公开(公告)号：WO2010126223A2

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：PCT/KR2010/000825

申请日：2010-02-10

Applicant: 서울대학교산학협력단 ,  안성훈 ,  추원식 ,  김민생 ,  이길용 ,  김윤미 ,  이재훈

Inventor： 안성훈 ,  추원식 ,  김민생 ,  이길용 ,  김윤미 ,  이재훈

IPC: B25J7/00 ,  B25J19/00 ,  B25J11/00

CPC classification number: B62D57/02 ,  B25J9/1085

Abstract: 본 발명은 형상기억합금(SMA) 와이어의 수축 및 복원에 따라 곡률반경이 변하는 몸체부와, 상기 몸체부의 양단에 형성되고 바닥면은 적어도 두 부분에서 마찰계수가 서로 다르게 형성되어 상기 몸체부의 곡률반경의 변화에 따라 한 방향으로 전진 이동하는 다리부를 포함하는 자벌레 로봇(inchworm robot)에 관한 것이다. 또한, 상기 몸체부는, 온도에 따라 수축, 복원되는 형상기억합금(SMA) 와이어 및 상기 형상기억합금(SMA) 와이어가 내부에 위치하는 복합재가 체결수단에 의해 상호 결합하여 이루어지고, 상기 다리부는 마찰계수가 큰 재질로 형성되며 전면에는 이동시 지면과의 마찰력을 감소시켜 부드럽게 이동할 수 있도록 구리필름이 형성된다.

Abstract translation: 本发明涉及具有根据形状记忆合金（SMA）线的收缩和恢复而变化的曲率半径的主体部分和形成在主体部分两端的主体部分， 并且腿根据身体部分的曲率半径的变化而不同地形成并沿一个方向向前移动。 此外，主体部分，是收缩，其恢复的形状记忆合金（SMA）线，和形状记忆合金（SMA）线位于内部以通过由紧固装置交叉耦合达到的温度的复合材料，该腿部具有摩擦 并且在前表面上形成铜膜，以便通过减小与地面的摩擦力而平稳地移动。

公开(公告)号：KR1020120094294A

公开(公告)日：2012-08-24

申请号：KR1020110013703

申请日：2011-02-16

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  이선영 ,  천두만 ,  김민생 ,  최정오

IPC: C23C24/08 ,  H01L21/20 ,  H01L51/56 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: PURPOSE: A thin film forming device and a method using a laser are provided to minimize damage to a substrate by supplying enough energy to stacked particles because lasers are sprayed from in the rear end of a nozzle along a same axis. CONSTITUTION: A thin film forming device and a method using a laser stacks particles on a substrate by accelerating stacked particles using a carrier gas of high pressures. A laser spraying unit(90) sprays lasers to stacked particles from the rear and of a nozzle(40) along a same axis. A thin film forming device performs a task by a cold gas dynamic spray method, an aerosol deposition method, or a stacking system NPDS(Nano Particle Deposition System).

Abstract translation: 目的：提供薄膜形成装置和使用激光的方法，以通过向堆叠的颗粒提供足够的能量来最小化对基板的损伤，因为激光器沿着喷嘴的后端沿同一轴线喷射。 构成：薄膜形成装置和使用激光的方法通过使用高压载气加速堆叠的颗粒将颗粒堆叠在基板上。 激光喷射单元（90）将来自后部和沿着同一轴线的喷嘴（40）的堆叠的颗粒喷射到激光器。 薄膜形成装置通过冷气体动态喷雾法，气溶胶沉积法或堆叠系统NPDS（纳米粒子沉积系统）进行任务。

公开(公告)号：KR100964062B1

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：KR1020090083175

申请日：2009-09-03

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  천두만 ,  김민생 ,  여준철

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/302

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01L21/02263 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/68785

Abstract: PURPOSE: A deposition and a substrate etching apparatus and a method using powder are provided to perform deposition and etching of a substrate by enabling a metal power to collide a substrate to the substrate through a high pressure transfer gas. CONSTITUTION: A vacuum pump(20) makes the inside of a chamber(10) vacuum. A filter(80) collects a particle which passes through a deposition and etching process. A substrate support unit(30) supports a substrate. An injection nozzle(40) sprays a predetermined volume of powder on the substrate. The gas inlet(50) receives predetermined gas and a powder supply unit supplies the powder to a gas pipe.

Abstract translation: 目的：提供沉积和基板蚀刻装置和使用粉末的方法，以通过使金属功率通过高压转移气体将基板与基板碰撞来执行基板的沉积和蚀刻。 构成：真空泵（20）使室（10）的内部真空。 过滤器（80）收集通过沉积和蚀刻工艺的颗粒。 基板支撑单元（30）支撑基板。 注射喷嘴（40）在衬底上喷射预定体积的粉末。 气体入口（50）接收预定的气体，粉末供应单元将粉末供应到气体管道。

公开(公告)号：KR101235302B1

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：KR1020110013703

申请日：2011-02-16

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  이선영 ,  천두만 ,  김민생 ,  최정오

IPC: C23C24/08 ,  H01L21/20 ,  H01L51/56 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 레이저를 이용한 박막 형성 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 박막 형성 장치는, 고압의 이송가스를 이용하여 노즐을 통하여 적층 입자를 가속하여 기판에 적층시키는 박막 형성 장치에 있어서, 상기 노즐의 후단에서 상기 적층 입자가 이동하는 동축을 따라 상기 적층 입자에 레이저를 분사하는 레이저 분사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 레이저를 이용한 박막 형성 장치 및 방법에 따르면, 금속 또는 세라믹 입자를 기판에 적층함에 있어서 레이저를 이용하여 입자에 충분한 에너지를 공급하여 적층 효율을 향상시킬 수 있다. 아울러, 레이저가 노즐의 후단에서 적층 입자의 동축을 따라 분사되므로 적층 입자에 충분한 에너지를 공급하면서도 기판의 손상을 최소화할 수 있다.

公开(公告)号：KR100994902B1

公开(公告)日：2010-11-16

申请号：KR1020100031548

申请日：2010-04-06

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 안성훈 ,  천두만 ,  김민생

IPC: H01L31/04

CPC classification number: H01G9/2095 ,  H01G9/2031 ,  H01G9/2059 ,  H01L51/0086 ,  Y02E10/542 ,  Y02P70/521

Abstract: PURPOSE: A flexible dye-sensitized solar cell and a preparation method thereof are provided to manufacture an operation electrode and a counter electrode through a simple process by depositing the electrodes on a flexible polymer substrate. CONSTITUTION: An operation electrode(10) comprises a transparent conductivity oxide layer(2) which is deposited on a flexible polymer substrate(1), and also includes an oxide semiconductor layer(4). The oxide semiconductor layer is deposited on the transparent conductivity oxide layer under low temperature. A counter electrode comprises the transparent conductivity oxide layer which is deposited on the flexible polymer substrate, and also includes a catalyst layer. The catalyst layer is deposited in the transparent conductivity oxide layer under low temperature. Electrolyte is interposed between the operation electrode and the counter electrode.

Abstract translation: 目的：提供柔性染料敏化太阳能电池及其制备方法，通过将电极沉积在柔性聚合物基底上，通过简单的工艺制造操作电极和对电极。 构成：工作电极（10）包括沉积在柔性聚合物衬底（1）上的透明导电氧化物层（2），并且还包括氧化物半导体层（4）。 氧化物半导体层在低温下沉积在透明导电氧化物层上。 对电极包括沉积在柔性聚合物基底上的透明导电氧化物层，并且还包括催化剂层。 催化剂层在低温下沉积在透明导电氧化物层中。 电解质介于操作电极和对电极之间。