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公开(公告)号:CN104241075A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410222159.8
申请日:2014-05-23
Applicant: 安捷伦科技有限公司
CPC classification number: H01J49/08 , H01J49/0031 , H01J49/147
Abstract: 通过利用电子电离(EI)源进行质谱。EI源以包括低于和高于70eV的不同电子能量电离样品。EI源可用于软电离以及硬电离。可以选择电子能量的值,以便有利于分子离子或高分析值的其它离子的形成。离子源可以是轴向离子源。
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公开(公告)号:CN104377101A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201410396973.1
申请日:2014-08-13
Applicant: FEI公司
Inventor: P.J.L.巴伦兹 , M.P.W.范登布加德 , P.布伦达奇
CPC classification number: G01R1/06705 , H01J37/20 , H01J2237/2008 , H01J2237/206 , H01J2237/208 , H01J2237/24564 , H01J2237/24592 , H01J9/02 , H01J49/08
Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的电路探头。探头组件可以与其在真空室内的电气线束连接和断开以使得安装有工件的探头组件可以在没有来自电缆的干扰的情况下被旋转和倾斜并且然后可以在不打开真空室的情况下被重新连接。而且描述了一种当探头组件与其电气线束断开时使样本和探头接地的装置以及一种通过确保探头在操作期间不会向上突出太远来防止对探头机构和探头自身的损坏的装置。
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公开(公告)号:CN104241075B
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:CN201410222159.8
申请日:2014-05-23
Applicant: 安捷伦科技有限公司
CPC classification number: H01J49/08 , H01J49/0031 , H01J49/147
Abstract: 通过利用电子电离(EI)源进行质谱。EI源以包括低于和高于70eV的不同电子能量电离样品。EI源可用于软电离以及硬电离。可以选择电子能量的值,以便有利于分子离子或高分析值的其它离子的形成。离子源可以是轴向离子源。
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公开(公告)号:CN103262205A
公开(公告)日:2013-08-21
申请号:CN201180059886.1
申请日:2011-12-14
Applicant: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
Inventor: A·A·马卡罗夫
IPC: H01J49/42
CPC classification number: H01J49/282 , H01J49/027 , H01J49/08 , H01J49/38 , H01J49/4245
Abstract: 提供了质量分析器以及用于质量分析器的离子检测方法。静电场生成器提供使离子包沿一方向振荡的静电场。在显著短于离子振荡周期的一段持续时间上或者通过使用宽度显著小于离子谐波运动跨距的脉冲检测电极来检测脉冲瞬态信号。也检测谐波瞬态信号。随后基于脉冲瞬态信号和谐波瞬态信号来标识相对于质荷比的离子强度。
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公开(公告)号:CN108063083A
公开(公告)日:2018-05-22
申请号:CN201711097491.6
申请日:2017-11-09
Applicant: 布鲁克·道尔顿公司
Inventor: 梅尔文·安德鲁·帕克
CPC classification number: H01J49/08 , H01J43/246 , H01J49/025 , H01J49/027 , H01J49/40
Abstract: 提供了一种用于质谱仪的离子检测器系统以及飞行时间质谱仪。本发明涉及例如飞行时间质谱仪的质谱仪中的离子丰度测量装置的线性动态范围。本发明通过在二次电子倍增器中的放大中间级处产生第二离子测量信号(例如在呈V形布置的两个多通道板之间所产生的信号)来解决离子电流峰值饱和的问题。因为仅在放大后级观测到饱和效应,所以来自所述放大中间级的所述信号将甚至在较高离子强度下维持线性并且将维持外部饱和。就离散倍增检测器而言,可包含例如将检测栅格放置在放大链中间附近的两个倍增极之间。本发明使用对穿过的电子所产生的镜像电流的检测。
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公开(公告)号:CN103262205B
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201180059886.1
申请日:2011-12-14
Applicant: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
