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公开(公告)号：CN104896230A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510244063.6
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: F16L23/10 , F16L23/032 , F16L23/18
CPC classification number: F16L23/10 , F16L23/18 , F16L23/032
Abstract: 本发明提供一种可容易地装卸的定位环以及使用该定位环的流体供给装置，所述定位环为沿着轴方向具有规定长度的管状的定位环(200)，该定位环的一端部外嵌于一个管，另一端部外嵌于另一个管，使两个管(Y1a，Y1b)的中心轴保持大致吻合，在所述一端部以及另一端部，分别设置有贯通于形成该定位环(200)的壁体的厚度方向的缺口(Y202a，Y202b)。
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公开(公告)号：CN102326129A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201080009025.8
申请日：2010-02-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 林达也
CPC classification number: F17C9/02 , F17C2201/032 , F17C2205/0323 , F17C2205/0385 , F17C2223/0153 , F17C2227/0311 , F17C2227/0383 , F17C2227/044 , F17C2250/0636 , F17C2260/048
Abstract: 本发明提供一种结构紧凑的气体供给装置，该气体供给装置可以通过必要且最小限度的加热装置来防止汽化后的气体再液化，并且可以大幅度减小设置面积，气体供给装置(100)包括：容器(1)，储存液体材料(M)；以及质量流量控制器(2)，通过第一阀单元(31)与所述容器(1)的内部连接，并且控制所述液体材料(M)汽化后的气体的流量，在所述容器(1)的外壁内部形成有内部流道(13)，所述内部流道(13)包括产生气体导出管道(Gout)，所述产生气体导出管道(Gout)包括：第一阀流入流道(131)，连接容器(1)的内部和第一流入口(31i)；以及第一阀流出流道(132)，连接第一流出口(13o)和所述质量流量控制器(2)的导入口(H)。
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公开(公告)号：CN103185771A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210576137.2
申请日：2012-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N33/00 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供一种样品液体气化系统、诊断系统及诊断方法，无需准备基准气体及流入基准气体的专用配管与时序，便可进行气体浓度计等是否异常的判断。在样品液体气化装置内的气体浓度计的诊断系统中，样品液体气化装置包括：样品液体槽；气体导出管，将通过样品液体槽气化而成的气体导出至外部；气体浓度计，设置于气体导出管，且测定气体浓度测定值；诊断系统包括：气体浓度计算部，根据由测定样品液体槽内的温度的温度计获得的温度及由测定样品液体槽内的压力的压力计获得的压力，算出样品液体槽内经气化的气体浓度计算值；状态判断部，将由气体浓度计算部算出的气体浓度计算值及由气体浓度计获得的气体浓度测定值作为参数，判断气体浓度计的异常。
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公开(公告)号：CN101506561B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200780031157.9
申请日：2007-08-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: H01L21/02 , F16K27/00 , F16L55/00 , F17D1/04 , H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/455 , F15B13/0825 , F17D1/04 , H01L21/6719 , Y10T137/5283 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明的目的在于提供一种组合式气体分配盘装置，通过该组合式气体分配盘装置，可获得非常优异的反应性，并实现气体浓度的稳定化，并且可以维持现有的分配盘的原有形状。为此，本发明中，分配盘体(2)至少由形成主要流路(R2)的用于主要流路的块状体(32)与形成分支流路(R1)的用于分支流路的块状体(31)所构成，配置该用于分支流路的块状体(31)，配以使其以该用于主要流路的块状体(32)为中心沿左右两侧彼此面对。
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公开(公告)号：CN102332415A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110196049.5
申请日：2011-07-11
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: H01L21/67
CPC classification number: F16L23/08 , F16L3/1066 , Y10T137/6851
