公开(公告)号：KR1020160142778A

公开(公告)日：2016-12-13

申请号：KR1020160067476

申请日：2016-05-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시마사토 ,  노구치고헤이 ,  이이즈카겐지 ,  이이다나루아키

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L22/10 ,  G01N21/85 ,  G01N2021/8578 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6715 ,  H01L22/12 ,  H01L22/24

Abstract: 복수의유체공급로를구비하는기판처리장치에있어서, 각공급로를유통하는유체에포함되는이물을검출하는데 있어서, 장치의대형화및 제조비용의상승을방지할수 있는기술을제공하는것이다. 기판에공급되는유체의복수의공급로각각의일부이며, 유체중 이물의측정영역을구성하고, 서로열을형성해서설치되는측정용유로부와, 상기복수의유로부에공용되고, 상기유로부에광로를형성하기위한광 조사부와, 상기복수의유로부중 선택된유로부내에, 광로를형성하기위해서, 상기광 조사부를상기유로부의배열방향을따라서상대적으로이동시키는이동기구와, 상기유로부를투과하는광을수광하는수광소자를포함하는수광부와, 상기수광소자로부터출력되는신호에기초하여, 상기유체중 이물을검출하기위한검출부를구비하도록장치를구성한다. 그에의해, 필요한광 조사부의수를삭감할수 있음과함께, 장치의축소화를도모할수 있다.

Abstract translation: 一种装置，包括：作为供给到基板的流体的多个供给路径的一部分的测定流路部，构成测定流体中异物的测定区域的测量流路部， 相互排列; 光照射单元，被配置为在所述流路部分之一中形成光路，所述光照射单元由所述多个流路部分共享; 移动机构，其构造成沿着所述流路部的配置方向相对移动所述光照射单元，以在所述多个流路部中选择的流路部内形成光路; 光接收单元，其包括受光元件，所述光接收元件接收由所述流路部分透射的光; 以及检测单元，被配置为基于从所述光接收元件输出的信号来检测所述流体中的异物。 因此，可以减少必要的光照射单元的数量，并且可以使该装置小型化。