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公开(公告)号：CN1548946A
公开(公告)日：2004-11-24
申请号：CN03153238.1
申请日：2003-08-07
Applicant: DE&T株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种用于检查平面基片存在的缺陷的装置，包括：一个位于本体上部的基础部件；一个安装在基础部件上的用于可分离地放置待检基片的检查平台，该检查平台的一端能够围绕一旋转轴转动；一个用于把检查平台转动到需要的角度的转动装置；一个用于把光从检查平台的后面投射到检查平台上的待检基片上的背光装置，从而可以通过在放置基片的检查平台的后面可分开地安装一背光装置，以便把光投射到待检基片的整个表面上，进行宏观或微观观察，从而进行更精确的缺陷确认。
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公开(公告)号：CN100505207C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200310100100.3
申请日：2003-10-08
Applicant: DE&T株式会社
IPC: H01L21/687 , G01N21/88
Abstract: 一种基片检查装置中的多用途平台，该平台用于固定、和检查基片的外部缺陷，该平台包括：一个矩形的框架；多个在所述框架上的移位装置，每个移位装置用于相应于待检基片的尺寸移动其位置；以及在每个移位装置上的固定装置，用于固定或释放基片的角部，从而允许通过简单的系统和操作来改变该平台上的基片固定装置的位置，以便将不同尺寸的基片稳定地固定在平台上。
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公开(公告)号：CN1548947A
公开(公告)日：2004-11-24
申请号：CN03156997.8
申请日：2003-09-17
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种检查基片的照明装置，用于提供检查大尺寸的基片表面的最佳的视觉条件，该照明装置包括：多个用于分别反射来自多个光源的光线的镜子，这些光源在一个曲面上沿左/右和上/下中的至少一个方向移动；和用于将在镜子上反射的散射光聚焦到一个焦点，并照亮在一个平台上的基片的菲涅耳透镜，由此简化该照明装置的移动结构，并允许操作人员通过用多束光线照亮大尺寸基片的大片区域，在不移动焦点的情况下在一个焦点进行检查。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1576827A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200310100100.3
申请日：2003-10-08
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种基片检查装置中的多用途平台，该平台用于固定、和检查基片的外部缺陷，该平台包括：一个矩形的框架；多个在所述框架上的移位装置，每个移位装置用于相应于待检基片的尺寸移动其位置；以及在每个移位装置上的固定装置，用于固定或释放基片的角部，从而允许通过简单的系统和操作来改变该平台上的基片固定装置的位置，以便将不同尺寸的基片稳定地固定在平台上。
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公开(公告)号：CN1550775A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN03156943.9
申请日：2003-09-15
Applicant: DE&T株式会社
Inventor： 沈在信
Abstract: 一种用于检查放置在目标位置的基片的缺陷的装置，包括：一个底座；一个用于放置待检基片的平台；一个可移动结构，该平台转动地安装在可移动结构的上面；和一个具有六个提升传动装置的平行操作装置，每个提升传动装置可以按预定的量向上/下移动，该提升传动装置具有与底座连接的可以在任意方向转动的一个下端，和与可移动结构连接的可以在任意方向转动的一个上端，以便在目标方向移动该可移动结构，从而允许在目标位置放置该基片和简化该检查系统。
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公开(公告)号：CN1292246C
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN03156997.8
申请日：2003-09-17
Applicant: DE&T株式会社
Abstract: 一种检查基片的照明装置，用于提供检查大尺寸的基片表面的最佳的视觉条件，该照明装置包括：多个用于分别反射来自多个光源的光线的镜子，这些光源在一个曲面上沿左/右和上/下中的至少一个方向移动；和用于将在镜子上反射的散射光聚焦到一个焦点，并照亮在一个平台上的基片的菲涅耳透镜，由此简化该照明装置的移动结构，并允许操作人员通过用多束光线照亮大尺寸基片的大片区域，在不移动焦点的情况下在一个焦点进行检查。
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公开(公告)号：CN1288435C
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN03153238.1
申请日：2003-08-07
Applicant: DE&T株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种用于检查平面基片存在的缺陷的装置，包括：一个位于本体上部的基础部件；一个安装在基础部件上的用于可分离地放置待检基片的检查平台，该检查平台的一端能够围绕一旋转轴转动；一个用于把检查平台转动到需要的角度的转动装置；一个用于把光从检查平台的后面投射到检查平台上的待检基片上的背光装置，从而可以通过在放置基片的检查平台的后面可分开地安装一背光装置，以便把光投射到待检基片的整个表面上，进行宏观或微观观察，从而进行更精确的缺陷确认。
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公开(公告)号：CN1277113C
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN03156943.9
申请日：2003-09-15
Applicant: DE&T株式会社
Inventor： 沈在信
Abstract: 一种用于检查放置在目标位置的基片的缺陷的装置，包括：一个底座；一个用于放置待检基片的平台；一个可移动结构，该平台转动地安装在可移动结构的上面；和一个具有六个提升传动装置的平行操作装置，每个提升传动装置可以按预定的量向上/下移动，该提升传动装置具有与底座连接的可以在任意方向转动的一个下端，和与可移动结构连接的可以在任意方向转动的一个上端，以便在目标方向移动该可移动结构，从而允许在目标位置放置该基片和简化该检查系统。
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