Abstract: 本发明提供流体系统、保持机构和中间支承件，该流体系统即使采用共通的中间支承件，也不会增加中间支承件的部件数量，可以使结构简化。流体系统包括：流体回路装置，通过由配管和管接头连接多个流体设备而构成，多个所述流体设备用于控制或测量流体的状态；以及保持机构，用于保持所述流体回路装置，所述保持机构包括：基座构件；以及中间支承件，介于所述流体回路装置和所述基座构件之间，并将它们连接在一起，所述中间支承件通过其一个端部安装在所述管接头上，另一个端部安装在所述基座构件上，使所述管接头与所述基座构件连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101506561A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200780031157.9
申请日：2007-08-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: F16K27/00 , F16L55/00 , F17D1/04 , H01L21/205 , H01L21/02 , C23C16/455
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/455 , F15B13/0825 , F17D1/04 , H01L21/6719 , Y10T137/5283 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明的目的在于提供一种组合式气体分配盘装置，通过该组合式气体分配盘装置，可获得非常优异的反应性，并实现气体浓度的稳定化，并且可以维持现有的分配盘的原有形状。为此，本发明中，分配盘体(2)至少由形成主要流路(R2)的用于主要流路的块状体(32)与形成分支流路(R1)的用于分支流路的块状体(31)所构成，配置该用于分支流路的块状体(31)，配以使其以该用于主要流路的块状体(32)为中心沿左右两侧彼此面对。
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公开(公告)号：CN102365388A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201080013703.8
申请日：2010-04-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , B01J7/02 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种液体原料气化装置，能够防止气泡的再结合从而抑制气泡变大，并且能够使储存的液体原料的温度分布均匀。液体原料气化装置包括：液体原料容器(2)；第一加热器(3)，设在液体原料容器(2)的侧壁上，用于把储存的液体原料加热到规定的温度；第二加热器(4)，设在液体原料容器(2)内部的中央部，用于把储存的液体原料加热到规定的温度；多个气泡发生器(5)，浸渍在储存的液体原料中，并设在第二加热器(4)和侧壁之间，向液体原料中喷出载气进行鼓泡；以及供气管(6)，向气泡发生器(5)提供载气。
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公开(公告)号：CN102080747A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010549972.8
申请日：2010-11-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: F16L23/10 , F16K27/003 , Y10T137/8593
Abstract: 本发明提供一种流体装置、流体机器固定装置、轨道构件及基座构件。在由纵横的流体线构成的流体装置(100)中，能提高精简性并且确保组装容易性。在将多条纵流体线(L1)彼此平行配置多条、并且在邻接的纵流体线间使连接这些纵流体线的多条横流体线(L2、L3)并列的流体装置(100)中，所述横流体线(L2、L3)中的一条使用结合环(24)的紧固式的法兰接头(2′)来将配管(4′)之间加以连接，并且另一条利用接合管线(61、62)来将配管(4″)之间加以连接。
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公开(公告)号：CN104847982A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510244066.X
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种倾斜环、使用该倾斜环的流体供给装置以及结合装置，使得即便对于不具有倾斜面的现有的凸缘部而言，也可使用所述倾斜面型凸缘接头，所述倾斜环是在将相向的凸缘部(Z2a，Z2b)彼此予以压接时所使用的倾斜环，与所述凸缘部(Z2a，Z2b)分开制作，安装在所述凸缘部(Z2a，Z2b)的相向面的背侧，并且具有随着朝向所述凸缘部(Z2a，Z2b)而向外侧扩展的倾斜面(Z201)。
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公开(公告)号：CN102080748B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201010571886.7
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 一种可容易地将凸缘部予以结合的结合环。该结合环包括：一连串的单元构件(50a～50c)，其相邻的单元构件彼此可旋转地被连结；以及用以连结两端的单元构件(50a、50c)的紧固件(52)，将以沿着圆周方向延伸的方式设置的凹槽(51)外嵌于相向的凸缘部(2a、2b)的外周缘部，并且借由所述紧固件(52)来连结所述两端的单元构件(50a、50c)而成为环状的状态，借由将所述紧固件(52)予以紧固，对倾斜面(51a)进行按压，并利用此时所产生的轴方向的分力来将所述凸缘部(2a、2b)彼此予以压接结合，将卡止构件(60a、60b)设置在所述单元构件(50a～50c)中的至少一个单元构件上。
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