1.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE4445568C2

    公开(公告)日:2002-11-28

    申请号:DE4445568

    申请日:1994-12-20

    Abstract: A process for formation of a thin film transistor which can be usefully applied to a high picture quality active matrix liquid crystal display is disclosed. Particularly, a process for formation of an improved polysilicon thin film transistor is disclosed. In the process for formation of a polysilicon thin film transistor, the solid phase crystallization of a non-crystalline silicon is carried out under a high pressure oxygen atmosphere, and therefore, the solid phase crystallization time for a non-crystalline silicon is shortened so as to improve the productivity, and the grain size of the polysilicon is made more uniform so as improve the electrical characteristics of the TFT (thin film transistor).

    Thin-film, poly:silicon@ transistor mfr.

    公开(公告)号:DE4445568A1

    公开(公告)日:1996-06-27

    申请号:DE4445568

    申请日:1994-12-20

    Abstract: The non-crystalline, silicon layer in heat treated under high pressure in an O2 atmos. in an electric furnace for a solid phase crystallisation and oxidation, forming a good polysilicon and an oxide layer. The two layers are structured and a transistor active region in defined. On a gate layer side walls are formed side wall oxide layers, just as on the side walls of the polysilicon layer of the defined active region. A gate electrode is formed at a suitable position of the gate oxide layer. Then follows an ion implantation, using the gate electrode as a mask, to form a source/drain region on the active one. Final metallising forms metal electrodes.

    Mehrelektroden-Feldemissionsvorrichtung mit einzelner Leistungsquelle und Verfahren, um diese anzusteuern

    公开(公告)号:DE102014107134A1

    公开(公告)日:2014-11-27

    申请号:DE102014107134

    申请日:2014-05-21

    Abstract: Es werden eine Feldemissionsvorrichtung und ein Verfahren zum Ansteuern der Mehrelektroden-Feldemissionsvorrichtung mit einer einzelnen Ansteuerleistungsquelle offenbart. Die Feldemissionsvorrichtung enthält eine Katodenelektrode, eine oder mehrere Gate-Elektroden, eine Spannungsteilungseinheit und eine Leistungsquelleneinheit. Die Katodenelektrode ist so konfiguriert, dass daran wenigstens ein Emitter gebildet ist. Die Gate-Elektroden sind zwischen einer Anodenelektrode und der Katodenelektrode angeordnet, wobei jede eine oder mehrere Öffnungen aufweist, durch die von dem Emitter emittierte Elektronen gehen können. Die Spannungsteilungseinheit weist einen oder mehrere Teilerwiderstände auf und teilt eine von der Leistungsquelleneinheit angelegte Spannung unter Verwendung der Teilerwiderstände und legt daraufhin Teilspannungen an die eine oder an die mehreren Gate-Elektroden an. Die Leistungsquelleneinheit enthält eine einzelne Leistungsquelle und legt die Spannung an die Spannungsteilungseinheit an.

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