿着横向于测量轴方向的检测到的条纹运动方向移动。光电检测器配置被配置为检测沿检测到的条纹运动方向的高强度带和低强度带的位移,并提供指示标尺位移的相应空间相位位移信号。
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