公开(公告)号：CN101108720A

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：CN200710137047.2

申请日：2007-07-19

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山口真弓 ,  泉小波

IPC: B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  H01L27/12 ,  H01L21/84

CPC classification number: H01L29/84 ,  B81B2201/034 ,  B81C1/00246 ,  B81C2203/0742

Abstract: 本发明的目的在于：通过相同的工序，将微机电装置包括的微结构和电路制造在相同的绝缘表面上。本发明的微机电装置集成有在具有绝缘表面的衬底上包括晶体管的电路和微结构。微结构包括具有与晶体管的栅绝缘层以及在栅绝缘层上设计的半导体层的叠层体相同的叠层结构的结构层。就是说，结构层包括由与栅绝缘层相同的绝缘膜形成的层，并且还包括与晶体管的半导体层相同的半导体膜形成的层。进而，微结构通过将用于晶体管的栅电极、源电极、漏电极的导电层用作牺牲层来制造。

公开(公告)号：CN105103031A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480015234.1

申请日：2014-03-13

Applicant: 拉维夫·埃尔里奇 ,  尤瓦尔·格尔森

Inventor： 拉维夫·埃尔里奇 ,  尤瓦尔·格尔森

IPC: G02B26/08

CPC classification number: F16C11/12 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0163 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/00523 ,  B81C2201/013 ,  E05D1/02 ,  E05D7/00 ,  E05D11/0081 ,  F16F1/48 ,  F16F2224/025 ,  F16F2226/00 ,  F16F2226/042 ,  G01C19/02 ,  G01P15/09 ,  G01P15/093 ,  G01P15/125 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/105 ,  Y10T16/522 ,  Y10T16/525 ,  Y10T29/24 ,  Y10T29/25

Abstract: 本发明公开了一种机械设备(20、50、70、80、120)，其包括由刚性的弹性材料制成的窄长元件(26、54、66、90、122)。刚性框架(28、52、64、92)被配置为锚定所述元件的与框架附接的至少一个端部，并被配置为限定在梁和所述框架之间沿所述元件纵向延伸的间隙，使得所述元件在间隙内自由地移动。不同于刚性的弹性材料的固体填充材料(30、56、68、94、102、124)填充所述元件和所述框架之间的间隙的至少一部分，以允许元件在间隙内的第一运动模式，而抑制不同的第二运动模式。

公开(公告)号：CN101427336A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200780014646.3

申请日：2007-04-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 中塚宏 ,  山川岳彦 ,  大西庆治

IPC: H01H59/00 ,  B81B5/00 ,  H01H57/00

CPC classification number: B81B5/00 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/034 ,  H01H1/0036 ,  H01P1/127

Abstract: 本发明的微机械开关是一种响应来自外部的控制信号，切换信号电极间的电连接的微机械开关，其中，来自外部的控制信号包括实现信号应通过的信号电极之间的电连接的第1控制信号，以及切断该信号电极之间的电连接的第2控制信号，所述微机械开关具备：基板；设置于基板上，并能在基板上旋转的旋转体；设置于旋转体上的可动电极；第1信号电极，一端与可动电极的一端进行电连接，另一端设置于基板上；第2信号电极，设置于旋转体的周围，并位于因旋转体的旋转，能够与可动电极的另一端实现电连接的位置；及驱动部，响应第1控制信号，使旋转体旋转到使可动电极的另一端与第2信号电极实现电连接的位置，响应第2控制信号，使旋转体旋转到使可动电极的另一端与第2信号电极之间的电连接被切断的位置。

公开(公告)号：CN105103031B

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201480015234.1

申请日：2014-03-13

Applicant: 拉维夫·埃尔里奇 ,  尤瓦尔·格尔森

Inventor： 拉维夫·埃尔里奇 ,  尤瓦尔·格尔森

IPC: G02B26/08

CPC classification number: F16C11/12 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0163 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/00523 ,  B81C2201/013 ,  E05D1/02 ,  E05D7/00 ,  E05D11/0081 ,  F16F1/48 ,  F16F2224/025 ,  F16F2226/00 ,  F16F2226/042 ,  G01C19/02 ,  G01P15/09 ,  G01P15/093 ,  G01P15/125 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/105 ,  Y10T16/522 ,  Y10T16/525 ,  Y10T29/24 ,  Y10T29/25

