公开(公告)号：WO2022239945A1

公开(公告)日：2022-11-17

申请号：PCT/KR2022/003241

申请日：2022-03-08

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  김준현 ,  유상현

IPC: B22F1/142 ,  B22F1/054 ,  C22C1/04 ,  C22C9/00 ,  C22F1/08 ,  C21D1/26 ,  G01N21/65 ,  H01M4/38 ,  H01G11/30 ,  H01G11/26 ,  B22F1/00

Abstract: 구리 복합 구조체의 제조방법이 개시된다. 구리 복합 구조체의 제조방법은 구리 기둥 구조물을 제조하는 제1 단계; 및 상기 구리 기둥 구조물을 질소 분위기에서 어닐링하는 제2 단계를 포함한다.

公开(公告)号：WO2022102909A1

公开(公告)日：2022-05-19

申请号：PCT/KR2021/009755

申请日：2021-07-28

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김창구 ,  김준현 ,  유상현

IPC: H01L21/311 ,  H01L21/02 ,  H01L21/768 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32

Abstract: 플라즈마 식각 방법이 개시된다. 플라즈마 식각 방법은 액상의 헵타플루오로프로필메틸에테르(HFE-347mcc3) 및 펜타플루오로프로판올(PFP)을 증기화시키는 제1 단계 상기 증기화된 HFE-347mcc3, PFP 및 아르곤 가스를 포함하는 방전가스를 식각 대상이 배치된 플라즈마 챔버에 공급하는 제2 단계 및 상기 방전가스를 방전시켜 플라즈마를 생성하고, 이를 이용하여 상기 식각 대상을 플라즈마 식각하는 제3 단계를 포함한다.