公开(公告)号：KR1020060121702A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：KR1020060045781

申请日：2006-05-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시기요시 ,  미나미마사토

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

Abstract: An electrostatic absorption electrode and a processing apparatus are provided to prevent an abnormal discharge in a gas passage and easily repair when the abnormal discharge occurs. An electrostatic absorption electrode is structured by a plurality of bases(30,31), which are separated from each other. The electrostatic absorption electrode has a mounting surface for mounting a processed object. A heat transfer medium passage contacts with the mounting surface at a gap of at least two bases, and supplies a heat transfer medium to another surface of the processed object. A surface of the base for forming at least the heat transfer medium passage is coated with insulation materials. The heat transfer medium passage is formed to have an angle with respect to a perpendicular direction.

Abstract translation: 设置静电吸收电极和处理装置，以防止气体通道中的异常放电，并且在发生异常放电时容易修复。 静电吸收电极由彼此分离的多个基底（30,31）构成。 静电吸收电极具有用于安装加工对象的安装面。 传热介质通道在至少两个基座的间隙处与安装表面接触，并且将传热介质供应到被处理物体的另一表面。 用于形成至少传热介质通道的底座的表面涂有绝缘材料。 传热介质通道形成为具有相对于垂直方向的角度。

公开(公告)号：KR1020070009448A

公开(公告)日：2007-01-18

申请号：KR1020060065963

申请日：2006-07-13

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시기요시

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/67069

Abstract: An electrostatic absorbing electrode is provided to sufficiently guarantee electrical connection with a feeder by using a heat-resistant synthetic resin film as an insulation layer adjacent to at least a base material such that the synthetic resin film has a characteristic of a high withstanding voltage and can be made of a thin film and by forming at least a part of an electrode layer by a spraying method. A first insulation layer is formed on a base material(41). An electrode layer is formed on the first insulation layer. A second insulation layer is formed on the electrode layer. The first insulation layer is formed by using a heat-resistance synthetic resin film(42). A part or all of the electrode layer is formed by a spraying method. The electrode layer has a conductive film region and a spray region for filling an opening formed in the conductive film region. The second insulation layer is formed by spraying.

Abstract translation: 通过使用耐热合成树脂膜作为与至少基材相邻的绝缘层，充分保证与给料器的电连接，使得合成树脂膜具有高耐受电压的特性，并且可以 由薄膜制成，并通过喷涂方法形成电极层的至少一部分。 第一绝缘层形成在基材（41）上。 电极层形成在第一绝缘层上。 在电极层上形成第二绝缘层。 第一绝缘层通过使用耐热合成树脂膜（42）形成。 通过喷涂法形成电极层的一部分或全部。 电极层具有用于填充形成在导电膜区域中的开口的导电膜区域和喷射区域。 第二绝缘层通过喷涂形成。

公开(公告)号：KR1020060132466A

公开(公告)日：2006-12-21

申请号：KR1020060053935

申请日：2006-06-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시기요시 ,  사토요시즈토무

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32715

Abstract: A substrate table, a substrate processing apparatus and a method for manufacturing the substrate table are provided to restrain the nonuniformity of etching due to a convex portion of the substrate table itself by using a protruded peripheral portion. A substrate table(4) comprises a table body(4a), a plurality of convexities, and a peripheral portion. The plurality of convexities(7) are protruded from a reference surface(5a) of the table body. The peripheral portion(6a) encloses the reference surface. The peripheral portion has a larger height than those of the plurality of convexities, so that a substrate is capable of being loaded on the peripheral portion instead of the convexities. The peripheral portion has an upper flat surface.

Abstract translation: 提供了一种衬底台，衬底处理设备和用于制造衬底台的方法，以通过使用突出的周边部分来限制由于衬底台本身的凸部引起的蚀刻的不均匀性。 衬底台（4）包括台体（4a），多个凸部和周边部分。 多个凸部（7）从台体的基准面（5a）突出。 周边部分（6a）包围参考表面。 周边部分具有比多个凸部高的高度，使得基板能够装载在周边部分上而不是凸起部分。 周边部分具有上平坦表面。

