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    同时相移的斐索干涉仪
    3.
    发明授权
    同时相移的斐索干涉仪 失效

    公开(公告)号：CN100552375C

    公开(公告)日：2009-10-21

    申请号：CN200580047333.9

    申请日：2005-01-27

    Applicant: 4D技术公司

    Inventor： 詹姆士·E·弥尔勒德 ,  詹姆士·C·怀恩特

    IPC: G01B9/02

    CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02065 ,  G01B9/0209 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0292

    Abstract: 利用斐索干涉仪的参考和测试镜(24，26)之间的倾斜关系以在空间上分离来自两个表面的反射(R，T)。分离的光束(R，T)通过为该光束提供不同的偏振状态的空间偏振元件(32)而得到过滤。该光束(R，T)随后被重新结合以形成大体共线的光束，该共线光束利用允许在单个视频帧中进行定量的相位测量的空间相位干涉仪(44)得到处理。可选地，具有正交偏振的两个光束(104，106)在不同的角度射入斐索腔(20)，使得它们在从参考和测试镜片(24，26)反射之后大体共线。不需要的反射通过使用圆孔(112)在焦平面上被阻断。短相干长度的光和延迟线(84)可以用于减轻散射、减少测量积分次数且进行暂时相位平均。

    干涉仪装置用光量比调节滤光片、干涉仪装置及光干涉测定方法
    4.
    发明授权
    干涉仪装置用光量比调节滤光片、干涉仪装置及光干涉测定方法 失效

    公开(公告)号：CN100447524C

    公开(公告)日：2008-12-31

    申请号：CN200510103631.7

    申请日：2005-09-06

    Applicant: 富士能株式会社

    Inventor： 植木伸明

    IPC: G01B9/02

    CPC classification number: G01B9/02058 ,  G01B9/02057 ,  G01J3/0213 ,  G01J2009/0292

    Abstract: 在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片(112)。该光量比调节滤光片(112)，是在由玻璃构成的透明基板的被测体(117)侧的面上，设置包括光反射吸收层(12a)和电介体防止反射层(12b)的光量比调节膜(12)，而在基准面(116a)侧的面上设置防止光反射层(13)，其作用是相对于从基准面对置面侧入射的入射光，反射其部分、吸收其部分之后将其余下部分向被测体(117)射出，另外，相对于从被测体(117)返回的返回光，吸收其部分、另方面抑制反射、将剩余作为被检测光向基准面(116a)方向射出。

    同时相移的斐索干涉仪
    5.
    发明公开
    同时相移的斐索干涉仪 失效

    公开(公告)号：CN101111739A

    公开(公告)日：2008-01-23

    申请号：CN200580047333.9

    申请日：2005-01-27

    Applicant: 4D技术公司

    Inventor： 詹姆士·E·弥尔勒德 ,  詹姆士·C·怀恩特

    IPC: G01B9/02

    CPC classification number: G01J9/02 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02065 ,  G01B9/0209 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0292

    Abstract: 利用斐索干涉仪的参考和测试镜(24，26)之间的倾斜关系以在空间上分离来自两个表面的反射(R，T)。分离的光束(R，T)通过为该光束提供不同的偏振状态的空间偏振元件(32)而得到过滤。该光束(R，T)随后被重新结合以形成大体共线的光束，该共线光束利用允许在单个视频帧中进行定量的相位测量的空间相位干涉仪(44)得到处理。可选地，具有正交偏振的两个光束(104，106)在不同的角度射入斐索腔(20)，使得它们在从参考和测试镜片(24，26)反射之后大体共线。不需要的反射通过使用圆孔(112)在焦平面上被阻断。短相干长度的光和延迟线(84)可以用于减轻散射、减少测量积分次数且进行暂时相位平均。

    干涉仪装置用光量比调节滤光片、干涉仪装置及光干涉测定方法
    7.
    发明公开
    干涉仪装置用光量比调节滤光片、干涉仪装置及光干涉测定方法 失效

    公开(公告)号：CN1752712A

    公开(公告)日：2006-03-29

    申请号：CN200510103631.7

    申请日：2005-09-06

    Applicant: 富士能株式会社

    Inventor： 植木伸明

    IPC: G01B9/02

    CPC classification number: G01B9/02058 ,  G01B9/02057 ,  G01J3/0213 ,  G01J2009/0292