Abstract: 本发明公开了一种机械设备(20、50、70、80、120)，其包括由刚性的弹性材料制成的窄长元件(26、54、66、90、122)。刚性框架(28、52、64、92)被配置为锚定所述元件的与框架附接的至少一个端部，并被配置为限定在梁和所述框架之间沿所述元件纵向延伸的间隙，使得所述元件在间隙内自由地移动。不同于刚性的弹性材料的固体填充材料(30、56、68、94、102、124)填充所述元件和所述框架之间的间隙的至少一部分，以允许元件在间隙内的第一运动模式，而抑制不同的第二运动模式。

公开(公告)号：CN107112126A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580068493.5

申请日：2015-12-11

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 托马斯·里塞奇 ,  汉斯-乔基姆·昆泽尔 ,  蒂姆·瑞默

IPC: H01F41/04 ,  H01F41/16 ,  H01F21/06 ,  B81C1/00 ,  H01F41/30

CPC classification number: H01F1/06 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00126 ,  B81C2201/0188 ,  G01R33/38 ,  G01R33/3802 ,  G02B26/085 ,  G02B26/101 ,  H01F10/08 ,  H01F21/06 ,  H01F41/046 ,  H01F41/16 ,  H01F41/301 ,  H01F41/32 ,  H01F2007/068 ,  H02K15/02 ,  H02K33/16 ,  B81C1/00134

Abstract: 本发明的实施例提供了一种用于制造具有三维磁结构的器件的方法。该方法包括第一步骤：将磁性粒子施加或引入到载体元件上或载体元件中，其中在所述磁性粒子之间形成多个至少部分互连的空腔，并且所述磁性粒子在接触点处彼此接触。该方法附加地包括第二步骤：通过对磁性粒子和载体元件的布置进行涂覆来连接接触点处的磁性粒子，其中空腔至少部分地被在涂覆时产生的层渗透，使得结果是三维磁结构。此外，方法包括第三步骤：在所述载体元件或附加载体元件上提供导体环路布置，使得：当电流流经导体环路布置时，(1)导体环路布置的电感被三维磁结构改变，或(2)力以由电流引起的磁场作用在三维磁结构或导体环路布置上，或(3)当三维磁结构的位置改变时，通过导体环路布置感生电流。

公开(公告)号：CN101108720B

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200710137047.2

申请日：2007-07-19

Applicant: 株式会社半导体能源研究所

Inventor： 山口真弓 ,  泉小波

IPC: H01L21/70 ,  H01L21/84 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01L29/84 ,  B81B2201/034 ,  B81C1/00246 ,  B81C2203/0742

Abstract: 本发明的目的在于：通过相同的工序，将微机电装置包括的微结构和电路制造在相同的绝缘表面上。本发明的微机电装置集成有在具有绝缘表面的衬底上包括晶体管的电路和微结构。微结构包括具有与晶体管的栅绝缘层以及在栅绝缘层上设计的半导体层的叠层体相同的叠层结构的结构层。就是说，结构层包括由与栅绝缘层相同的绝缘膜形成的层，并且还包括与晶体管的半导体层相同的半导体膜形成的层。进而，微结构通过将用于晶体管的栅电极、源电极、漏电极的导电层用作牺牲层来制造。

公开(公告)号：CN101392758A

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN200810144607.1

申请日：2008-06-20

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： W·杨

IPC: F04D19/04 ,  F04D29/38 ,  F04D29/52

CPC classification number: F04D17/168 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/056 ,  F04D17/127

Abstract: 本发明涉及径向分级微型涡轮分子泵。一种径向涡轮分子真空泵，包括转子和定子，该转子由具有整体制造的微型叶片的硅转子表面制成，该定子由具有相应的整体制造槽的硅定子表面制成。该微型叶片和槽以多重环布置，并且该转子和定子盘相邻布置，以产生交叉的定子和转子叶片环。该交叉的定子和转子叶片环形成在径向上的多级压缩。

