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公开(公告)号：KR101119633B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020100053449
申请日：2010-06-07
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 실리콘 나노 와이어(반도체 나노와이어)를 압저항체로 이용한 폴리머 외팔보 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 피란하 클리닝(Piranha Cleaning), RCA-1 클리닝 및 RCA-2 클리닝을 수행하여 SOI 웨이퍼 표면에 잔류하는 잔류물을 제거하는 (a) 단계; SOI 웨이퍼 표면에 AZ계열의 AZ5214 감광제를 통해 포토리소그래피 공정을 수행하여 실리콘 나노 와이어 패턴을 형성하는 (b) 단계; 마스크 물질로 PR(PhotoResist)을 이용함과 아울러 RIE(Reactive ion etching)을 통해 실리콘 나노 와이어 패턴을 실리콘 나노 와이어로 제작하는 (c) 단계; E-beam evaporator를 이용하여 Au를 100㎚로 증착시키고, lift off 공정을 이용하여 실리콘 나노 와이어 상부에 금속층을 패터닝함과 아울러 AZ5214를 감광제로 이용하여 금속 배선 패턴을 제작하며, 아세톤 및 Ultrasonic을 이용하여 AZ5214를 제거하는 (d) 단계; 금속 배선 상부에 두께가 5㎛가 되도록 폴리머 재질의 감광막(SU-8 2002)을 통해 외팔보 패턴을 형성하는 (e) 단계; 외팔보 패턴 상부에 두께가 200㎛가 되도록 폴리머 재질의 감광막(SU-8 2050)을 통해 외팔보 바디 패턴을 형성하는 (f) 단계; 감광막(SU-8)의 열적 스트레스를 최소화하기 위해 lift-off 공정 실행, 감광제를 이용하여 외팔보 상부에 Bio-sensor 패턴을 제작하고, E-beam evaporator를 이용하여 Au를 30㎚ 증착시키며, 아세톤 및 Ultrasonic을 이용하여 AZ5214를 제거하는 (g) 단계; 외팔보 바디 패턴 상부에 Elctroplating 공정을 통해 200㎛의 두께를 갖도록 Ni를 통해 금속라인을 형성하는 (h) 단계; 및 BHF(Buffered Hydrofluoric acid) 용액을 이용하여 burried oxide층을 제거하는 (i) 단계; 를 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 압저항체로 실리콘 나노 와이어(반도체 나노와이어)를 사용함으로써, 고감도 외팔보를 제작할 수 있고, 외팔보 재료로 폴리머를 이용함으로써, 간단한 제작 공정으로 낮은 스프링 상수를 갖는 외팔보를 제작 할 수 있어 원자 현미경의 수직적 분해능을 향상시키며, 생체 친화적 재료인 감광막(SU-8)을 사용함으로써, 생체 조직 시료 및 액체 속에서 구동이 가능한 외팔보를 제작하는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020110078439A
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：KR1020090135253
申请日：2009-12-31
Applicant: 전남대학교산학협력단
CPC classification number: G01Q60/42 , G01Q10/045 , G01Q60/363 , G01R1/06727
Abstract: PURPOSE: A cantilever structure and a manufacture method thereof are provided to offer a cantilever of which the spring constant is low. CONSTITUTION: A cantilever supporting portion(114) is arranged in one side of a body portion(132). A cantilever(112) is extended from the cantilever supporting portion. A probe(116) is protruded in one side of the cantilever. One or more piezoresistive sensors(122,224) are at least formed in one side of the cantilever. A resistance pattern is formed on the cantilever supporting portion. A metal pad(126) is formed on the cantilever supporting portion. A conductive pattern(128) electrically connects the piezoresistive sensor and the resistance pattern with the metal pad.
Abstract translation: 目的：提供悬臂结构及其制造方法来提供弹簧常数低的悬臂。 构成：悬臂支撑部分（114）布置在主体部分（132）的一侧中。 悬臂（112）从悬臂支撑部分延伸。 探针（116）在悬臂的一侧突出。 至少在悬臂的一侧形成一个或多个压阻传感器（122,224）。 在悬臂支撑部分上形成电阻图案。 金属垫（126）形成在悬臂支撑部分上。 导电图案（128）使压电传感器和电阻图案与金属垫电连接。
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公开(公告)号：KR101220416B1
公开(公告)日：2013-01-10
申请号：KR1020100082790
申请日：2010-08-26
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 초발수성 폴리머 필름의 제작방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 포토리소그래피(phothlithography) 공정을 이용하여 표면에 고종횡비 마이크로 구조물을 갖는 초발수성 필름을 제작하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 제작방법에 따르면, 실리콘을 식각하는 종래 기술에 비하여 간단하고 경제적인 포토리소그래피(phothlithography) 공정을 이용하여 접촉각이 향상된 초발수성 필름을 제작할 수 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101173250B1
公开(公告)日：2012-08-10
申请号：KR1020100053781
申请日：2010-06-08
Applicant: 전남대학교산학협력단
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 폴리머 마이크로 탐침장치 및 그 제작방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체의 저항 특히, 절연체 위에 형성된 금속 박막의 비저항을 측정하는 4 단자 탐침의 구조와 제작방법에 관한 것이다.