Inventor: A·A·马卡罗夫
IPC: H01J49/42
CPC classification number: H01J49/282 , H01J49/027 , H01J49/08 , H01J49/38 , H01J49/4245
Abstract: 提供了质量分析器以及用于质量分析器的离子检测方法。静电场生成器提供使离子包沿一方向振荡的静电场。在显著短于离子振荡周期的一段持续时间上或者通过使用宽度显著小于离子谐波运动跨距的脉冲检测电极来检测脉冲瞬态信号。也检测谐波瞬态信号。随后基于脉冲瞬态信号和谐波瞬态信号来标识相对于质荷比的离子强度。
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公开(公告)号:CN104752147A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201510136907.5
申请日:2015-03-26
Applicant: 华东理工大学
CPC classification number: H01J49/08 , B81C1/00222 , H01J49/26
Abstract: 本发明提供一种微波微等离子体电子源,所述微等离子体电子源为硅-玻璃双层结构,下层为硅基底,上层为玻璃;所述等离子体腔室、电子加速透镜、电子聚焦透镜、能量过滤器和检测器在硅基底上通过深硅刻蚀工艺形成,再与玻璃键合形成所述微等离子体电子源。所述微波微等离子体电子源,先用高压陶瓷装置给予氩气高电压激励,并采用三开路支节结构的微带谐振器将2.4~2.5GHz频率,1W的微波功率耦合给氩气,形成稳定等离子体,通过电子引出、加速、聚焦系统将电子引出并加速聚焦成目标电子能量;电子引出、加速、聚焦系统的所加持电压决定了通入离子源的电子束能量的大小进一步决定微型质谱仪可检测物质的范围。
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公开(公告)号:CN104658849A
公开(公告)日:2015-05-27
申请号:CN201310598046.3
申请日:2013-11-21
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
CPC classification number: H01J49/08 , H01J49/162 , H01J49/26
Abstract: 本发明涉及质谱分析仪器,具体的说是基于真空紫外光的纳米阵列修饰增强光电子发射的电离源,包括真空紫外光源和电离室腔体;在电离室内平行,间隔设置有若干传输电极和真空差分孔电极,其中孔电极表面沉积有纳米金阵列,金阵列的高度约为几十到数百纳米;沿电极的轴线方向都开有通孔,真空紫外光源发射的紫外光沿此轴线方向入射到孔电极上;传输电极和孔电极上分别施加有直流电压。本发明所涉及的电离源在利用纳米金阵列的表面等离子体共振效应,可提高真空紫外灯产生的光电子的效率,在不改变紫外灯光强的条件下增强灵敏度;另外,金表面本身的耐氧化能力可以减弱氧化性气体对金属电极表面的污染,提高电离源稳定性。
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公开(公告)号:CN101405600B
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN200780009537.2
申请日:2007-03-16
CPC classification number: G01N27/64 , H01J49/08 , H01J49/147 , H01J49/162
Abstract: 使气体中包含的多个分子成分彼此同时地成为PI法电离的对象。例如,基于PI法实时地对某一瞬间发生的气体中包含的多个分子成分准确地进行分析。这种气体分析装置具备:用于将试料室RO内的试料S所发生的气体输送到分析室R1的气体输送装置(4)、使气体电离的电离装置(19)、将离子按照不同质量电荷比分离的四极滤质器(21)、检测分离出来的离子的离子检测装置(22)。电离装置(19)具备:设置在气体输送装置(4)的气体排放口附近的电离区域、发光照射该电离区域的灯(33A)。灯(33A)发出与激光相比指向性低、扩散着行进的光,因此,进入电离装置(19)内的电离区域的气体在大范围内受到光线照射,其内部的多个气化成分被同时电离。
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公开(公告)号:CN101405600A
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN200780009537.2
申请日:2007-03-16
CPC classification number: G01N27/64 , H01J49/08 , H01J49/147 , H01J49/162
Abstract: 使气体中包含的多个分子成分彼此同时地成为PI法电离的对象。例如,基于PI法实时地对某一瞬间发生的气体中包含的多个分子成分准确地进行分析。这种气体分析装置具备:用于将试料室R0内的试料S所发生的气体输送到分析室R1的气体输送装置(4)、使气体电离的电离装置(19)、将离子按照不同质量电荷比分离的四极滤质器(21)、检测分离出来的离子的离子检测装置(22)。电离装置(19)具备:设置在气体输送装置(4)的气体排放口附近的电离区域、发光照射该电离区域的灯(33A)。灯(33A)发出与激光相比指向性低、扩散着行进的光,因此,进入电离装置(19)内的电离区域的气体在大范围内受到光线照射,其内部的多个气化成分被同时电离。
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