公开(公告)号：EP2298693A1

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：EP10177290.3

申请日：2010-09-17

Applicant: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Inventor： Gabriel, Jean-Christophe ,  Andreucci, Philippe ,  Ernst, Thomas ,  Poiroux, Thierry

IPC: B81B5/00

CPC classification number: B81B5/00 ,  B81B2201/034 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  F04B19/006 ,  Y10T29/49105 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49155

Abstract: Procédé de réalisation d'un micro-système électromécanique doté d'au moins un organe fixe comprenant un barreau, et d'au moins un organe mobile en rotation autour d'au moins une portion dudit barreau, le procédé comprenant des étapes de:
a) formation à partir d'une couche d'au moins un matériau donné reposant sur un support, d'au moins un barreau,
b) formation autour du barreau d'au moins un premier feuillet de graphène, et d'au moins un deuxième feuillet de graphène, séparé du premier feuillet et mobile par rapport au premier feuillet.

Abstract translation: 该方法涉及从一个层，其中材料搁置在一个支撑体上形成条的材料。 彼此和移动相对于海誓山盟分开的两个石墨烯片是围绕条形成。 的材料是碳化硅，铜，镍，铱，铂，钌，钯或无定形碳。 杆，以便该材料的形成，以形成与支撑，其中，所述杆在属于所述层的锚定块的区域连接到的主平面中的非零的角度期间制造。 因此独立claimsoft被包括在电 - 机系统，包括一个移动单元。

公开(公告)号：WO2014141114A1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：PCT/IB2014/059710

申请日：2014-03-13

Applicant: EHRLICH, Raviv ,  GERSON, Yuval

Inventor： EHRLICH, Raviv ,  GERSON, Yuval

IPC: G02B26/08

CPC classification number: F16C11/12 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0163 ,  B81C1/0015 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/00523 ,  B81C2201/013 ,  E05D1/02 ,  E05D7/00 ,  E05D11/0081 ,  F16F1/48 ,  F16F2224/025 ,  F16F2226/00 ,  F16F2226/042 ,  G01C19/02 ,  G01P15/09 ,  G01P15/093 ,  G01P15/125 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/105 ,  Y10T16/522 ,  Y10T16/525 ,  Y10T29/24 ,  Y10T29/25

Abstract: A mechanical device (20, 50, 70, 80, 120) includes a long, narrow element (26, 54, 66, 90, 122) made of a rigid, elastic material. A rigid frame (28, 52, 64, 92) is configured to anchor at least one end of the element, which is attached to the frame, and to define a gap running longitudinally along the element between the beam and the frame, so that the element is free to move within the gap. A solid filler material (30, 56, 68, 94, 102, 124), different from the rigid, elastic material, fills at least a part of the gap between the element and the frame so as to permit a first mode of movement of the element within the gap while inhibiting a different, second mode of movement.

Abstract translation: 机械装置（20,50,70,80,120）包括由刚性弹性材料制成的长而窄的元件（26,54,66,90,122）。 刚性框架（28,52,64,92）构造成锚定附接到框架的元件的至少一个端部并且限定沿着梁和框架之间的元件纵向延伸的间隙，使得 该元素可以在间隙内自由移动。 与刚性弹性材料不同的固体填充材料（30,56,68,94,102,124）填充元件和框架之间的间隙的至少一部分，以便允许第一模式的运动 间隙内的元件，同时抑制不同的第二移动模式。

公开(公告)号：EP2039940A3

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：EP08158448.4

申请日：2008-06-18

Applicant: Honeywell International Inc.

Inventor： Yang, Wei

IPC: F04D17/12 ,  F04D17/16 ,  B81B5/00

CPC classification number: F04D17/168 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/034 ,  B81B2201/036 ,  B81B2203/056 ,  F04D17/127

Abstract: A radial turbomolecular vacuum pump that includes a rotor made from a silicon rotor surface comprising monolithically fabricated micro blades, and a stator made from a silicon stator surface comprising corresponding monolithically fabricated grooves. The micro blades and grooves are arranged in multiple rings, and the rotor and stator disks are placed in proximity, creating interdigitated stator and rotor blade rings. The interdigitated stator and rotor blade rings form a multi-stage compression in the radial direction.