본 발명은 마이크로 탐침장치에 있어서, 금속패드가 형성된 바디 패턴부와, 이러한 바디 패턴부에 연결된 캔틸레버부를 포함하며, 여기서 캔틸레버부는, 일면 끝단에 다각 형상체가 돌출되어 형성된 탐침과, 바디 패턴부의 금속패드로부터 연결되어 탐침면 상에 형성되는 탐침 패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기와 같은 본 발명에 따르면, 사각 구조의 탐침 정렬 방법을 제안하여 작은 시편 및 굴곡이 있는 시편을 측정할 수 있고, 웨이퍼 표면의 결정 방향에 다른 전기적인 특성평가를 할 수 있으며, SU-8 즉, 폴리머 계열의 재료를 사용함으로써, 기존의 실리콘 기반의 탐침장치보다 제작 공정이 간단하고, 제작비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020110134031A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100053781
申请日：2010-06-08
Applicant: 전남대학교산학협력단
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A polymer micro probe device and a manufacturing method thereof are provided to use a probe arranging method, thereby measuring a small sample or an uneven sample. CONSTITUTION: A body pattern unit(100) comprises a metal pad(110) of a honeycomb structure. A cantilever unit(200) is connected to the body pattern unit. The cantilever unit comprises a probe and a probe pattern. A polygonal object is formed in the end of the probe. A probe pattern is connected from the metal pad of the body pattern unit to a metal line.
Abstract translation: 目的：提供一种聚合物微型探针装置及其制造方法以使用探针排列方法，从而测量小样品或不均匀的样品。 构成：身体图案单元（100）包括蜂窝结构的金属垫（110）。 悬臂单元（200）连接到主体图案单元。 悬臂单元包括探针和探针图案。 在探针的末端形成多边形物体。 探针图案从身体图案单元的金属垫连接到金属线。
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公开(公告)号：KR101183581B1
公开(公告)日：2012-09-17
申请号：KR1020090135253
申请日：2009-12-31
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 캔틸레버 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 특히 제작이 용이하고 원자 현미경의 분해능을 높일 수 있는 캔틸레버 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 캔틸레버 구조체는 폴리머 계열의 물질로 형성되는 바디부, 바디부의 일면에 배치되며 폴리머 계열의 물질로 형성되는 외팔보 지지부, 외팔보 지지부와 일체형으로 형성되며 바디부의 일측방향으로 돌출되도록 외팔보 지지부에서 신장되는 외팔보을 구비한다. 그리고 외팔보의 일면에는 끝단이 첨예하게 돌출되는 탐침이 형성된다. 또한 외팔보의 적어도 일면에는 하나 이상의 압저항 센서가 형성된다. 그리고, 외팔보 지지부에는 저항 패턴, 전원전압을 인가받기 위한 금속 패드가 형성된다. 또한 압저항 센서 및 저항 패턴을 금속 패드와 전기적으로 연결하면서 휘트스톤 브리지 회로를 구성하는 도전 패턴을 구비한다.
원자 현미경, 캔틸레버, 외팔보, 폴리머, 휘트스톤 브리지-
公开(公告)号：KR1020110133824A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020100053449
申请日：2010-06-07
Applicant: 전남대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing the polymer cantilever using a silicon-wire is provided to manufacture the high sensitive cantilever. CONSTITUTION: A metal wire is manufactured on the upper part of the silicon nano wire(S4). A cantilever pattern is formed on the upper part of the metal wire through a sensitive film(SU-8 2002) of a polymer materials(S5). The body pattern of a cantilever is formed on the upper part of the cantilever pattern through a sensitive film(SU-8 2050) of the polymer materials(S6). A bio-sensor pattern is formed on the upper part of the cantilever by using AZ5214 photo sensitizer(S7). A metal pad is formed on upper part of the body pattern of the cantilever with Ni through a electroplating process(S8).
Abstract translation: 目的：提供使用硅线制造聚合物悬臂的方法来制造高灵敏度悬臂。 构成：在硅纳米线的上部制造金属线（S4）。 通过高分子材料（S5）的敏感膜（SU-8 2002）在金属丝的上部形成悬臂图案。 通过聚合物材料（S6）的敏感膜（SU-8 2050）在悬臂图案的上部形成悬臂的主体图案。 通过使用AZ5214光敏剂（S7）在悬臂的上部形成生物传感器图案。 金属垫通过电镀工艺以Ni形成在悬臂的主体图案的上部（S8）上。
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公开(公告)号：KR1020120019545A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020100082790
申请日：2010-08-26
Applicant: 전남대학교산학협력단
CPC classification number: G03F7/2014 , C08G77/18 , C08G77/50 , C08J5/18 , C08L83/04 , C08L83/14 , C09D183/04 , C09D183/14 , G03F7/063 , G03F7/0752
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a super water-repellent polymer film is provided to cost-effectively obtain the super water-repellent polymer film and to improve the contact angle of the super water-repellent film. CONSTITUTION: A method for manufacturing a super water-repellent polymer film includes the following: aluminum deposited on a silicon wafer as a sacrificial layer; photo-resist is coated on the aluminum deposited layer; a chrome mask of constant pattern grooves is aligned on the photo-resist; an exposing operation and a developing operation are implemented; super hydrophobic polymer is coated on the developed photo-resist; the aluminum deposited layer is eliminated; and the photo-resist eliminated. The super hydrophobic polymer is polydimethylsiloxane or SU-8.
Abstract translation: 目的：提供一种制造超疏水性聚合物膜的方法，以便成本有效地获得超疏水性聚合物膜并改善超级防水膜的接触角。 构成：超疏水性聚合物膜的制造方法，其特征在于：将沉积在硅晶片上的铝作为牺牲层; 光致抗蚀剂涂覆在铝沉积层上; 恒定图案凹槽的铬掩模在光致抗蚀剂上对准; 实施曝光操作和显影操作; 将超疏水性聚合物涂覆在显影的光刻胶上; 淘汰铝沉积层; 并消除光刻胶。 超疏水性聚合物是聚二甲基硅氧烷或SU-8。
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