公开(公告)号：KR100845991B1

公开(公告)日：2008-07-11

申请号：KR1020060045781

申请日：2006-05-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시기요시 ,  미나미마사토

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

Abstract: 본 발명의 과제는 정전 흡착 전극의 가스 유로에서의 이상 방전을 방지하는 동시에, 만일 가스 유로에서 이상 방전이 생겼을 경우라도 용이하게 수리할 수 있는 정전 흡착 전극을 제공하는 것이다. 정전 척(5)은 서로 분리 가능한 제 1 기재(30)와 제 2 기재(31)로 이루어지는 조합 구조를 갖는다. 제 1 기재(30) 상의 유전체 재료막(8)내에는 전극(6a)이, 제 2 기재(31) 상의 유전체 재료막(8)내에는 전극(6b)이 각각 매설되어 있다. 제 1 기재(30)와 제 2 기재(31)를 조합한 상태에서, 양자 사이에는 제 1 기재(30)의 주위를 둘러싸도록 간극이 형성되고, 이 간극이 열전달 가스를 공급하는 가스 공급 슬릿(9c)으로서 기능을 한다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种静电吸附电极，其能够防止静电吸附电极的气体通路中的异常放电，并且即使在气体通路中发生异常放电也能够容易地进行修复。 静电吸盘5具有由彼此可拆卸的第一基材30和第二基材31组成的组合结构。 电极6a嵌入第一基材30上的电介质膜8中，电极6b嵌入第二基材31上的电介质膜8中。 在第一基板30和第二基板31之间形成间隙以围绕第一基板30的外围，并且该间隙用作气体供给狭缝 图9c），其功能。

公开(公告)号：KR100904563B1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020060053935

申请日：2006-06-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시기요시 ,  사토요시즈토무

IPC: H01L21/3065

Abstract: 본 발명의 과제는 기판 탑재대에 형성된 볼록부 자체에 기인하는 에칭 불균일 등의 처리 불균일을 방지할 수 있는 기판 탑재대 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
기판 처리 장치에 있어서 기판을 탑재하는 기판 탑재대는 탑재대 본체와, 탑재대 본체의 기판 탑재 측의 기준면으로부터 돌출되어 형성된 복수의 볼록부와, 기준면을 둘러싸고, 기판이 탑재되었을 때에 기판의 주연부에 접촉하도록 상기 기준면보다도 돌출되어 형성된 주연대부를 구비하고 있으며, 기준면 및 주연대부의 정상면은 표면 거칠기 Ra(산술 평균 거칠기)가 1.5 ㎛ 이하인 평활면이며, 볼록부의 정상면은 표면 거칠기 Ry(최대 높이)가 8 ㎛ 이상인 거친 면이다.

公开(公告)号：KR100845350B1

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：KR1020080019071

申请日：2008-02-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시기요시 ,  미나미마사토

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/68

Abstract: 본 발명의 과제는 정전 흡착 전극의 가스 유로에서의 이상 방전을 방지하는 동시에, 만일 가스 유로에서 이상 방전이 생겼을 경우라도 용이하게 수리할 수 있는 정전 흡착 전극을 제공하는 것이다. 정전 척(5)은 서로 분리 가능한 제 1 기재(30)와 제 2 기재(31)로 이루어지는 조합 구조를 갖는다. 제 1 기재(30) 상의 유전체 재료막(8)내에는 전극(6a)이, 제 2 기재(31) 상의 유전체 재료막(8)내에는 전극(6b)이 각각 매설되어 있다. 제 1 기재(30)와 제 2 기재(31)를 조합한 상태에서, 양자 사이에는 제 1 기재(30)의 주위를 둘러싸도록 간극이 형성되고, 이 간극이 열전달 가스를 공급하는 가스 공급 슬릿(9c)으로서 기능을 한다.

公开(公告)号：KR1020080025391A

公开(公告)日：2008-03-20

申请号：KR1020080019071

申请日：2008-02-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 하야시기요시 ,  미나미마사토

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/32724

Abstract: An electrostatic absorption electrode and a processing apparatus are provided to obtain high heat delivery efficiency by implementing a heat delivery medium liquid path between absorption electrodes. An electrostatic absorption electrode(5) includes plural base members(30,31), which are detached from each other, and mount planes(5a,5b) for mounting an objective member(G). A heat delivery medium liquid path(9c) for providing heat delivery medium toward a rear surface of the objective member is formed between at least two the base members in the electrode to reach up to the mount planes. The heat delivery medium liquid path is formed with an angle, 45‹Œ15‹, with respect to a vertical direction.

Abstract translation: 提供一种静电吸收电极和处理装置，以通过在吸收电极之间实现传热介质液体路径来获得高的传热效率。 静电吸收电极（5）包括彼此分离的多个基体部件（30,31）和用于安装目标部件（G）的安装平面（5a，5b）。 在电极中的至少两个基底部件之间形成用于向物体的后表面提供传热介质的传热介质液体路径（9c），以达到安装平面。 传热介质液体路径相对于垂直方向形成45°<15°的角度。