公开(公告)号：KR100668291B1

公开(公告)日：2007-01-16

申请号：KR1020040103698

申请日：2004-12-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 유인규 ,  강승열 ,  김기현 ,  안성덕 ,  백규하 ,  김철암 ,  서경수

IPC: H01L51/40 ,  H01L21/027

Abstract: 본 발명은 유기물 전도체막의 미세 패터닝 방법, 이로부터 형성된 미세 패턴화된 유기물 전도체막 및 미세 패턴화된 유기물 전도체막을 적용시킨 유기 박막 트랜지스터에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기물 전도체의 미세 패터닝 방법은 노광조건을 제어하고, 리프트 오프 방법을 적용하여 유기물의 특성에 영향을 주지 않으면서 미세 패터닝이 가능한 방법을 제공하는 것이다.
유기물, 미세 패터닝, 감광막, 리프트 오프

公开(公告)号：KR1020060067103A

公开(公告)日：2006-06-19

申请号：KR1020050038558

申请日：2005-05-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  강승열 ,  김철암 ,  유인규 ,  김기현 ,  오지영 ,  백규하 ,  서경수

IPC: G02F1/167

CPC classification number: G02F1/167 ,  G02F2001/1676 ,  G02F2001/1678

Abstract: 천연색 전기영동 디스플레이 및 그 제작방법이 제공된다. 본 발명은 하부막 위에 위치하며 일정 간격을 갖고 배치된 복수개의 하부 전극과, 복수개의 하부 전극 상에 배치된 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버와, 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버에 각각 수용되며 전기장에 차별적으로 동작하여 빨간색, 초록색, 파란색을 독립적으로 표시하는 제1 내지 제3 전자잉크, 그리고 제1 내지 제3 포토레지스트 챔버를 사이에 두고 복수개의 하부 전극과 마주하며 일정 간격을 갖고 배치된 복수개의 상부 전극을 포함한다.
전기영동 디스플레이, 전자잉크, 포토레지스트 시트, 칼라 표시

公开(公告)号：KR100576719B1

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：KR1020030096220

申请日：2003-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강승열 ,  안성덕 ,  김철암 ,  정명주 ,  서경수

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L51/0545 ,  H01L51/0018 ,  H01L51/0036 ,  H01L51/0055 ,  H01L51/0068

Abstract: 본 발명의 하부 게이트형 유기박막 트랜지스터의 제조방법은, 기판상에 게이트도전막패턴을 형성하는 단계와, 기판의 노출표면 및 게이트도전막 위에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 게이트절연막 위에 게이트도전막패턴과 중첩되는 게이트절연막의 일부표면이 노출되도록 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계와, 게이트절연막의 노출표면 위에 유기반도체박막을 형성하는 단계와, 유기반도체박막 위에 유기반도체박막의 일부표면을 노출시키는 보호막패턴을 형성하는 단계와, 그리고 보호막패턴을 식각마스크로 이용하여 유기반도체박막의 노출표면이 제거된 유기반도체박막패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
유기박막 트랜지스터,

公开(公告)号：KR100521696B1

公开(公告)日：2005-10-14

申请号：KR1020030087486

申请日：2003-12-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  강승열 ,  서경수 ,  정명주 ,  김철암

IPC: C23C16/00

Abstract: 시간 분할 광도움(photo assisted) 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 광을 제공하는 광도움부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.

公开(公告)号：KR100503425B1

公开(公告)日：2005-07-22

申请号：KR1020030006797

申请日：2003-02-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  이용의 ,  강승열 ,  서경수 ,  정명주 ,  김철암 ,  이명기 ,  지영규

IPC: H01L21/205

Abstract: 본 발명은 저분자 유기물 박막 및 유기물 소자를 위한 증착방법과 장치에 관한 것으로, 콜드월(cold wall) 형태의 저진공 유기물 기상 증착장치 및 이를 이용한 증착방법을 제공한다. 본 발명에 따른 콜드월 형태의 저진공 유기물 기상 증착장치는 콜드월 형태의 반응 챔버를 구비하며, 유기물 소스 재료를 가열하여 유기물 소스 기상으로 만들어 주는 유기물 소스부, 유기물 소스 기상을 기판까지 운반해주는 운반가스를 주입할 수 있는 샤워 링(shower ring) 또는 파이프 형태의 운반가스부, 유기물 박막이 형성될 기판을 지지하며 그 온도를 조절할 수 있는 기판부, 잔류 유기물 부산물들이 챔버 벽면에 증착되는 것을 방지하며 자기 세척(self cleaning)이 가능하도록 온도조절이 가능한 보호부 및, 증착 반응 동안에 챔버의 전체 압력을 수 mTorr 영역에서 수백 Torr 영역까지의 저진공으로 유지할 수 있는 진공 펌프부를 포함하여 구성된다. 이러한 증착장치를 이용하면 기존의 진공 증착법보다 고압에서 표면이 매우 평탄한(smooth) 유기물 박막을 형성할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050064648A

公开(公告)日：2005-06-29

申请号：KR1020030096220

申请日：2003-12-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강승열 ,  안성덕 ,  김철암 ,  정명주 ,  서경수

