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公开(公告)号：KR100297354B1
公开(公告)日：2001-09-22
申请号：KR1019990000413
申请日：1999-01-11
Applicant: 한국전기연구원
IPC: C23C14/00
Abstract: 본발명은스퍼터링법에의한다층구리막제조방법에관한것으로서, 접착력을우수하게하는증착조건인 200 W, 20 mtorr의조건하에서구리막을 1차증착한후, 전기비저항을가장낮게하는조건인 100 W, 10 mtorr의증착조건하에서다시 2차증착하여 2층구리막(2-layered Cu film)을제조하되, 2층구리막의전체두께에대한상기 1차로증착한하부구리막의두께비율()을약 25로함으로써, Cr, TiN, AlN과같은물질로이루어진중간층박막이나, 열처리와같은복잡한추가공정없이도, 낮은비저항특성과높은접착력특성을동시에만족하는구리막을제조할수 있어서, 제조공정이단순하여경제성이향상되는효과가있는매우유용한발명이다.
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公开(公告)号：KR1020000032999A
公开(公告)日：2000-06-15
申请号：KR1019980049645
申请日：1998-11-16
Applicant: 한국전기연구원
IPC: C23F1/16
CPC classification number: C23F1/44
Abstract: PURPOSE: A cobalt- and copper-series multilayer metal film etching solution, a preparation method thereof and an etching method using them are provided, for etching cobalt- and copper-series multilayer simultaneously and for providing an anisotropic section in etching to allow the fine pattern to be easily formed. CONSTITUTION: The etching solution comprises 1-20 mol% of FeCl3.6H2O, 1-40 mol% of HF, water, and optionally 0.5 or less mol% of nitric acid or hydrochloric acid. The etching solution is prepared by mixing FeCl3.6H2O and water during maintaining the temperature to be 30-50°C; and adding HF into the FeCl3 solution. A cobalt- and copper-series metal multilayer is etched by adding the multilayer into the etching solution during the temperature to be 25-30°C.
Abstract translation: 目的：提供钴和铜系多层金属膜蚀刻溶液，其制备方法和使用它们的蚀刻方法，用于同时蚀刻钴和铜系多层膜，并在蚀刻中提供各向异性部分以允许精细 图案容易形成。 构成：蚀刻溶液包含1-20摩尔％的FeCl 3·6H 2 O，1-40摩尔％的HF，水和任选的0.5或更少的摩尔％的硝酸或盐酸。 蚀刻溶液通过在保持温度为30-50℃的条件下混合FeCl3·6H2O和水来制备; 并向FeCl3溶液中加入HF。 通过在25-30℃的温度下将多层加入到蚀刻溶液中来蚀刻钴和铜系金属多层。
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公开(公告)号：KR102198210B1
公开(公告)日：2021-01-04
申请号：KR1020150110836
申请日：2015-08-06
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은, 산화아연이혼합된열전소재및 그제조방법에있어서, 비스무트(Bi), 텔루륨(Te), 셀레늄(Se)으로이루어진열전소재원료분말및 산화아연(ZnO) 나노분말을혼합및 소결하여 Bi2Te3-xSex-ZnO 나노복합열전소재를형성하는단계를통해제조되는것을기술적요지로한다. (0 ≤ x ≤ 3) 이에의해산화아연을 n-type의 Bi2Te3-xSex 열전소재에혼합하여나노복합열전소재의열전특성이향상되는효과를얻을수 있다. 또한산화아연을혼합함에의해나노복합열전소재의이방성이감소하고, 이를통해부위와관계없이균일한열전특성을가지는나노복합열전소재를얻을수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170044305A
公开(公告)日：2017-04-25
申请号：KR1020150143820
申请日：2015-10-15
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은, 열전필름을이용한수직형열전모듈및 그제조방법에있어서, 복수의기판상부에 p형열전필름및 n형열전필름을각각적층하는단계와; 상기 p형열전필름및 상기 n형열전필름이각각형성된상기기판을적층하여 p형다중층및 n형다중층을각각형성하는단계와; 상기 p형다중층및 상기 n형다중층의최상부와최하부에코팅막을형성하는단계와; 상기 p형다중층및 상기 n형다중층에전극금속을형성하고, 상기코팅막을제거하는단계와; 상기 p형다중층에상기전극금속이형성된 p형레그및 상기 n형다중층에상기전기금속이형성된 n형레그를정렬하여열전모듈을형성하는단계를포함하는것을기술적요지로한다. 이에의해 2차원열전필름을사용하여 3차원수직형열전모듈을제조할수 있으며, 특히초격자와같은 2차원나노구조형성기술을적용가능한효과를얻을수 있다. 또한 2차원미세공정기술플랫폼에열전기술이직접적으로접목될수 있어열전기술의확장성, 실용성및 양산성이획기적으로향상되는효과를얻을수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及使用热电薄膜的垂直型热电模块及其制造方法，该方法包括以下步骤：在多个基板上堆叠p型热电薄膜和n型热电薄膜; 通过层叠其上分别形成有p型热电膜和n型热电膜的基板来形成p型多层和n型多层; 在p型多层和n型多层的最上部和最下部形成涂膜; 在所述p型多层和所述n型多层上形成电极金属，并去除所述涂膜; 并且通过使形成在p型多层上的具有电极金属的p型腿和形成在n型多层上的具有电金属的n型腿对准来形成热电模块。 因此，可以使用二维热电薄膜来制造三维立式热电模块，并且特别地，可以应用诸如超晶格的二维纳米结构形成技术。 另外，热电技术可以直接应用于二维微处理技术平台，可以显着提高热电技术的可扩展性，实用性和批量生产能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101615172B1
