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公开(公告)号：WO2022191370A1
公开(公告)日：2022-09-15
申请号：PCT/KR2021/012078
申请日：2021-09-07
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 다공성 금속산화물 박막에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치는, 제1 영역을 포함하는 상부 챔버; 제2 영역을 포함하는 하부 챔버; 상기 상부 챔버 및 상기 하부 챔버 사이의 연결 지점에 위치하고, 타겟으로부터 빠져나온 금속 입자들을 통과시키는 적어도 하나의 홀을 가지는 금속판; 상기 제2 영역에서 기판을 지지하는 지그; 및 상기 금속판 및 상기 지그 사이에 형성된 산소 가스링;을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170092252A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：KR1020160013356
申请日：2016-02-03
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: 본발명은플렉시블가스센서및 이의제조방법에관한것이다. 보다상세하게는플렉시블기판을기반으로하여범용성을가지며, 기판과전극간우수한접착성을담보할수 있는플렉시블가스센서및 이의제조방법에관한것이다. 본발명은 (a) 플렉시블기판상에미리결정된패턴을갖는히터전극을형성하는단계; (b) 상기히터전극상의미리결정된영역에절연층을형성하는단계; (c) 상기절연층상에미리결정된패턴을갖는감지전극을형성하는단계; 및 (d) 상기감지전극상에가스감지층을형성하는단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면플렉시블특성을갖는 PI(Polyimide)기판상에히터전극, 절연층, 감지전극, 및가스감지층을적층한형태의가스센서를제공가능하므로범용성을가지며, 휘어짐과같은물리적손상에의해전기적특성및 센서감도저하등이발생하지않는효과를갖는다.
Abstract translation: 本发明涉及一种柔性气体传感器及其制造方法。 更具体地说，本发明涉及基于柔性基板具有通用性并且能够确保基板与电极之间的优异粘合性的柔性气体传感器及其制造方法。 （A）在柔性衬底上形成具有预定图案的加热器电极; （b）在加热器电极上的预定区域上形成绝缘层; （c）在绝缘层上形成具有预定图案的感测电极; （d）在感测电极上形成气体感测层。 根据本发明，可以提供一种气体传感器，其中加热电极，绝缘层，感测电极和气敏层被层压在具有柔性的聚酰亚胺（PI）基板上， 特性和传感器灵敏度不会降低。
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公开(公告)号：KR101055604B1
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：KR1020090047449
申请日：2009-05-29
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 이희철
IPC: H01L41/04
Abstract: 박막형 압전소자 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 박막형 압전소자는, 교정 질량 및 압전 구동부가 구비된 상판; 상기 상판과 접합되며, 상기 압전 구동부의 구동을 위한 진공 공공이 형성된 중간 판; 및 상기 중간 판에 접합되어 상기 진공 공공을 실링하며, 기계적인 안정성을 제공하는 하판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
박막, 압전소자, 압전 커패시터, 진공 증발법, 실리콘-
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101138239B1
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：KR1020100059644
申请日：2010-06-23
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
IPC: H01L41/318 , H01L41/39
Abstract: 본 발명은 고압전 계수 박막의 제조방법에 관한 것으로, 납 전구체 용액에 지르코늄/티타늄 전구체 용액을 혼합하여 PZT 용액을 제조한 후 C1-C10 알콕시알콜 및 에틸렌글리콜을 첨가하고 증류하여 PZT 졸-겔 용액을 제조한 다음, 이를 기판상에 코팅 및 열처리함으로써 고압전 계수 박막을 제조할 수 있다.
또한 납/아연/니오비움 전구체 용액에 지르코늄/티타늄 전구체 용액을 혼합하여 PZN-PZT 용액을 제조한 후 C1-C10 알콕시알콜 및 에틸렌글리콜을 첨가하고 증류하여 PZN-PZT 졸-겔 용액을 제조한 다음, 이를 기판상에 코팅 및 열처리함으로써 고압전 계수 박막을 제조할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020100128820A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：KR1020090047449
申请日：2009-05-29
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 이희철
IPC: H01L41/04
CPC classification number: H01L41/08 , H01L41/313 , H01L41/314 , H01L41/331 , H01L41/332
Abstract: PURPOSE: A thin film piezoelectric element and a manufacturing method thereof are provided to form a piezoelectric layer having excellent piezoelectric property by excluding the variable which can occur during the process by implementing the following process after depositing all the piezoelectric film. CONSTITUTION: A top plate is arranged with a correction mass(60) and a piezoelectric drive(10). The piezoelectric drive comprises a piezoelectric-foil(15), a first electrode(14), and a second electrode(16). A center plate(20) is formed with a vacuum hollow(25) for driving the piezoelectric drive. The vacuum hollow is formed by etching the top of the middle plate in reversed triangle shape.
