公开(公告)号：KR1020040013969A

公开(公告)日：2004-02-14

申请号：KR1020020047121

申请日：2002-08-09

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이찬재 ,  문대규 ,  한정인 ,  홍성제 ,  김원근

IPC: H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5206 ,  H01L51/0002 ,  H01L51/0021 ,  H01L2251/5315

Abstract: PURPOSE: A method is provided to reduce costs and allow for ease of dry or wet etching, while achieving improved characteristics of hole injection. CONSTITUTION: A method comprises a step of forming an anode electrode pattern(20) through a photo lithography process by depositing a nickel on a glass substrate(10); a step of depositing a material to be used as a hole injection layer on the anode electrode pattern, wherein the material includes a poly(3,4-ethylenedioxythiophene) doped with polystyrene sulfonated acid(30); a step of depositing a high/low molecular organic light emitting layer(40) on the hole injection layer; and a step of forming a cathode electrode pattern on the high/low molecular organic light emitting layer, wherein the cathode electrode pattern includes an electron injection thin film(50-1) and a transparent conductive layer(50-2).

Abstract translation: 目的：提供一种降低成本并允许干蚀刻或湿蚀刻的方法，同时实现改进的空穴注入特性。 构成：一种方法包括通过在玻璃基板（10）上沉积镍而通过光刻工艺形成阳极电极图案（20）的步骤; 在阳极电极图案上沉积要用作空穴注入层的材料的步骤，其中所述材料包括掺杂有聚苯乙烯磺酸的聚（3,4-亚乙基二氧噻吩）（30）; 将高/低分子有机发光层（40）沉积在空穴注入层上的步骤; 以及在高/低分子有机发光层上形成阴极电极图案的步骤，其中阴极电极图案包括电子注入薄膜（50-1）和透明导电层（50-2）。

公开(公告)号：KR100338365B1

公开(公告)日：2002-05-30

申请号：KR1019990043075

申请日：1999-10-06

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 조진우 ,  홍성제 ,  박준식 ,  박순섭 ,  신상모

IPC: H01L41/22

Abstract: 본발명의초음파트랜스듀서어레이형상구조물제작방법은초음파트랜스듀서어레이패턴이현상된 PMMA판을이용하여금속금형을만든다. 그런후에, 사출방식을이용하여플라스틱금형을대량으로제조하여초음파트랜스듀서어레이형상구조물을만들거나이 금속금형을 PZT 판에그대로찍어이 PZT 판을소결함으로써초음파트랜스듀서어레이형상구조물을만든다. 이렇게하여플라스틱금형을대량으로제조할수 있을뿐만아니라금속금형을그대로 PZT 판에압착시킴으로써제작공정을줄일수 있다.

公开(公告)号：KR1020010005192A

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019990025994

申请日：1999-06-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 홍성제 ,  조진우 ,  김병수 ,  박순섭 ,  신상모

IPC: H01J9/24 ,  H01J11/36

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a diaphram of a plasma display panel is provided to fabricate precisely the diaphram of the plasma display panel on lower expenses. CONSTITUTION: A method for fabricating a diaphram of a plasma display panel applies X-rays to a sensitive film(20) through a mask to expose to the light, develops the sensitive film to form the sensitive film structure, forms a metal structure on top of the first substrate(10) which the sensitive film structure is formed by the electron plating, and forms the diaphram structure on the second substrate by pressing on top of the second substrate with the metal substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种制造等离子体显示面板的方法，以更低的成本准确地制造等离子体显示面板的膜。 构成：用于制造等离子体显示面板的方法通过掩模将X射线施加到敏感膜（20）以暴露于光，形成敏感膜以形成敏感膜结构，在顶部形成金属结构 通过电子电镀形成敏感膜结构的第一基板（10），并且通过用金属基板压在第二基板上而在第二基板上形成双层结构。

公开(公告)号：KR1019990049177A

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR1019970068059

申请日：1997-12-12

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 신상모 ,  박순섭 ,  홍성제 ,  황학인 ,  최성호 ,  정석원

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 리가(LIGA) 공정에 관한 것으로서, 우선, 패턴이 형성되어 있는 박막으로 이루어진 X-선용 마스크를 기판에 부착되어 있지 않고 양면이 노출되어 있는 감광막에 정렬시킨 다음, X-선을 조사하고 현상하여 감광막 패턴을 형성한다. 이때, 현상액에 의한 식각은 감광막의 윗면과 아래면을 통하여 이루어지므로 경사 식각이 가지는 폭이 줄어들어 기판에 부착되어 있는 채로 노광할 때보다 오차가 줄어든다. 또한, 감광막이 기판에 부착되어 있지 않으므로 X-ray의 광자에 의한 산란 또는 2차 전자 효과는 발생하지 않으므로, 현상 후에 감광막 패턴의 오차가 줄어든다.

公开(公告)号：KR1019970073258A

公开(公告)日：1997-11-07

申请号：KR1019960013908

申请日：1996-04-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 한정인 ,  홍성제

IPC: H05K3/30

Abstract: 활성층 및 층간물질층이 형성된 유리 패널의 패드 패턴 상에 칩형 소자의 솔더범프를 실장하는 칩형 소자의 실장구조에 관하여 개시한다. 본 발명을 패드 패턴이 형성된 유리 패널이 솔더 범프를 갖는 칩형 소자를 실장하는 칩형소자의 실장구조에 있어서, 상기 패드 패턴 상에 순차적으로 활성층 및 층간물질층이 순차적으로 형성되어 있어, 상기 패드 패턴 상의 층간물질층과 상기 솔더 범프가 접속되는 것을 특징으로 하는 칩형 소자의 실장 구조를 제공한다. 상기 활성층 및 층간물질층은 각각 아연층 및 니켈층이며, 상기 패드 패턴은 알루미늄 또는 ITO(Indium Tin Oxide)로 이루어진다. 본 발명에 의하면, 칩형 소자의 솔더 범프가 층간절연막 상에 습윤성 있게 형성됨으로써 칩형 소자의 실장구조의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.