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公开(公告)号:CN111325785A
公开(公告)日:2020-06-23
申请号:CN201911272226.6
申请日:2019-12-12
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供了一种用于操作可调谐声学梯度(TAG)透镜成像系统的方法。该方法包括:(a)提供智能光照脉冲控制例程/电路(SLPCRC),SLPCRC提供与TAG透镜成像系统的离焦点(PFF)模式相对应的第一曝光控制模式和与TAG透镜成像系统的扩展景深(EDOF)模式相对应的第二曝光控制模式;(b)将工件放置在TAG透镜成像系统的视场中;以及(c)周期性地调制TAG透镜成像系统的聚焦位置,而不宏观地调节TAG透镜成像系统中元件之间的间距,其中以至少30kHz的调制频率在包括工件的表面高度的聚焦范围内沿着聚焦轴方向在多个聚焦位置上周期性地调制聚焦位置。
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公开(公告)号:CN111325785B
公开(公告)日:2023-05-26
申请号:CN201911272226.6
申请日:2019-12-12
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B21/36 , G01N21/88 , G02B3/14 , G02B21/24 , G02B21/06 , H04N23/74 , H04N23/73 , G01B11/06 , G02B21/02 , G01B11/00 , G01B11/24 , G03B13/36 , H04N23/67
Abstract: 提供了一种用于操作可调谐声学梯度(TAG)透镜成像系统的方法。该方法包括:(a)提供智能光照脉冲控制例程/电路(SLPCRC),SLPCRC提供与TAG透镜成像系统的离焦点(PFF)模式相对应的第一曝光控制模式和与TAG透镜成像系统的扩展景深(EDOF)模式相对应的第二曝光控制模式;(b)将工件放置在TAG透镜成像系统的视场中;以及(c)周期性地调制TAG透镜成像系统的聚焦位置,而不宏观地调节TAG透镜成像系统中元件之间的间距,其中以至少30kHz的调制频率在包括工件的表面高度的聚焦范围内沿着聚焦轴方向在多个聚焦位置上周期性地调制聚焦位置。
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公开(公告)号:CN111381383B
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN201911336459.8
申请日:2019-12-23
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B27/62
Abstract: 提供了一种用于利用聚焦状态校准对象来确定包括VFL透镜(例如,可调谐声梯度透镜)的可变焦距(VFL)透镜系统的校准数据的系统和方法。校准对象包括平面倾斜图案表面,在该平面倾斜图案表面上分布有聚焦状态参考区域(FSRR)(例如,倾斜光栅)的集合。FSRR相对于平面倾斜图案表面具有已知几何关系,并且相对于彼此具有已知区域关系。在周期性调节的不同相位定时处获取多个相机图像,并且至少部分地基于对多个相机图像的分析来确定校准数据。所确定的校准数据指示与VFL透镜系统的各个有效聚焦位置相对应的周期性调节的各个相位定时。
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公开(公告)号:CN111381383A
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201911336459.8
申请日:2019-12-23
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B27/62
Abstract: 提供了一种用于利用聚焦状态校准对象来确定包括VFL透镜(例如,可调谐声梯度透镜)的可变焦距(VFL)透镜系统的校准数据的系统和方法。校准对象包括平面倾斜图案表面,在该平面倾斜图案表面上分布有聚焦状态参考区域(FSRR)(例如,倾斜光栅)的集合。FSRR相对于平面倾斜图案表面具有已知几何关系,并且相对于彼此具有已知区域关系。在周期性调节的不同相位定时处获取多个相机图像,并且至少部分地基于对多个相机图像的分析来确定校准数据。所确定的校准数据指示与VFL透镜系统的各个有效聚焦位置相对应的周期性调节的各个相位定时。
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