Abstract:
본 발명은, 중간격벽에 의해 냉장실과 냉동실로 구획된 본체와, 상기 냉동실 후방에 마련되어 냉기를 생성하는 증발기와, 상기 증발기에서 생성된 냉기를 상기 냉장실로 안내하는 냉장실 냉기송출덕트와, 상기 냉장실을 순환한 냉기를 상기 증발기로 안내하는 냉장실 냉기귀환덕트를 갖는 냉장고에 있어서, 상기 증발기에 인접한 상기 냉장실 냉기송출덕트와 상기 냉장실 냉기귀환덕트 중 적어도 어느 하나에 마련되어 성에를 제거하는 제상부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 냉장실 냉기송출덕트 및 냉장실 냉기귀환덕트에 발생하는 성에를 효과적으로 제거할 수 있다.
Abstract:
본 발명의 불순물이 도우핑된 칼코겐화합물 스퍼터링 방법은 칼코겐화합물 타겟 및 기판에 음의 값과 양의 값 사이를 스윙하는 펄스화된 직류 바이어스를 제공하는 것을 포함한다. 타겟을 스퍼터링 하기 위한 불활성 가스와 칼코겐화합물을 도우핑하기 위한 반응 가스가 반응 챔버 내부로 공급된다. 음의 직류 바이어스가 제공될 때에 불활성 가스 플라즈마에 의해 칼코겐화합물 타겟으로부터 칼코겐화합물을 구성하는 원소들이 스퍼터되어 반응 가스와 결합을 하여 기판 상에 칼코겐화합물 박막이 형성된다. 양의 직류 바이어스가 제공될 때에 칼코겐화합물 타겟 표면에 국소적으로 축적된 불활성 가스 플라즈마를 구성하는 이온이 칼코겐화합물 타겟으로부터 이탈된다. 또한 양의 직류 바이어스가 제공되는 기간은 칼코겐화합물 타겟 구성 원소들과 반응 가스 사이의 반응이 충분히 일어날 수 있도록 한다. 따라서 불활성 가스 축적에 의한 방전 없이, 불순물 도우핑 농도가 증가된 칼코겐화합물 박막을 형성할 수 있고 칼코겐화합물 박막의 비저항을 증가시킬 수 있다. 이 같은 본 발명의 칼코겐화합물 증착 방법은 특히 상변화 기억소자 형성 방법에 아주 유용하게 적용될 수 있다. 칼코겐화합물, 스퍼터링 증착, 상변화 기억 소자
Abstract:
반도체 소자의 작은 비아 구조체 형성방법 및 이를 사용한 상변화 기억 소자의 제조방법이 제공된다. 상기 작은 비아 구조체 형성방법은 반도체 기판 상에 도전층을 형성하는 것을 구비한다. 상기 도전층을 덮는 몰딩 절연막을 형성한다. 상기 몰딩 절연막 내에 상기 도전층의 소정영역을 노출시키는 비아홀을 형성한다. 상기 몰딩 절연막 상에 그리고 상기 비아홀의 내측벽 및 기저면 상에 비아 충진막을 형성한다. 상기 비아홀의 상부 모서리 부분(top coner portion)에 형성된 상기 비아 충진막을 제거하여 적어도 상기 비아홀의 기저면 상에 잔존하는 비아 충진막 패턴을 형성한다. 상기 비아 충진막을 형성하는 공정 및 상기 비아 충진막 패턴을 형성하는 공정들을 적어도 1회 순차적으로 반복 수행하여 상기 비아홀 내에 비아 플러그를 형성한다. 상변화 기억 소자, 스퍼터링, 이온빔 식각
Abstract:
본 발명의 불순물이 도우핑된 칼코겐화합물 스퍼터링 방법은 칼코겐화합물 타겟 및 기판에 음의 값과 양의 값 사이를 스윙하는 펄스화된 직류 바이어스를 제공하는 것을 포함한다. 타겟을 스퍼터링 하기 위한 불활성 가스와 칼코겐화합물을 도우핑하기 위한 반응 가스가 반응 챔버 내부로 공급된다. 음의 직류 바이어스가 제공될 때에 불활성 가스 플라즈마에 의해 칼코겐화합물 타겟으로부터 칼코겐화합물을 구성하는 원소들이 스퍼터되어 반응 가스와 결합을 하여 기판 상에 칼코겐화합물 박막이 형성된다. 양의 직류 바이어스가 제공될 때에 칼코겐화합물 타겟 표면에 국소적으로 축적된 불활성 가스 플라즈마를 구성하는 이온이 칼코겐화합물 타겟으로부터 이탈된다. 또한 양의 직류 바이어스가 제공되는 기간은 칼코겐화합물 타겟 구성 원소들과 반응 가스 사이의 반응이 충분히 일어날 수 있도록 한다. 따라서 불활성 가스 축적에 의한 방전 없이, 불순물 도우핑 농도가 증가된 칼코겐화합물 박막을 형성할 수 있고 칼코겐화합물 박막의 비저항을 증가시킬 수 있다. 이 같은 본 발명의 칼코겐화합물 증착 방법은 특히 상변화 기억소자 형성 방법에 아주 유용하게 적용될 수 있다. 칼코겐화합물, 스퍼터링 증착, 상변화 기억 소자
Abstract:
PURPOSE: A magnetic tunnel junction device and a method for manufacturing the same are provided to remove the requirement for the seed layer formed between the lower electrode and the pinning layer. CONSTITUTION: A magnetic tunnel junction device includes a bottom electrode(69), a pinning layer pattern(71), a pinned layer pattern(73), a tunneling layer pattern(75), a free layer pattern(77), a capping layer pattern(79) and a top electrode(81). The magnetic tunnel junction device is characterized in that the bottom electrode(69) has a root mean square(RMS) surface roughness is less than 5Å.