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L51/0545 ,  H01L51/0018 ,  H01L51/0036 ,  H01L51/0055 ,  H01L51/0068

Abstract: 본 발명의 하부 게이트형 유기박막 트랜지스터의 제조방법은, 기판상에 게이트도전막패턴을 형성하는 단계와, 기판의 노출표면 및 게이트도전막 위에 게이트절연막을 형성하는 단계와, 게이트절연막 위에 게이트도전막패턴과 중첩되는 게이트절연막의 일부표면이 노출되도록 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계와, 게이트절연막의 노출표면 위에 유기반도체박막을 형성하는 단계와, 유기반도체박막 위에 유기반도체박막의 일부표면을 노출시키는 보호막패턴을 형성하는 단계와, 그리고 보호막패턴을 식각마스크로 이용하여 유기반도체박막의 노출표면이 제거된 유기반도체박막패턴을 형성하는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020050054152A

公开(公告)日：2005-06-10

申请号：KR1020030087486

申请日：2003-12-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  강승열 ,  서경수 ,  정명주 ,  김철암

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/52 ,  B05D1/60 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/482 ,  Y10S261/65

Abstract: 시간 분할 광도움(photo assisted) 폴리머(polymer) 박막 증착 장치 및 방법을 제시한다. 본 발명의 일 관점에 따른 증착 장비는, 반응 챔버, 기판 지지부, 기판 냉각부, 폴리머 박막 증착에 참여할 증착 소스 기상 및 폴리머화를 위한 활성화제 기상을 교번적으로 기판 상에 공급하는 샤워링(shower ring), 활성화제 기상을 활성화하는 데 도움을 주는 광을 제공하는 광도움부를 포함하여 구성되고, 또한, 샤워 링으로 제공될 증착 소스 기상을 위한 증착 소스를 담는 증착 소스통, 활성화제 소스를 담는 활성화제 소스통, 증착 소스통 및 활성화제 소스통을 가열하는 가열부, 및 증착 소스의 기상 및 활성화제 기상이 시간 분할에 따라 선택적으로 상호 독립적으로 샤워링으로 이송되도록 허용하는 이송로를 포함하여 구성된다.

公开(公告)号：KR100489800B1

公开(公告)日：2005-05-16

申请号：KR1020020074016

申请日：2002-11-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이용의 ,  강승열 ,  안성덕 ,  서경수 ,  이원재

IPC: H01L27/108 ,  B82Y10/00

Abstract: 본 발명은 캐패시터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 메모리 소자를 구성하는 캐패시터에 있어서, 나노미터 혹은 마이크로미터의 지름을 가지는 전도성 와이어를 이용하고 상기 전도성 와이어 상에 유전층을 형성함으로써 획기적으로 증가된 충전용량을 가진 초고밀도 메모리 소자의 구현이 가능한 캐패시터 및 그 제조방법을 개시한다.

公开(公告)号：KR100479269B1

公开(公告)日：2005-03-28

申请号：KR1020030006798

申请日：2003-02-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 안성덕 ,  김철암 ,  서경수 ,  이용의 ,  강승열 ,  정명주

IPC: C09K3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명의 전기유변(ER) 유체는 절연 유체에 전하를 띤 나노 크기의 전기 영동 입자가 분산되어 있는 마이크로 캡슐과, 상기 마이크로 캡슐이 분산된 절연 유체를 포함하여 이루어진다. 상기 절연 유체는 광물유, 합성유, 식물유, 또는 이들의 혼합유로 이루어질 수 있다. 상기 전기 영동 입자의 크기가 10 ~ 500nm로 이루어질 수 있다. 상기 마이크로 캡슐의 내부에 균일하게 분산되어 있는 구형의 전기 영동 나노 입자들의 전하량은 전하조절제에 의해 조절 가능하여 충분한 항복응력값을 얻을 수 있어 ER 유체의 실용적 가치를 증진시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100450777B1

公开(公告)日：2004-10-01

申请号：KR1020020077586

申请日：2002-12-07

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강승열 ,  이용의 ,  안성덕 ,  서경수

IPC: G02F1/167

Abstract: PURPOSE: An electrophoresis display by using a tube type capsule and a manufacturing method thereof are provided to implement various colors easily. CONSTITUTION: A transparent lower electrode(401) is formed on a glass substrate or a plastic substrate by using a metal or ITO(Indium Tin Oxide). Plural lower electrodes(401) are arranged to a substrate with a constant interval toward the first direction, that is, a horizontal direction. A tube type capsule(403) is manufactured and arranged on the lower electrode(401). An upper electrode(405) is formed on the tube type capsule(403) with a constant interval toward the second direction, that is, a longitudinal direction.

Abstract translation: 目的：提供一种使用管式胶囊的电泳显示器及其制造方法，以容易地实现各种颜色。 构成：通过使用金属或ITO（铟锡氧化物）在玻璃基板或塑料基板上形成透明的下部电极（401）。 多个下电极（401）朝着第一方向（即，水平方向）以恒定间隔布置到基板。 管式胶囊（403）制造并布置在下电极（401）上。 在管型胶囊（403）上朝向第二方向即长度方向以一定的间隔形成有上部电极（405）。