公开(公告)号：CN115516597A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180032855.0

申请日：2021-03-09

Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司

Inventor： D·温克勒 ,  B·沃勒特 ,  B·夏宾格

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244

Abstract: 描述成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：发射一次带电粒子束105的束发射器150，带电粒子束装置适于沿光轴101将一次带电粒子束引导至样品以释放信号粒子；在撞击样品前阻滞一次带电粒子束的阻滞场装置100，阻滞场装置包括物镜110和代理电极130，其中代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的开口131；代理电极与物镜间的离轴背散射粒子的第一检测器120；以及放大第一检测器信号的前置放大器121，其中前置放大器为下列至少一者：(i)与第一检测器整合，(ii)在带电粒子束装置真空外壳102内侧邻近第一检测器布置，及(iii)固定安装在带电粒子束装置真空腔室中。也描述利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。

公开(公告)号：CN115398590B

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202180025073.4

申请日：2021-03-09

Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司

Inventor： D·温克勒 ,  B·沃勒特 ,  B·夏宾格

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244

Abstract: 描述了用于成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：束发射器150，用于发射一次带电粒子束105；阻滞场装置100，用于在撞击样品之前阻滞一次束，阻滞场装置100包括物镜110和代理电极130；以及第一检测器120，用于代理电极与物镜之间的离轴背散射粒子。带电粒子束装置适于沿着光轴101将一次束引导至样品以用于释放信号粒子。代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的一个开口131，其中一个开口经设置大小以允许从样品背散射的带电粒子相对于光轴以0°至20°或更高的角度通过。此外描述了用于利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。

公开(公告)号：CN119833375A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202411416217.0

申请日：2024-10-11

Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司

Inventor： B·夏宾格 ,  D·温克勒 ,  E·内厄姆

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 描述了一种用于检测电子束装置(100)中的信号电子的检测器设备(10)。所述检测器设备(10)包括电子检测器(120)，所述电子检测器具有用于初级电子束(105)通过的中心开口(23)并具有至少部分地包围所述中心开口的一个或多个径向内部检测器区段(21)和一个或多个径向外部检测器区段(22)。所述检测器设备被配置为以第一放大强度放大由入射在所述一个或多个径向内部检测器区段(21)上的第一组信号电子引起的一个或多个第一检测器信号，与此同时以高于第一放大强度的第二放大强度放大由入射在所述一个或多个径向外部检测器区段(22)上的第二组信号电子引起的一个或多个第二检测器信号。进一步描述了一种具有本文所述的检测器设备的电子束装置，以及一种用如本文所述的电子束装置来对样品进行成像和/或检查的方法。

公开(公告)号：CN115398590A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202180025073.4

申请日：2021-03-09

Applicant: ICT半导体集成电路测试有限公司

Inventor： D·温克勒 ,  B·沃勒特 ,  B·夏宾格

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244

Abstract: 描述了用于成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：束发射器150，用于发射一次带电粒子束105；阻滞场装置100，用于在撞击样品之前阻滞一次束，阻滞场装置100包括物镜110和代理电极130；以及第一检测器120，用于代理电极与物镜之间的离轴背散射粒子。带电粒子束装置适于沿着光轴101将一次束引导至样品以用于释放信号粒子。代理电极包括允许一次带电粒子束和信号粒子通过的一个开口131，其中一个开口经设置大小以允许从样品背散射的带电粒子相对于光轴以0°至20°或更高的角度通过。此外描述了用于利用带电粒子束装置成像和/或检查样品的方法。