公开(公告)号：KR20210032246A

公开(公告)日：2021-03-24

申请号：KR1020190113777A

申请日：2019-09-16

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  김준현 ,  박진수

IPC: H01L21/3065 ,  C09K13/00 ,  H01L21/311

CPC classification number: H01L21/3065 ,  C09K13/00 ,  H01L21/31144

Abstract: 본 발명의 플라즈마 식각 방법은 식각 대상이 배치된 플라즈마 챔버에 증기화된 하기 화학식 1의 분자 구조를 갖는 1,1,2,2-테트라플루오로에틸-2,2,2-트리플루오로에틸 에테르(1,1,2,2-tetrafluoroethly-2,2,2-trifluoroethyl ether) 및 아르곤 가스를 포함하는 혼합가스를 제공하는 제1 단계; 및 상기 혼합가스로부터 생성된 플라즈마를 이용하여 상기 식각 대상을 식각하는 제2 단계를 포함한다.

公开(公告)号：WO2021033884A1

公开(公告)日：2021-02-25

申请号：PCT/KR2020/007074

申请日：2020-06-01

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  김준현 ,  박진수

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  C09K13/00 ,  H01L21/67

Abstract: 본 발명의 플라즈마 식각 방법은 식각 대상이 배치된 플라즈마 챔버에 증기화된 화학식 1의 분자 구조를 갖는 헵타플루오로이소프로필 메틸에테르(Heptafluoroisopropyl methyl ether) 또는 증기화된 화학식 2의 분자 구조를 갖는 헵타플루오로프로필 메틸에테르(Heptafluoropropyl methyl ether) 중에서 선택된 어느 하나 및 아르곤 가스를 포함하는 혼합가스를 제공하는 제1 단계; 및 혼합가스로부터 생성된 플라즈마를 이용하여 식각 대상을 식각하는 제2 단계를 포함한다.

公开(公告)号：WO2021054567A1

公开(公告)日：2021-03-25

申请号：PCT/KR2020/007073

申请日：2020-06-01

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  김준현 ,  박진수

IPC: C09K13/00 ,  H01L21/311 ,  H01L21/02 ,  H01L21/3065

Abstract: 본 발명의 플라즈마 식각 방법은 식각 대상이 배치된 플라즈마 챔버에 증기화된 하기 화학식 1의 분자 구조를 갖는 1,1,2,2-테트라플루오로에틸-2,2,2-트리플루오로에틸 에테르(1,1,2,2-tetrafluoroethly-2,2,2-trifluoroethyl ether) 및 아르곤 가스를 포함하는 혼합가스를 제공하는 제1 단계; 및 상기 혼합가스로부터 생성된 플라즈마를 이용하여 상기 식각 대상을 식각하는 제2 단계를 포함한다.