公开(公告)号：KR102259289B1

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：KR1020180018357

申请日：2018-02-14

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 이원준 ,  김예원

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/30 ,  H01L21/02 ,  H01L21/285 ,  H01L45/00

公开(公告)号：KR101935348B1

公开(公告)日：2019-04-03

申请号：KR1020170061660

申请日：2017-05-18

Applicant: 세종대학교산학협력단

Inventor： 이원준 ,  박재민 ,  김예원

IPC: H01L45/00