公开(公告)号：KR1020170027304A

公开(公告)日：2017-03-09

申请号：KR1020160111680

申请日：2016-08-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 아야베고 ,  타쿠마코우지

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67265 ,  H01L21/67781

Abstract: 기판처리장치의스루풋을향상시키는것이다. 본발명에서는캐리어(C)에수용되어있는기판(웨이퍼(W))의수용상태에기초하여제 1 기판반송부(29) 및제 2 기판반송부(30)를이용하여상기캐리어(C)와의사이에서상기기판(웨이퍼(W))을반송하는기판처리장치(1) 및기판반송방법그리고기판반송프로그램에있어서, 상기기판(웨이퍼(W))의수용상태로부터, 상기제 1 기판반송부(29)와상기제 2 기판반송부(30)를동시에구동하여상기캐리어(C)로부터상기제 1 기판반송부(29)와상기제 2 기판반송부(30)를동시에이용하여상기기판(웨이퍼(W))을반출하는경우와, 상기제 2 기판반송부(30)만을구동하여상기캐리어(C)로부터상기제 2 기판반송부(30)만을이용하여상기기판(웨이퍼(W))을반출하는경우를선택한다.

Abstract translation: 基板处理装置包括基板处理装置，基板容纳状态检测装置，包括从载体卸载基板的第一基板输送副装置和卸载基板的第二基板输送副装置的基板输送装置 来自载体的基板，包括基于基板容纳状态检测装置的检测结果来控制第一和第二子输送子装置的处理电路的控制装置。 控制装置的处理电路根据基板容纳状态检测装置的结果，确定控制装置的处理电路同时驱动第一和第二衬底输送子装置的处理之间的选择，使得 所述第一和第二衬底输送子装置同时从所述载体卸载所述衬底，以及所述控制装置的所述处理电路仅驱动所述第二衬底输送子装置的处理，使得仅所述第二衬底输送子装置 从载体上卸下底物。