沉积装置及使用该装置的薄膜沉积方法

    公开(公告)号:CN103805944A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201310183635.5

    申请日:2013-05-17

    CPC classification number: C23C14/24 B05D1/02 B05D1/36

    Abstract: 根据本发明一实施例的沉积装置包括:沉积室、第一组沉积源以及第二组沉积源。所述沉积室包括:第一等候区域、沉积区域以及第二等候区域。在所述第一等候区域和所述第二等候区域之间可以设置有所述沉积区域。所述第一组沉积源用于从所述第一等候区域向所述沉积区域移动、并且向设置在所述沉积区域的基底基板提供第一组沉积物质。所述第二组沉积源用于从所述第二等候区域向所述沉积区域移动、并且向所述基底基板提供第二组沉积物质。

    涂布装置及使用其的带涂膜薄膜的制造方法

    公开(公告)号:CN103372520A

    公开(公告)日:2013-10-30

    申请号:CN201310122672.5

    申请日:2013-04-10

    Abstract: 提供涂布装置及使用其的带涂膜薄膜的制造方法,即使将间隙扩大到涂布到基材上的涂布液的湿厚度的3倍以上也能够不发生条纹故障地进行涂布。具备:支承辊(18),支承搬送的基材(16);狭缝模(28),与支承辊对置配置,通过从多个狭缝(20、22)前端分别排出涂布液(12、14)而在模前端面即唇面(26)与基材之间的间隙(C)中形成涂布液珠(24),在搬送的基材上同时重叠涂布多种涂布液;以及减压装置(30),将涂布液珠(24)的基材搬送方向上游侧减压;夹着多个狭缝的两侧的唇面中的、多种涂布液彼此的界面接触的邻接唇面(26B)的从基材搬送方向观察的下游侧的唇面端部(S)形成为截面凸状的弯曲形状。

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