公开(公告)号：DE112010003347B4

公开(公告)日：2022-02-03

申请号：DE112010003347

申请日：2010-07-23

Applicant: JSR CORP ,  IBM

Inventor： FURUKAWA TAIICHI ,  SWANSON SALLY ANN ,  HOULE FRANCES ANNE

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/00 ,  G03F7/075

Abstract: Vinylether-Resistformulierung, welche das Folgende umfasst:mindestens ein Vinylether-Vernetzungsmittel mit mindestens zwei Vinylethergruppen;mindestens ein Verdünnungsmittel, welches eine monofunktionelle Vinyletherverbindung umfasst;mindestens einen Photosäurebildner, der in einem ausgewählten oder beiden aus i) der monofunktionellen Vinyletherverbindung und ii) dem mindestens einen Vinylether-Vernetzungsmittel löslich ist; undmindestens einen Stabilisator, der eine Esterverbindung umfasst, die selektiv entweder i) an einer Esterposition oder ii) an einer Alphaposition und der Esterposition mit einem Substituenten substituiert ist, wobei die Esterverbindung die folgende Formel aufweist:wobei R1für einen Substituenten an der Alphaposition steht und R2für einen Substituenten an der Esterposition steht.

公开(公告)号：AU569753B2

公开(公告)日：1988-02-18

申请号：AU3266784

申请日：1984-09-03

Applicant: IBM

Inventor： BAUM THOMAS H ,  HOULE FRANCES ANNE ,  JONES CAROL R

IPC: H05K3/14 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  C23C11/02

公开(公告)号：AU3266784A

公开(公告)日：1985-03-21

申请号：AU3266784

申请日：1984-09-03

Applicant: IBM

Inventor： BAUM THOMAS H ,  HOULE FRANCES ANNE ,  JONES CAROL R

IPC: H05K3/14 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  C23C11/02

公开(公告)号：BR8404612A

公开(公告)日：1985-08-06

申请号：BR8404612

申请日：1984-09-14

Applicant: IBM

Inventor： BAUM THOMAS HALL ,  HOULE FRANCES ANNE ,  JONES CAROL RUTH

IPC: H05K3/14 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  C23C14/28

公开(公告)号：ZA846889B

公开(公告)日：1985-04-24

申请号：ZA846889

申请日：1984-09-03

Applicant: IBM

Inventor： BAUM THOMAS HALL ,  HOULE FRANCES ANNE ,  JONES CAROL RUTH

IPC: H05K3/14 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  C22B ,  C23C

公开(公告)号：DE112010003347T5

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：DE112010003347

申请日：2010-07-23

Applicant: JSR CORP ,  IBM

Inventor： SWANSON SALLY ANN ,  HOULE FRANCES ANNE ,  FURUKAWA TAIICHI

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/00 ,  G03F7/075

Abstract: Beschichtungszusammensetzungen, die für UV-Prägelithographie-Anwendungen geeignet sind, umfassen mindestens ein Vinylether-Vernetzungsmittel mit mindestens zwei Vinylethergruppen; mindestens ein Verdünnungsmittel, welches eine monofunktionelle Vinyletherverbindung umfasst; mindestens einen Photosäurebildner, der in einem ausgewählten oder beiden aus der mindestens einen monofunktionellen Vinyletherverbindung und dem mindestens einen Vinylether-Vernetzungsmittel mit mindestens zwei Vinylethergruppen löslich ist; und mindestens einen Stabilisator, der eine Esterverbindung umfasst, die selektiv entweder an einer Esterposition oder an einer Alphaposition und der Esterposition mit einem Substituenten substituiert ist. Es werden auch Prägeverfahren offenbart.

公开(公告)号：DE69115070D1

公开(公告)日：1996-01-18

申请号：DE69115070

申请日：1991-02-04

Applicant: IBM

Inventor： FONTANA ROBERT EDWARD ,  HOULE FRANCES ANNE ,  TSANG CHING HWA

IPC: G01R33/09 ,  G11B5/39 ,  H01F10/32 ,  H01F41/22 ,  H01F41/30 ,  H01F41/34 ,  H01L43/12 ,  H01F41/14 ,  G01R33/06

Abstract: A method for producing a magnetic structure, such as a thin film magnetic head, in which the magnetic and electrical characteristics of magnetic material are tailored to produce magnetic and electrical characteristics in selected localized areas of the magnetic material. In an embodiment, the structure comprises a layer of magnetic material having an overlayer and an underlayer, and the magnetic characteristics of the material are modified by rapid thermal annealing.

公开(公告)号：DE3473166D1

公开(公告)日：1988-09-08

申请号：DE3473166

申请日：1984-08-29

Applicant: IBM

Inventor： BAUM THOMAS HALL ,  HOULE FRANCES ANNE ,  JONES CAROL RUTH

IPC: H05K3/14 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  C23C16/48

公开(公告)号：DE3563635D1

公开(公告)日：1988-08-11

申请号：DE3563635

申请日：1985-11-05

Applicant: IBM

Inventor： BAUM THOMAS HALL ,  HOULE FRANCES ANNE ,  JONES CAROL RUTH ,  KOVAC CAROLINE ANN

IPC: C23C18/16 ,  C23C18/18 ,  C23C18/20 ,  C23C18/30 ,  C23C18/31 ,  H05K3/18

Abstract: In a method of electrolessly depositing copper on a substrate, a palladium seed pattern is formed by directing light (eg from a laser) at the substrate in the presence of the vapour of a palladium compound, such as palladium (II) bis-(hexafluoroacetylacetonate). The substrate may be first coated with a polymer which is removed by excimer laser irradiation.

公开(公告)号：ZA8406889B

公开(公告)日：1985-04-24

申请号：ZA8406889

申请日：1984-09-03

Applicant: IBM

Inventor： BAUM THOMAS HALL ,  HOULE FRANCES ANNE ,  JONES CAROL RUTH

IPC: H05K3/14 ,  C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  C22B ,  C23C

CPC classification number: C23C16/18 ,  H05K3/146