公开(公告)号：WO2022073820A1

公开(公告)日：2022-04-14

申请号：PCT/EP2021/076794

申请日：2021-09-29

Applicant: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN E.V.

Inventor： ERNST, Owen ,  UEBEL, David ,  LANGE, Felix ,  TEUBNER, Thomas ,  SCHRAMM, Hans-Peter ,  BOECK, Torsten

IPC: B81C1/00

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Mikrostrukturierung und insbesondere ein Verfahren zur Erzeugung lokal definierter Mikrostrukturen (24) aus Metallen (20) auf Substratoberflächen (12). Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Erzeugung lokal definierter Mikrostrukturen (24) auf Substratoberflächen (12) umfasst das Bereitstellen einer Substratoberfläche (12) mit einem Bereich festgelegter Rauheit (14), das lokale Verringern der Rauheit der Substratoberfläche (12) im Bereich festgelegter Rauheit (14) zur Ausbildung mindestens eines Bereichs verminderter Rauheit (16), das Abscheiden eines Metalls (20) bei einer Temperatur der Substratoberfläche (12) oberhalb des Schmelzpunktes des Metalls (20) zur Ausbildung von lokalisierten Metalltropfen (22) in Bereichen verminderter Rauheit (16) sowie das Abkühlen der Substratoberfläche (12) zum Erstarren der lokalisierten Metalltropfen zu Mikrostrukturen (24) in Bereichen verminderter Rauheit (16).