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公开(公告)号：WO2022163969A1
公开(公告)日：2022-08-04
申请号：PCT/KR2021/014983
申请日：2021-10-25
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01B11/06
Abstract: 본 발명에 따른 간섭과 파수 고주파 변조를 이용한 박막 두께와 형상을 측정하는 장치 및 그 장치를 이용한 박막 두께와 형상 측정 방법은, 광대역 다파장 빛을 발생시키는 광원; 상기 광원에서 발생된 빛의 일부를 투과하고 나머지를 반사시키는 제1빔 스플리터; 상기 제1빔 스플리터에서 분기된 빛을 시료를 향해 입사시키는 간섭 렌즈 모듈; 및 상기 시료와 상기 간섭 렌즈 모듈을 통해 생성된 간섭광이 상기 제1빔 스플리터를 통과한 후 측정되는 이미징 분광기;를 포함하며, 상기 이미징 분광기에 측정되는 빛의 신호에 파수에 대한 고주파 변조 효과를 구현하는 고주파 신호 변조 모듈을 포함한 것을 특징으로 한다.
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