公开(公告)号：CN104377101B

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201410396973.1

申请日：2014-08-13

Applicant: FEI 公司

Inventor： P.J.L.巴伦兹 ,  M.P.W.范登布加德 ,  P.布伦达奇

IPC: H01J9/02 ,  H01J49/08

CPC classification number: G01R1/06705 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24592

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的电路探头。探头组件可以与其在真空室内的电气线束连接和断开以使得安装有工件的探头组件可以在没有来自电缆的干扰的情况下被旋转和倾斜并且然后可以在不打开真空室的情况下被重新连接。而且描述了一种当探头组件与其电气线束断开时使样本和探头接地的装置以及一种通过确保探头在操作期间不会向上突出太远来防止对探头机构和探头自身的损坏的装置。

公开(公告)号：CN104377101A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201410396973.1

申请日：2014-08-13

Applicant: FEI公司

Inventor： P.J.L.巴伦兹 ,  M.P.W.范登布加德 ,  P.布伦达奇

IPC: H01J9/02 ,  H01J49/08

CPC classification number: G01R1/06705 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24592 ,  H01J9/02 ,  H01J49/08

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的电路探头。探头组件可以与其在真空室内的电气线束连接和断开以使得安装有工件的探头组件可以在没有来自电缆的干扰的情况下被旋转和倾斜并且然后可以在不打开真空室的情况下被重新连接。而且描述了一种当探头组件与其电气线束断开时使样本和探头接地的装置以及一种通过确保探头在操作期间不会向上突出太远来防止对探头机构和探头自身的损坏的装置。

公开(公告)号：CN103325650A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310087623.2

申请日：2013-03-19

Applicant: FEI公司

Inventor： M.W.乌特劳特 ,  S.克罗格 ,  N.W.帕克 ,  A.格劳佩拉 ,  S.张 ,  P.布伦达奇 ,  D.基尼安

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/0225 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于主动地监测电感耦合等离子体离子源的方法和设备。一种用于主动地监测等离子体源的状况以实现源的调整和控制以及检测等离子体反应室中的不需要的污染物种类的存在的方法和设备。优选实施例包括用于量化等离子体的成分的光谱仪。提供系统控制器，系统控制器基于等离子体的光谱分析来使用反馈控制回路以调节等离子体源的离子组成。该系统还提供基于光谱分析的用于确定等离子体源的清洁何时完成的终点装置。