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公开(公告)号：KR102235642B1
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：KR1020190058313A
申请日：2019-05-17
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: G01N21/211 , G01N21/01 , G02B26/02 , G02B5/08 , G01N2201/0639
Abstract: 시료의 물성을 측정하기 위한 광학계로서, 상기 광학계는, 광원으로부터 수신된 빛에 대하여 빛의 빔-단면을 미리 정해진 제1 이미지의 모양으로 변조하는 공간 광 변조기; 상기 공간 광 변조기에 의해 변조된 빛을 수신하여, 미리 정해진 제1 편광 상태로 변환하는, 편광상태생성기; 상기 제1 편광 상태로 변환된 빛을 수신하여 시료에 입사시키고, 상기 시료로부터 반사되어 나온 빛을 수신하는, 대물렌즈; 상기 시료로부터 반사되어 상기 대물렌즈에 수신되어 상기 대물렌즈를 통과한 빛을 수신하여, 미리 정해진 제2 편광 상태로 변환하는, 편광상태분석기; 상기 제2 편광 상태로 변환된 빛을 수신하여 전기 신호로 변환하는, 광감지기; 를 포함하는, 시료의 물성을 측정하기 위한 광학계가 제공된다.
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公开(公告)号：WO2021246602A1
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：PCT/KR2020/019480
申请日：2020-12-31
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N21/552 , G01J1/04 , G01N21/55 , G01J9/02
Abstract: 본 발명은 반사도 및 입사 광량의 측정 장치에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광원; 상기 광원을 샘플로 향하는 제1 빔과, 상기 제1 빔과 분리된 제2 빔으로 분할하는 광분할기; 상기 광분할기에 의해 분할된 제2 빔의 위상을 지연시키는 위상지연자; 상기 제1 빔이 상기 샘플에 반사된 반사빔과, 상기 위상지연자를 거친 상기 제2 빔을 검출하는 광검출기; 상기 광원과 상기 위상지연자 사이에 배치되는 제1 편광기; 상기 위상지연자와 상기 광검출기 사이에 배치되는 제2 편광기; 및 상기 광검출기에서 검출된 신호를 저주파 신호와 고주파 신호를 분리하여 신호를 획득하고, 상기 저주파 신호 및 고주파 신호로부터 상기 샘플의 반사도 및 입사 광량을 획득하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2022025385A1
公开(公告)日：2022-02-03
申请号：PCT/KR2021/003819
申请日：2021-03-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명에 따른 공간 광 변조기를 이용한 박막의 두께 및 물성 측정 시스템은, 광원에서 출발한 빛이 시료의 특정 영역만을 조사할 있도록 공간적으로 변조되는 공간 광 변조기; 상기 공간 광 변조기에서 변조된 빛의 방향을 바꾸며 상기 시료에서 반사된 반사광의 일부가 통과하는 제1빔스플리터; 상기 제1빔스플리터에서 굴절된 빛을 시료의 특정 영역으로 집광시키는 대물렌즈; 상기 시료에서 반사된 반사광의 일부가 상기 제1빔스플리터에서 분리되어 입사된 후 방향을 바꾸는 제2빔스플리터; 상기 제2빔스플리터에서 입사된 반사광에 의해 시료의 표면 이미지를 획득하는 제1카메라; 상기 대물렌즈의 후 초점면(back focal plane)의 특정 영역을 통과하는 반사광을 수광할 수 있도록 수광부가 설치된 광섬유; 및 상기 광섬유에서 수광된 빛의 강도를 측정하여 전기 신호로 출력하는 분광기;를 포함한 것을 특징으로 한다. (대표도: 도 11)
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公开(公告)号：WO2022163969A1
公开(公告)日：2022-08-04
申请号：PCT/KR2021/014983
申请日：2021-10-25
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명에 따른 간섭과 파수 고주파 변조를 이용한 박막 두께와 형상을 측정하는 장치 및 그 장치를 이용한 박막 두께와 형상 측정 방법은, 광대역 다파장 빛을 발생시키는 광원; 상기 광원에서 발생된 빛의 일부를 투과하고 나머지를 반사시키는 제1빔 스플리터; 상기 제1빔 스플리터에서 분기된 빛을 시료를 향해 입사시키는 간섭 렌즈 모듈; 및 상기 시료와 상기 간섭 렌즈 모듈을 통해 생성된 간섭광이 상기 제1빔 스플리터를 통과한 후 측정되는 이미징 분광기;를 포함하며, 상기 이미징 분광기에 측정되는 빛의 신호에 파수에 대한 고주파 변조 효과를 구현하는 고주파 신호 변조 모듈을 포함한 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：WO2021182732A1
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：PCT/KR2020/019482
申请日：2020-12-31
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 마이크로 엘립소메트리에 관한 것이다. 상기 마이크로 엘립소메트리는, 광원; 상기 광원을 편광시키는 편광생성기; 상기 편광생성기를 거친 상기 광원을 분할하는 광분할기; 상기 광분할기를 거친 빔을 샘플에 조사되도록 하는 대물렌즈; 상기 대물렌즈를 거쳐 샘플로부터 반사된 빔의 초점을 후초점면으로 맞추는 렌즈부; 상기 후초점면을 통과한 빔의 편광을 해석하는 편광해석기; 상기 편광해석기의 후단에 배치되어 상기 후초점면의 이미지를 획득하는 디텍터; 상기 디텍터에 의해 획득된 이미지를 신호 처리하여 샘플의 물리적 정보를 추출하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2020235883A1
公开(公告)日：2020-11-26
申请号：PCT/KR2020/006441
