公开(公告)号：CN1548947A

公开(公告)日：2004-11-24

申请号：CN03156997.8

申请日：2003-09-17

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 南宫墣 ,  朴昌铉 ,  裵基先 ,  沈在信 ,  金炫秀

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/27 ,  G01N21/57 ,  G01J3/10

Abstract: 一种检查基片的照明装置，用于提供检查大尺寸的基片表面的最佳的视觉条件，该照明装置包括：多个用于分别反射来自多个光源的光线的镜子，这些光源在一个曲面上沿左/右和上/下中的至少一个方向移动；和用于将在镜子上反射的散射光聚焦到一个焦点，并照亮在一个平台上的基片的菲涅耳透镜，由此简化该照明装置的移动结构，并允许操作人员通过用多束光线照亮大尺寸基片的大片区域，在不移动焦点的情况下在一个焦点进行检查。

公开(公告)号：CN1292246C

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN03156997.8

申请日：2003-09-17

Applicant: DE&T株式会社

Inventor： 南宫墣 ,  朴昌铉 ,  裵基先 ,  沈在信 ,  金炫秀

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/27 ,  G01N21/57 ,  G01J3/10

Abstract: 一种检查基片的照明装置，用于提供检查大尺寸的基片表面的最佳的视觉条件，该照明装置包括：多个用于分别反射来自多个光源的光线的镜子，这些光源在一个曲面上沿左/右和上/下中的至少一个方向移动；和用于将在镜子上反射的散射光聚焦到一个焦点，并照亮在一个平台上的基片的菲涅耳透镜，由此简化该照明装置的移动结构，并允许操作人员通过用多束光线照亮大尺寸基片的大片区域，在不移动焦点的情况下在一个焦点进行检查。