Abstract:
본 고안은 냉장고의 냉기 토출 장치에 관한 것으로, 중간격의 내부에는 냉기실이 형성되며, 냉기실의 중앙에는 증발기가 설치되고, 증발기를 사이에 두고 전후 대칭으로 에어커튼용 크로스 플로우팬과 냉기순환용팬이 각각 배치되며, 고내 안쪽벽면에는 냉기의 순환을 안내하는 덕트가 설치된다. 이와 같이 구성된 본 고안에 의하면, 도어의 오픈시 크로스 플로우팬이 작동되어 증발기를 통해 냉각된 냉기가 고내의 앞쪽에서 직하방으로 토출되도록 하며, 반대로, 도어가 닫히면 냉기순환용팬이 구동되어 냉기를 고내 안쪽의 덕트로부터 토출되도록 한다. 이에 의하여, 도어의 오픈시 에어커튼이 형성됨은 물론, 냉기의 순환이 효율적을 이루어져 고내를 적정 수준으로 유지할 수 있으며, 아울러, 덕트의 구조가 단순해진다.
Abstract:
냉장고의 도어를 열었을 때 고내와 외부의 차단 효과를 향상시키기 위하여 토출유량을 충분히 발생시킬 수 있는 에어커튼장치를 제공하기 위한 것으로서, 냉장고에 장착되어 공기를 압축시키고 저장하는 에어펌프와; 일단은 상기 에어펌프에 연결되고, 타단은 고실의 도어측 상부에 위치하며, 상기 에어펌프에서 압축된 고압의 공기를 고실의 하방으로 토출시키는 토출구를 구비한 토출덕트를 포함함을 특징으로 하는 냉장고용 에어커튼장치를 제공한다.
Abstract:
본 발명은 냉장고의 냉기 토출 장치에 관한 것으로, 도어의 오픈시 고내를 차단하기 위한 소위 에어커튼 효과가 보다 확실하고 효과적으로 이루어질 수 있도록 한 냉장고의 냉기 토출 장치에 관한 것이다. 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은 에어커튼용 덕트를 중간격의 내부에 형성하며, 증발기를 통해 냉각된 냉기를 상기 에어커튼용 덕트의 내부로 흡입하는 크로스 플로우팬을 상기 에어커튼용 덕트 내부의 중앙에 설치한 것을 특징으로 한다. 이와같이 구성된 본 발명에 있어서, 도어의 오픈시 고내를 차단하기 위해 제공되는 에어커튼용 덕트가 기존의 중간격의 내부에 위치되어 고내의 용적이 극대화되며, 또한, 에어커튼의 실현을 위해 냉기를 강제로 순환시키는 크로스 플로우팬이 에어커튼용 덕트의 중앙부에 설치되어 유로저항으로 인한 유량손실이 감소됨과 동시에 구동모터에 의한 소음 전달이 감소된다.
Abstract:
본 고안은 냉장고의 냉기 토출 장치에 관한 것으로, 냉기를 고내에 고르게 분배함과 동시에 도어의 개방시 고내의 냉기가 고외로 누출되는 것을 차단하여 고내의 냉각 작용이 원활하게 이루어질 수 있도록 하는데 있다. 상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안은 중간격의 내부에 형성되며 선단부에 토출구가 구비된 냉기실과, 상기 냉기실에 수평으로 장착되는 증발기와, 고내의 안쪽에 설치되며 상부는 상기 냉기실과 연통되고 전면으로는 다수개의 토출구가 구비된 덕트와, 상기 덕트의 상부에 설치되며 도어스위치의 작동에 따라 온,오프되는 냉기순환용팬으로 구성된 냉기 토출 장치에 있어서, 상기 냉기실에 설치되며 상기 도어스위치의 작동에 따라 작동하되, 상기 냉기순환용팬과 반대로 도어의 오픈시 온 작동되는 크로스 플로우팬을 구비한 것을 특징으로 한다. 이와같이 구성된 본 고안에 있어서, 도어를 오픈하면 크로스 플로우팬이 온 작동되어 증발기를 통해 냉각된 냉기는 냉기실의 흡입구를 통해 직하방으로 낙하하면서 고내를 차단하는 공기층 즉, 에어커튼이 형성된다.