公开(公告)号：WO2021246602A1

公开(公告)日：2021-12-09

申请号：PCT/KR2020/019480

申请日：2020-12-31

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 박희재 ,  이신용

IPC: G01N21/552 ,  G01J1/04 ,  G01N21/55 ,  G01J9/02

Abstract: 본 발명은 반사도 및 입사 광량의 측정 장치에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광원; 상기 광원을 샘플로 향하는 제1 빔과, 상기 제1 빔과 분리된 제2 빔으로 분할하는 광분할기; 상기 광분할기에 의해 분할된 제2 빔의 위상을 지연시키는 위상지연자; 상기 제1 빔이 상기 샘플에 반사된 반사빔과, 상기 위상지연자를 거친 상기 제2 빔을 검출하는 광검출기; 상기 광원과 상기 위상지연자 사이에 배치되는 제1 편광기; 상기 위상지연자와 상기 광검출기 사이에 배치되는 제2 편광기; 및 상기 광검출기에서 검출된 신호를 저주파 신호와 고주파 신호를 분리하여 신호를 획득하고, 상기 저주파 신호 및 고주파 신호로부터 상기 샘플의 반사도 및 입사 광량을 획득하는 신호처리부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：WO2022163969A1

公开(公告)日：2022-08-04

申请号：PCT/KR2021/014983

申请日：2021-10-25

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 조영찬 ,  이승우 ,  이신용 ,  박희재

IPC: G01B11/06

Abstract: 본 발명에 따른 간섭과 파수 고주파 변조를 이용한 박막 두께와 형상을 측정하는 장치 및 그 장치를 이용한 박막 두께와 형상 측정 방법은, 광대역 다파장 빛을 발생시키는 광원; 상기 광원에서 발생된 빛의 일부를 투과하고 나머지를 반사시키는 제1빔 스플리터; 상기 제1빔 스플리터에서 분기된 빛을 시료를 향해 입사시키는 간섭 렌즈 모듈; 및 상기 시료와 상기 간섭 렌즈 모듈을 통해 생성된 간섭광이 상기 제1빔 스플리터를 통과한 후 측정되는 이미징 분광기;를 포함하며, 상기 이미징 분광기에 측정되는 빛의 신호에 파수에 대한 고주파 변조 효과를 구현하는 고주파 신호 변조 모듈을 포함한 것을 특징으로 한다.