公开(公告)日：2016-04-25
申请号：KR1020140070476
申请日：2014-06-11
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은열전성능이향상된열전재료의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는열전소자의 110면에대한빈도수를 1010면에대한빈도수에비하여상대적으로높이는제조공정을통해열전성능의향상효과가나타나는열전재료를제조할수 있는열전성능이향상된열전재료의제조방법에관한것이다. 이러한본 발명은, 열전재료를제조하는방법에있어서, 상기열전재료의 110면에대한빈도수를 1010면에대한빈도수에비하여상대적으로증가시키는제조공정을통하여열전성능의향상효과가나타나는열전재료를제조하는것을특징으로하는열전성능이향상된열전재료의제조방법을기술적요지로한다.
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公开(公告)号：KR1020150142174A
公开(公告)日：2015-12-22
申请号：KR1020140070476
申请日：2014-06-11
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본발명은열전성능이향상된열전재료의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는열전소자의 110면에대한빈도수를 1010면에대한빈도수에비하여상대적으로높이는제조공정을통해열전성능의향상효과가나타나는열전재료를제조할수 있는열전성능이향상된열전재료의제조방법에관한것이다. 이러한본 발명은, 열전재료를제조하는방법에있어서, 상기열전재료의 110면에대한빈도수를 1010면에대한빈도수에비하여상대적으로증가시키는제조공정을통하여열전성능의향상효과가나타나는열전재료를제조하는것을특징으로하는열전성능이향상된열전재료의제조방법을기술적요지로한다.
Abstract translation: 本发明涉及具有改进的热电功能的热电材料的制造方法。 更具体地说，本发明涉及一种具有改进的热电功能的热电材料的制造方法，其中可以通过相对提高110℃左右的频率的生产工艺来制造具有改善热电功能的效果的热电材料 热电器件的频率约为1010表面。 根据本发明的方法，通过相对于约1010表面的频率相对地提高热电装置的表面110的频率的制造方法，制造具有改善的热电功能的热电材料。
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公开(公告)号：KR101454450B1
公开(公告)日：2014-10-24
申请号：KR1020130101161
申请日：2013-08-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H04B1/40
CPC classification number: H04B1/086 , B23B2228/16 , G01K7/02 , H04M1/7253
Abstract: The present invention relates to a receiving call notification device of mobile phone using a thermoelectric device and a shape memory alloy, more particularly to a receiving call notification device of mobile phone using a thermoelectric device and a shape memory alloy which is installed to a watch and notifies reception of call by applying physical stimulus to the skin by operating the thermoelectric device and causing deformation of the shape memory alloy when a call or a message is received to the mobile phone. A device of the present invention is wirelessly connected to the mobile phone, is to be installed to a watch that a user puts on, is provided to notify reception of call by applying physical stimulus to the skin by operating the thermoelectric device and causing deformation of the shape memory alloy when a call or a message is received to the mobile phone by including: a reception unit for wirelessly obtaining information of call or message received to the mobile phone from the mobile phone; a current generation unit for generating operating current from a power supply of the watch according to the received information obtained from the reception unit; a thermoelectric device unit which is operated to change the temperature thereof due to the operating current generated in the current generation unit; and a shape memory alloy unit which is in contact with the skin of user and is deformed due to the temperature change of the thermoelectric device unit to provide a physical stimulus to the skin of the user.