Abstract translation: 目的：提供一种薄膜压电元件及其制造方法，通过在沉积所有压电膜之后执行以下处理，通过排除在该过程中可能发生的变量，形成具有优异的压电性能的压电层。 构成：顶板布置有校正块（60）和压电驱动器（10）。 压电驱动器包括压电箔（15），第一电极（14）和第二电极（16）。 中心板（20）形成有用于驱动压电驱动器的真空中空（25）。 真空中空通过中间板的顶部以三角形形状的蚀刻而形成。
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公开(公告)号：KR1020180126270A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：KR1020170061102
申请日：2017-05-17
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , (주) 우석켐
Abstract: 본발명은자외선차단용실리카계복합분체에관한것으로, 보다상세하게는다공성실리카; 상기다공성실리카의기공내부의표면에도핑된무기계자외선차단제; 상기다공성실리카의기공내부에함침된유기계자외선차단제; 및상기다공성실리카의외부표면에코팅된코팅층을포함하는자외선차단용실리카계복합분체, 이의제조방법및 이를포함하는조성물을제공한다.
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公开(公告)号：KR101721491B1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：KR1020110075567
申请日：2011-07-29
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 이희철
IPC: H01L31/04 , H01L31/18 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 태양전지상부전극의제조방법이제공된다. 태양전지상부전극의제조방법은스크린마스크로부터노출되는기판상에제 1 패턴들을형성하는단계와, 상기제 1 패턴들에대응되고상기제 1 패턴들보다작은선폭의홈들을갖는스탬프로상기제 1 패턴들을상기기판에가압하여상기제 1 패턴보다작은선폭의제 2 패턴들을형성하는단계와, 상기제 2 패턴들을상기기판에고착시키는단계와, 상기기판으로부터상기스탬프를분리하는단계를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种制造太阳能电池上电极的方法。 一种制造太阳能电池上电极的方法包括以下步骤：在从丝网掩模露出的基板上形成第一图案;通过具有线宽小于第一图案的凹槽的印模在基板上形成第一图案; 将图案压向基底以形成线宽小于第一图案的第二图案;将第二图案固定至基底;以及将印模从基底分离。
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公开(公告)号：KR101703520B1
公开(公告)日：2017-02-07
申请号：KR1020110075565
申请日：2011-07-29
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 이희철
IPC: H01L31/04 , H01L31/18 , H01L31/0236
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 태양전지의제조방법이제공된다. 태양전지의제조방법은기판상에요철을갖는제 1 전극층을형성하는단계와, 상기제 1 전극층의상기요철을따라저농도의 p 타입도전성을갖는산화제 2 구리(CuO) 층을형성하는단계와, 상기산화제 2 구리층 상에구리층을형성하는단계와, 상기산화제 2 구리층이노출될때까지상기구리층을평탄화하고, 상기구리층을열산화시켜상기요철내에상기산화제 2 구리층보다높은고농도의 p 타입도전성으로과잉도핑된산화제 1 구리(CuO) 층을형성하는단계와, 상기산화제 1 구리층 상에광 흡수층을형성하는단계와, 상기광 흡수층 상에 n 타입의도전성을갖는산화물반도체층을형성하는단계와, 상기산화물반도체층 상에제 2 전극층을형성하는단계를포함한다.
Abstract translation: 目的：提供一种制造太阳能电池的方法，以通过在氧化物半导体层之中过度掺杂一层来最大化生产率和提高光吸收效率。 构成：在基板（10）上形成具有凹凸（22）的第一电极层（20）。 第一氧化物半导体层（30）形成在第一电极层上。 在第一氧化物半导体层上形成金属层。 金属层通过化学机械抛光进行平面化。 在金属层上进行快速热处理以形成第二氧化物半导体层（50）。
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