    Abstract: 在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片(112)。该光量比调节滤光片(112)，是在由玻璃构成的透明基板的被测体(117)侧的面上，设置包括光反射吸收层(12a)和电介体防止反射层(12b)的光量比调节膜(12)，而在基准面(116a)侧的面上设置防止光反射层(13)，其作用是相对于从基准面对置面侧入射的入射光，反射其部分、吸收剩余部分之后将其余下部分向被测体(117)射出，另外，相对于从被测体(117)返回的返回光，吸收其部分、另方面抑制反射、将剩余作为被检测光向基准面(116a)方向射出。

    Light intensity ratio adjustment filter for an interferometer, interferometer, and light interference measurement method
    8.
    发明授权
    Light intensity ratio adjustment filter for an interferometer, interferometer, and light interference measurement method 有权
    用于干涉仪，干涉仪和光干涉测量方法的光强比调整滤波器

    公开(公告)号：US07375825B2

    公开(公告)日：2008-05-20

    申请号：US11204152

    申请日：2005-08-16

    Applicant: Nobuaki Ueki

    Inventor： Nobuaki Ueki

    IPC: G01B11/02

    CPC classification number: G01B9/02058 ,  G01B9/02057 ,  G01J3/0213 ,  G01J2009/0292

    Abstract: The light intensity ratio adjustment filter is placed between the reference surface and the sample surface of the interferometer. This light intensity ratio adjustment filter has a light intensity ratio adjustment film including an optical reflection-absorption layer and a dielectric anti-reflection layer on the surface of a transparent substrate made of glass on the sample side, and an optical anti-reflection film on the reference surface side, and acts so as to reflect part of the incident light from the surface opposite the reference surface, and after absorbing part of the remaining light, transmit the remainder towards the sample, and furthermore, absorb part of the light returned from the sample while controlling reflection, and transmit the remainder in the direction of the reference surface as the sample light.

    Abstract translation: 光强比调节滤光器被放置在干涉仪的参考表面和样品表面之间。 该光强度比调节滤光器具有在样品侧的由玻璃制成的透明基板的表面上具有光反射吸收层和介电抗反射层的光强度比调节膜，以及光学抗反射膜 参考表面侧，并且用于反射来自与参考表面相对的表面的入射光的一部分，并且在吸收剩余光的一部分之后，将剩余部分透射到样品，此外，吸收部分从基准表面返回的光 样本，同时控制反射，并将剩余部分沿参考表面的方向作为样本光传输。

    Restoration of Fizeau FTS spectral data using low and/or zero spatial resolution Michelson FTS data
    9.
    发明授权
    Restoration of Fizeau FTS spectral data using low and/or zero spatial resolution Michelson FTS data 失效
    使用低和/或零空间分辨率迈克尔逊FTS数据恢复Fizeau FTS光谱数据

    公开(公告)号：US07436518B1

    公开(公告)日：2008-10-14

    申请号：US11582439

    申请日：2006-10-18

    Applicant: Eric H. Smith ,  Richard L. Kendrick

    Inventor： Eric H. Smith ,  Richard L. Kendrick

    IPC: G01B9/02

    CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J2009/0284 ,  G01J2009/0292

    Abstract: A Fourier Transform Spectrometer (“FTS”) system includes a Fizeau FTS having a plurality of sub-collecting elements, adjacent ones of which are separated by a gap distance, and at least one of which has an adjustable optical path. The FTS system further includes a Michelson FTS having an adjustable optical path. The FTS system further includes one or more processors configured to select spectral data collected by the Fizeau FTS corresponding to spatial frequencies for which the Fizeau FTS has a modulation transfer function (“MTF”) value above a first threshold level, to select spectral data collected by the Michelson FTS corresponding to spatial frequencies for which the Michelson FTS has a MTF value above a second threshold level, and to combine the selected spectral data from the Fizeau FTS with the selected spectral data from the Michelson FTS.

    Abstract translation: 傅立叶变换光谱仪（“FTS”）系统包括具有多个副收集元件的Fizeau FTS，其中相邻的子集合元件被间隔开，并且其中至少一个具有可调光路。 FTS系统还包括具有可调光路的迈克尔逊FTS。 FTS系统还包括一个或多个处理器，其被配置为选择与由Fizeau FTS具有高于第一阈值水平的调制传递函数（“MTF”）值的空间频率相对应的Fizeau FTS收集的频谱数据，以选择收集的频谱数据 对应于迈克尔逊FTS具有高于第二阈值水平的MTF值的空间频率的迈克尔逊FTS，并将来自Fizeau FTS的所选频谱数据与来自迈克尔逊FTS的所选频谱数据组合。

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