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公开(公告)号:CN111325785B
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN201911272226.6
申请日:2019-12-12
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B21/36 , G01N21/88 , G02B3/14 , G02B21/24 , G02B21/06 , H04N23/74 , H04N23/73 , G01B11/06 , G02B21/02 , G01B11/00 , G01B11/24 , G03B13/36 , H04N23/67
Abstract: 提供了一种用于操作可调谐声学梯度(TAG)透镜成像系统的方法。该方法包括:(a)提供智能光照脉冲控制例程/电路(SLPCRC),SLPCRC提供与TAG透镜成像系统的离焦点(PFF)模式相对应的第一曝光控制模式和与TAG透镜成像系统的扩展景深(EDOF)模式相对应的第二曝光控制模式;(b)将工件放置在TAG透镜成像系统的视场中;以及(c)周期性地调制TAG透镜成像系统的聚焦位置,而不宏观地调节TAG透镜成像系统中元件之间的间距,其中以至少30kHz的调制频率在包括工件的表面高度的聚焦范围内沿着聚焦轴方向在多个聚焦位置上周期性地调制聚焦位置。
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公开(公告)号:CN111325785A
公开(公告)日:2020-06-23
申请号:CN201911272226.6
申请日:2019-12-12
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供了一种用于操作可调谐声学梯度(TAG)透镜成像系统的方法。该方法包括:(a)提供智能光照脉冲控制例程/电路(SLPCRC),SLPCRC提供与TAG透镜成像系统的离焦点(PFF)模式相对应的第一曝光控制模式和与TAG透镜成像系统的扩展景深(EDOF)模式相对应的第二曝光控制模式;(b)将工件放置在TAG透镜成像系统的视场中;以及(c)周期性地调制TAG透镜成像系统的聚焦位置,而不宏观地调节TAG透镜成像系统中元件之间的间距,其中以至少30kHz的调制频率在包括工件的表面高度的聚焦范围内沿着聚焦轴方向在多个聚焦位置上周期性地调制聚焦位置。
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