Abstract translation: 本发明涉及使用热电装置和形状记忆合金的移动电话的接收呼叫通知装置，更具体地说，涉及一种使用热电装置的移动电话的接收呼叫通知装置和安装在手表上的形状记忆合金， 通过操作热电装置，通过对皮肤施加物理刺激来通知接收呼叫，并且当接收到呼叫或消息到移动电话时导致形状记忆合金的变形。 将本发明的装置无线连接到移动电话机，将被安装到用户所佩戴的手表上，以通过操作热电装置对皮肤施加物理刺激来通知接收呼叫，并引起变形 所述形状记忆合金当通过包括以下方式接收到呼叫或消息时的形状记忆合金：包括：从所述移动电话无线获取接收到所述移动电话的呼叫或消息的信息的接收单元; 电流产生单元，用于根据从接收单元获得的接收信息从手表的电源产生工作电流; 热电装置单元，其由于在当前产生单元中产生的工作电流而改变其温度; 以及形状记忆合金单元，其与使用者的皮肤接触并且由于热电装置单元的温度变化而变形，以向用户的皮肤提供物理刺激。
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公开(公告)号：KR101386125B1
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：KR1020120108820
申请日：2012-09-28
Applicant: 한국전기연구원
Abstract: 본 발명은 실내 습기 제거장치에 관한 것으로, 실내 내벽에는 길이방향으로 길게 형성되어 내부에 통로부가 형성되고, 일측에는 인입구가 형성되며, 타측에는 배출구가 형성된 환기부; 상기 환기부의 일측에 열전모듈이 구비되어 상기 통로부에 유입된 공기의 온도를 냉각하여 습기를 제거하는 습기제거부; 상기 인입구에 구비되는 흡입팬과, 상기 배출구에 구비되는 배출팬으로 구성된 팬구동부; 및 상기 열전모듈, 상기 흡입팬 및 상기 배출팬의 전원인가 및 작동을 제어하는 전원제어부;로 구성되는 것을 기술적 요지로 하는 실내 습기 제거장치에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR101386117B1
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：KR1020120078318
申请日：2012-07-18
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L35/12
Abstract: 본 발명은 버퍼층이 형성된 Ｍｇ―Ｓｉ계 열전소자에 관한 것으로, Mg
2 X(X는 Si 이거나, X는 Si 와 Sn, Ge, Pb 중에서 선택된 원소가 혼합된 혼합 원소)로 구성된 Mg-Si계 열전재료로 형성된 열전재료층과; 상기 열전재료층 양면에 형성되고, 천이금속 또는 알루미늄 중 하나의 원소로 구성된 전극재료로 형성된 전극재층과; 상기 열전재료층과 상기 전극재층 사이에 형성되고, 열전재료와 전극재료를 혼합하여 형성시키되, 열전재료;전극재료의 혼합비는 몰비로 9;1 ~ 1;9가 되도록 하여 형성시킨 버퍼층;을 포함하여 구성되어, 상기 열전재료층에 전극재층을 접합시키되, 10 ~ 500 ㎫의 압력으로 가압하고 열처리하여 형성되는 버퍼층이 형성된 Mg-Si계 열전소자를 기술적 요지로 한다. 이에 따라, Mg-Si계 열전재료와 천이금속재료의 전극재를 접합시키기 위해 접합하는 두 재료 사이에 버퍼층을 형성시킴과 동시에 가압열처리 공정을 통해, 두 재료의 접합 시에 크랙의 생성이나 접합계면의 분리가 발생하지 않는 우수한 접합계면이 형성된다는 이점이 있다.
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