-
公开(公告)号：CN119901773A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202411445074.6
申请日：2024-10-16
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC: G01N23/2251 , H01J37/28 , G01N23/20008
Abstract: 一种表征具有初级带电粒子束的带电粒子束系统中的检测路径的方法，包括：将具有弯曲等势面的带电粒子镜定位在带电粒子束系统的样品台上；通过使带电粒子镜的相对镜位置变化来使初级带电粒子束在弯曲等势面处的反射角变化，弯曲等势面与带电粒子镜的表面相距一定距离；针对多个相对镜位置记录带电粒子束系统的至少一个检测器的多个检测器信号；其中使带电粒子镜的相对镜位置变化包括使带电粒子镜的镜位置和初级带电粒子束位置中的至少一者在至少一个维度上相对于彼此变化。
-
公开(公告)号：CN119890017A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510063699.4
申请日：2025-01-15
Applicant: 上海科技大学
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , G01Q30/02
Abstract: 本发明涉及电子显微镜技术领域，具体涉及一种电子显微镜探测器及扫描式电子显微镜；所述电子显微镜探测器包括一端用于与显微镜腔体连接的纳米移动调节臂，所述纳米移动调节臂的另一端连接有用于接收信号电子的探测器本体，所述纳米移动调节臂被配置为，能够驱动所述探测器本体移动至所述显微镜腔体内的任一位置和/或角度，本发明提供的电子显微镜探测器能够探测到原子台阶，从而能够更准确全面的对样品进行分析。
-
公开(公告)号：CN119890015A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411905094.7
申请日：2024-12-23
Applicant: 中国科学院武汉病毒研究所
IPC: H01J37/20 , H01J37/28 , G01N23/2204 , G01N23/2251
Abstract: 本发明提供一种扫描电镜旋转样品台，涉及显微成像设备领域，包括设置在伺服底座上的样品台，在样品台上表面设有至少1条样品槽，样品槽用于承载多个样品；在样品台的一侧还设有辅助推样机构，在辅助推样机构设有和样品槽平齐的辅助推杆，辅助推杆可沿样品槽滑动；在辅助推样机构设有驱动辅助推杆沿样品槽滑动的驱动机构；以使辅助推杆推动多个样品依次经过样品台的中心位置进行扫描。从而能够一次抽真空之后，依次对多个样品进行扫描和图像采集，大幅提高扫描电镜的工作效率。本发明采用的辅助推样机构，结构非常简单，占用空间小，驱动机构的结构也非常简单，满足对现有的扫描电镜的狭小空间的使用要求。
-
公开(公告)号：CN119890014A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411783015.X
申请日：2024-12-05
Applicant: 宁波伯锐锶电子束科技有限公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本公开涉及电子显微镜技术领域，尤其涉及一种用于电子显微镜系统的取送样机构及电子显微镜。本公开提供的用于电子显微镜系统的取送样机构，包括：预抽真空腔室、检测腔室、第一输送机构、第二输送机构、第三输送机构和样品信息采集机构。预抽真空腔室设有第一阀门；检测腔室设有第二阀门和检测台；第一输送机构与所述第一阀门相对应设置；第二输送机构设置于所述预抽真空腔室；第三输送机构设置于所述预抽真空腔室；样品信息采集机构用于采集待测样品的样品信息，以及实时监测送样状态。
-
公开(公告)号：CN119864267A
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202411437573.0
申请日：2024-10-15
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 描述了一种操作带电粒子束装置的方法。所述方法包括：引导初级带电粒子束通过轴上检测器的开口、通过中间透镜、通过物镜并到达样本上，其中中间透镜设置在轴上检测器与物镜之间；用物镜将初级带电粒子束聚焦到样本上；在第一操作模式中，提供对中间透镜的激发来将包括背散射电子的高能量信号电子准直到轴上检测器的开口；在第一操作模式中，用轴上检测器检测包括次级电子的低能量信号电子；以及在第一操作模式中，用在轴上检测器上游的第二电子检测器检测背散射电子。还描述了一种对应带电粒子束装置。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119852153A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202411949671.2
申请日：2019-09-13
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/28 , G01N23/2251 , H01J37/26 , H01L21/66
