公开(公告)号：KR101305556B1

公开(公告)日：2013-09-05

申请号：KR1020110040673

申请日：2011-04-29

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 장호원 ,  윤석진 ,  김진상 ,  최지원 ,  강종윤 ,  심영석

IPC: G01N27/12 ,  H01L21/28 ,  G01N27/30

Abstract: 본 발명은 투명 산화물 전극을 포함하는 가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 형성된 감지 전극; 및 상기 감지 전극 상에 형성된 가스 감응 물질층을 포함하고, 상기 감지 전극이 투명 전도성 산화물 박막으로 구성된 가스 센서 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 감지 전극이 투명 산화물 전극으로 구성되어, 저가격화를 도모함과 동시에 감응도가 향상되고, 높은 신뢰성 및 투명성 등을 갖는다.

公开(公告)号：KR1020120122491A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：KR1020110040673

申请日：2011-04-29

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 장호원 ,  윤석진 ,  김진상 ,  최지원 ,  강종윤 ,  심영석

IPC: G01N27/12 ,  H01L21/28 ,  G01N27/30

Abstract: PURPOSE: A gas sensor including a transparent oxide electrode and a manufacturing method thereof are provided to constitute a sensing electrode as a transparent conductive oxide thin film, thereby lowering the cost of a gas sensor. CONSTITUTION: A gas sensor comprises a substrate(10), a sensing electrode(20), and a gas inductor layer(30). The sensing electrode is formed on the substrate. The gas inductor layer is formed on the sensing electrode. The sensing electrode is a transparent conductive oxide thin film.

Abstract translation: 目的：提供一种包含透明氧化物电极的气体传感器及其制造方法，以构成作为透明导电氧化物薄膜的感测电极，从而降低气体传感器的成本。 构成：气体传感器包括基底（10），感测电极（20）和气体感应层（30）。 感测电极形成在基板上。 气敏电感层形成在感应电极上。 感测电极是透明导电氧化物薄膜。