申请日：2020-05-15
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 시료의 물성을 측정하기 위한 광학계로서, 상기 광학계는, 광원으로부터 수신된 빛에 대하여 빛의 빔-단면을 미리 정해진 제1 이미지의 모양으로 변조하는 공간 광 변조기; 상기 공간 광 변조기에 의해 변조된 빛을 수신하여, 미리 정해진 제1 편광 상태로 변환하는, 편광상태생성기; 상기 제1 편광 상태로 변환된 빛을 수신하여 시료에 입사시키고, 상기 시료로부터 반사되어 나온 빛을 수신하는, 대물렌즈; 상기 시료로부터 반사되어 상기 대물렌즈에 수신되어 상기 대물렌즈를 통과한 빛을 수신하여, 미리 정해진 제2 편광 상태로 변환하는, 편광상태분석기; 상기 제2 편광 상태로 변환된 빛을 수신하여 전기 신호로 변환하는, 광감지기; 를 포함하는, 시료의 물성을 측정하기 위한 광학계가 제공된다.
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公开(公告)号：WO2021215621A1
公开(公告)日：2021-10-28
申请号：PCT/KR2020/019478
申请日：2020-12-31
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 동축 분광 이미징 엘립소미터에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광원; 상기 광원으로부의 광을 편광 및 위상 지연시키는 광변조부; 상기 광변조부에 의해 변조된 광을 샘플에 조사하는 대물렌즈; 상기 광원과 상기 대물렌즈의 사이에 마련되어 상기 광을 상기 대물렌즈의 후초점면의 특정 위치에 조사하도록 하는 입사각조절부; 상기 샘플에 반사된 반사빔이 상기 대물렌즈를 통과한 후 경로를 변경하도록 하는 유도하는 빔스플리터; 상기 반사빔의 편광을 해석하는 편광해석기; 상기 반사빔으로부터 분광이미지를 획득하는 분광이미지획득부; 및 상기 분광이미지획득부에 의해 획득된 이미지를 신호 처리하여 상기 샘플의 물리적 정보를 추출하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 동축 분광 이미징 엘립소미터.
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公开(公告)号：KR1020120029155A
公开(公告)日：2012-03-26
申请号：KR1020100091069
申请日：2010-09-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: An efficiency measuring device of the LED(Light Emitting Diode) and a measuring method are provided to accurately and rapidly measure the efficiency of the LED because the light quantity efficiency is calculated by using heating characteristics of the LED without a rotation of equipments or usage of an auxiliary light source. CONSTITUTION: An efficiency measuring method(100) of the LED is as follows. The heat radiation quantity of the LED is measured. The light quantity efficiency is calculated by using the heat radiation quantity of the LED. A measuring process is simplified because the light quantity efficiency is calculated by simple calculating steps without repeating complex calculation steps.
Abstract translation: 目的：提供LED（发光二极管）的效率测量装置和测量方法来准确和快速地测量LED的效率，因为通过使用LED的加热特性而不用设备旋转来计算光量效率， 使用辅助光源。 构成：LED的效率测量方法（100）如下。 测量LED的散热量。 通过使用LED的散热量来计算光量效率。 由于通过简单的计算步骤计算光量效率而不重复复杂的计算步骤，简化了测量过程。
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公开(公告)号：KR102235642B1
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：KR1020190058313
申请日：2019-05-17
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 시료의물성을측정하기위한광학계로서, 상기광학계는, 광원으로부터수신된빛에대하여빛의빔-단면을미리정해진제1 이미지의모양으로변조하는공간광 변조기; 상기공간광 변조기에의해변조된빛을수신하여, 미리정해진제1 편광상태로변환하는, 편광상태생성기; 상기제1 편광상태로변환된빛을수신하여시료에입사시키고, 상기시료로부터반사되어나온빛을수신하는, 대물렌즈; 상기시료로부터반사되어상기대물렌즈에수신되어상기대물렌즈를통과한빛을수신하여, 미리정해진제2 편광상태로변환하는, 편광상태분석기; 상기제2 편광상태로변환된빛을수신하여전기신호로변환하는, 광감지기; 를포함하는, 시료의물성을측정하기위한광학계가제공된다.
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公开(公告)号：KR101266387B1
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：KR1020100091069
申请日：2010-09-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 측정과정을간소화할수 있으며, 측정시간을단축할수 있는발광다이오드의효율측정장치및 방법이개시된다. 발광다이오드의효율측정방법은발광다이오드의발열량을측정하는단계, 및발광다이오드의발열량을이용하여광량효율을산출하는단계를포함한다.
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