具有边缘增强效应的栅极场发射阴极结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN101847557B

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201010200646.6

    申请日:2010-06-13

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明涉及一种具有边缘增强效应的栅极场发射显示器中的阴极结构,该阴极结构具有阴极基板,阴极单元包括电子发射阴极材料层、栅极层以及介电层。其中,电子发射阴极材料层与栅极层共面地设置在阴极玻璃基板上,而且相互对应并用介电层隔开。通过在结构边缘会增加电场强度的电学特性,将条状电极与介电层的宽度比进行控制,使得阴极板上条状电极边缘露出,而最靠近玻璃基板的条状通过刻蚀玻璃的方式而露出,实现发射极和栅极的任意选择及调控。这样在发射源处构成具有边缘结构,以提高位于发射源处的电场,增强栅极调控作用,降低场发射阴极开启电场,提高场发射显示器件的阴极场发射性能,简化工艺程序,降低制造成本。

    电子发射器件以及包含其的电子束器件和图像显示装置

    公开(公告)号:CN102044390A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN201010500105.5

    申请日:2010-10-09

    Inventor: 桥爪洋平

    Abstract: 本发明涉及一种电子发射器件以及包含其的电子束器件和图像显示装置。所述电子发射器件包含基板、设置在基板表面上的绝缘部件、栅极和阴极。绝缘部件具有与基板表面分开的上表面、以及在上表面和基板表面之间从基板表面升起的侧表面。栅极被设置在绝缘部件的上表面上。阴极被设置在绝缘部件的侧表面上并具有与栅极相对的部分。绝缘部件的上面设置阴极的侧表面具有突出部分,所述突出部分从连接与栅极相对的部分所处的位置和绝缘部件从基板表面升起的位置的假想线突出。

    用于密封地封闭基片中腔体的方法

    公开(公告)号:CN1072836C

    公开(公告)日:2001-10-10

    申请号:CN96194389.0

    申请日:1996-05-31

    CPC classification number: H01J9/025 H01J3/022 H01J2201/30423 H01J2209/385

    Abstract: 一种在平面基片中制备密封封闭腔体的方法,该腔体用于场发射单元或类似单元,允许以真空或低压惰性气体来运行该器件。该工艺包括覆盖一开口(160),包封该真空或气体的方法,及包括选择一定量的除气材料的方法。使用这种密封封闭腔体的器件实例是具有横向发射极(100)及一简化阳极结构(70)的横向发射极场发射器件(10),该发射极平行于基片(20)在一简单实施例中,控制电极(140)定位在发射极边(110)上面的一平面内并且与该边自动对准,该简化结构特别适合于场发射显示阵列,总的制备工艺应用步骤(S1-S18)以产生该器件和阵列,该制备方法的各种实施例允许使用导电的或者是绝缘的基片(20),允许器件的制备具有各种功能和复杂性,并且允许覆盖一沟槽开口(160),该开口通过该发射极和绝缘层腐蚀,因此即密封住该封闭腔体。

    用于密封地封闭基片中腔体的制备方法

    公开(公告)号:CN1186569A

    公开(公告)日:1998-07-01

    申请号:CN96194389.0

    申请日:1996-05-31

    CPC classification number: H01J9/025 H01J3/022 H01J2201/30423 H01J2209/385

    Abstract: 一种在平面基片中制备密封封闭腔体的方法,该腔体用于场发射单元或类似单元,允许以真空或低压惰性气体来运行该器件。该工艺包括覆盖一开口(160),包封该真空或气体的方法,及包括选择一定量的除气材料的方法。使用这种密封封闭腔体的器件实例是具有横向发射极(100)及一简化阳极结构(70)的横向发射极场发射器件(10),该发射极平行于基片(20)在一简单实施例中,控制电极(140)定位在发射极边(110)上面的一平面内并且与该边自动对准,该简化结构特别适合于场发射显示阵列,总的制备工艺应用步骤(S1-S18)以产生该器件和阵列,该制备方法的各种实施例允许使用导电的或者是绝缘的基片(20),允许器件的制备具有各种功能和复杂性,并且允许覆盖一沟槽开口(160),该开口通过该发射极和绝缘层腐蚀,因此即密封住该封闭腔体。

    电子发射器件、电子束装置和图像显示装置的制造方法

    公开(公告)号:CN102222591A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110090187.5

    申请日:2011-04-12

    Inventor: 广木珠代

    Abstract: 本发明涉及电子发射器件、电子束装置和图像显示装置的制造方法。提供一种电子发射器件的制造方法,其减少了施加有用于驱动电子源的电压的栅极和阴极之间漏电流的发生。该电子发射器件包括:绝缘部件,在其表面上具有凹部;栅极电极,在该绝缘部件上形成并与该凹部相对地放置;阴极,在该凹部的边缘上形成并具有向该栅极电极突出的突起。该制造方法包括形成该凹部的步骤以及在凹部边缘处形成向栅极电极突出的凸部之后形成阴极的步骤。依次执行这些步骤。

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