公开(公告)号：KR1020170092252A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：KR1020160013356

申请日：2016-02-03

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이희철 ,  윤희수 ,  이수연

IPC: G01N27/04 ,  G01N27/12 ,  G01N27/16 ,  G01N33/00

Abstract: 본발명은플렉시블가스센서및 이의제조방법에관한것이다. 보다상세하게는플렉시블기판을기반으로하여범용성을가지며, 기판과전극간우수한접착성을담보할수 있는플렉시블가스센서및 이의제조방법에관한것이다. 본발명은 (a) 플렉시블기판상에미리결정된패턴을갖는히터전극을형성하는단계; (b) 상기히터전극상의미리결정된영역에절연층을형성하는단계; (c) 상기절연층상에미리결정된패턴을갖는감지전극을형성하는단계; 및 (d) 상기감지전극상에가스감지층을형성하는단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면플렉시블특성을갖는 PI(Polyimide)기판상에히터전극, 절연층, 감지전극, 및가스감지층을적층한형태의가스센서를제공가능하므로범용성을가지며, 휘어짐과같은물리적손상에의해전기적특성및 센서감도저하등이발생하지않는효과를갖는다.

Abstract translation: 本发明涉及一种柔性气体传感器及其制造方法。 更具体地说，本发明涉及基于柔性基板具有通用性并且能够确保基板与电极之间的优异粘合性的柔性气体传感器及其制造方法。 （A）在柔性衬底上形成具有预定图案的加热器电极; （b）在加热器电极上的预定区域上形成绝缘层; （c）在绝缘层上形成具有预定图案的感测电极; （d）在感测电极上形成气体感测层。 根据本发明，可以提供一种气体传感器，其中加热电极，绝缘层，感测电极和气敏层被层压在具有柔性的聚酰亚胺（PI）基板上， 特性和传感器灵敏度不会降低。

公开(公告)号：KR101842648B1

公开(公告)日：2018-03-28

申请号：KR1020170012069

申请日：2017-01-25

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이희철 ,  김형관 ,  윤희수 ,  김준형

IPC: G01N27/407

CPC classification number: G01N27/407 ,  G01N27/4067

Abstract: 본발명은 MEMS 구조를가지는히터임베디드유해가스센서의제작방법에관한것으로서, 본발명의유해가스센서의제작방법은, 실리콘기판의상면과하면에열적고립층을위한산화막과보호층을위한질화막을순차적층하는단계; 상기하면에형성된상기질화막과상기산화막을순차식각한후, 드러난실리콘층을소정의깊이까지식각하여캐비티를형성하는단계; 및상기상면에마이크로히터를위한전극들과그 사이의저항패턴을형성한후, 그위에절연층, 감지전극패턴및 감지물질층을순차적층하는단계를포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有MEMS结构，根据本发明，对于氧化物层和用于热隔离层的硅衬底的上表面和下表面上的保护层的氮化物膜中的有毒气体传感器的制造方法的加热器嵌入有毒气体传感器的制造方法 依次分层; 依次蚀刻在下表面上形成的氮化物层和氧化物层，并且将暴露的硅层蚀刻到预定深度以形成空腔; 并且在上表面上形成用于微型加热器的电极和其间的电阻图案，并且在其上依次层叠绝缘层，感测电极图案和感测材料层。