公开(公告)号：KR102220889B1

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：KR1020180030826

申请日：2018-03-16

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 한상필 ,  신준환 ,  이일민 ,  박경현

IPC: G01N21/3586

Abstract: 일실시예에따르면, 시료의깊이영상및 평면영상을획득하는영상획득장치일수 있다. 이때, 영상획득장치는테라헤르츠파를생성하는빔 소스(beam source); 상기빔 소스에서출력되는상기테라헤르츠파의각도보다상기테라헤르츠파의각도를확장하는빔 확장기(beam expander); 상기빔 확장기를투과한테라헤르츠파의교차하는위치에배치되어, 상기테라헤르츠파의진행하는방향을조절하는빔 스플리터(beam splitter); 상기방향이조절된테라헤르츠파가시료(sample)에서반사되고, 상기시료에서반사된테라헤르츠파를수신한빔 스플리터로부터출력되는테라헤르츠파를수신하여, 산란된테라헤르츠파를출력하는빔 산란기(beam diffuser); 상기빔 산란기에서산란된테라헤르츠파의초점위치를결정하는텔레센트릭렌즈(telecentric f-θ lens); 상기텔레센트릭렌즈를투과한상기테라헤르츠파를반사하는빔 스캐너(beam scanner); 및상기시료의영상을획득하기위해상기빔 스캐너에서상기반사된테라헤르츠파를검출하는빔 검출기(beam detector)를포함할수 있다.

公开(公告)号：KR102246610B1

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：KR1020190113723

申请日：2019-09-16

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이의수 ,  박경현 ,  이일민 ,  문기원 ,  박동우 ,  김현수 ,  이호진 ,  박정우 ,  신준환 ,  최경선 ,  최다혜

IPC: G01N21/3581 ,  G02B26/12

Abstract: 폴리곤미러어셈블리및 스캔장치가제공된다. 폴리곤미러어셈블리는, 회전축으로부터소정의거리로이격되어배치된복수의반사면을포함하는폴리곤미러; 폴리곤미러를회전축을중심으로회전시키는제1 모터; 제1 모터가폴리곤미러를회전시키는동안, 회전축이틸팅(tilting)되도록폴리곤미러를제1 축방향으로이동시키는제2 모터; 및제1 모터의회전속도에대한변화를검출하기위한클럭신호를추출하는클럭신호추출면을포함한다.