Abstract: 公开了一种改进的带电粒子束检查装置，更具体地公开了一种用于检查晶片的粒子束装置，包括用于检测快充电缺陷的改进的扫描机构。一种改进的带电粒子束检查装置可以包括带电粒子束源，该带电粒子束源向晶片的区域传送带电粒子并且扫描该区域。改进的带电粒子束装置还可以包括控制器，该控制器包括电路以在时间序列内产生该区域的多个图像，对这些图像被比较以检测快充电缺陷。
-
公开(公告)号：CN119833375A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411416217.0
申请日：2024-10-11
Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 描述了一种用于检测电子束装置(100)中的信号电子的检测器设备(10)。所述检测器设备(10)包括电子检测器(120)，所述电子检测器具有用于初级电子束(105)通过的中心开口(23)并具有至少部分地包围所述中心开口的一个或多个径向内部检测器区段(21)和一个或多个径向外部检测器区段(22)。所述检测器设备被配置为以第一放大强度放大由入射在所述一个或多个径向内部检测器区段(21)上的第一组信号电子引起的一个或多个第一检测器信号，与此同时以高于第一放大强度的第二放大强度放大由入射在所述一个或多个径向外部检测器区段(22)上的第二组信号电子引起的一个或多个第二检测器信号。进一步描述了一种具有本文所述的检测器设备的电子束装置，以及一种用如本文所述的电子束装置来对样品进行成像和/或检查的方法。
-
公开(公告)号：CN119811969A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411914598.5
申请日：2024-12-24
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及高时空分辨曲面阴极长狭缝条纹变像管，主要用于解决现有阴极探测面积较大条纹管，无法同时满足高时间分辨率、高光谱分辨及连续二维成像等需求的技术问题。本发明高时空分辨曲面阴极长狭缝条纹变像管，包括绝缘外壳、设置在绝缘外壳两侧的信号输入窗和图像输出窗，以及沿光轴依次设置在绝缘外壳内的球形光电阴极、球形栅极、聚焦电极、阳极、偏转板、导电圆筒和荧光屏。本发明光电阴极和栅极均为球面薄片，即采用曲面光电阴极结构以及曲面栅极，解决了长狭缝条纹管空间分辨率低的问题，同时具有高亮度增益及大动态范围，可适用于多个研究领域。
-
公开(公告)号：CN119764148A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411943595.4
申请日：2024-12-26
Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
IPC: H01J37/153 , G01N23/2251 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及半导体制造与检测领域，特别是涉及一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备。该消像散方法包括：搜索电子束成像设备中消像散器的目标像散参数；按照设定步长对预调物镜电流进行逐步调节，并采集不同物镜电流对应的多张细聚焦图像；计算多张细聚焦图像在不同坐标轴方向上的梯度；根据梯度的一致性判断目标像散参数是否符合消像散要求；若是，根据梯度确定电子束成像设备的目标物镜电流。本发明的消像散方法在确定消像散器的目标像散参数之后执行对目标像散参数的评判操作，提高了消像散的准确性，避免了由于应用错误的消像散结果导致的量测准确性较低的问题，从而提高了电子束成像设备的量测准确性。
-
公开(公告)号：CN119170470B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411571826.3
申请日：2024-11-06
Applicant: 芯年科技(苏州)有限公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/28 , G01N23/2204 , G01N23/2251
Abstract: 本发明公开了一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台，包括工作台，所述工作台的上端放置有壳体，所述壳体的下部一侧滑动连接有抽拉盒，所述抽拉盒的内腔底部固定连接有底板，所述底板的上端中部设置有用于放置芯片样品的安置平台，所述底板的上端对称设置有用于调节芯片样品位置的定位机构，所述底板的上端中部设置有驱动定位机构移动的驱动机构，当驱动机构的上端转动时，带动定位机构靠近安置平台的一端相对安置平台移动。本发明通过转动板带动对称的驱动杆同步靠近安置平台，通过驱动杆带动硅胶板移动杆同步靠近安置平台，从而使硅胶板对芯片样品进行居中定位，通过从动杆、移动板和驱动槽的配合，从而得到立体的芯片样品影像。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
22185
records
(took 0.098 seconds)
