公开(公告)号：CN102815672B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201210295039.1

申请日：2005-04-05

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 和田昇 ,  葛本昌树 ,  稻永康隆

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64

Abstract: 本发明提供一种臭氧发生装置，其目的在于：在以极高纯度的氧（纯度≥99.9%）为原料气体的情况下，高效率地生成不含氮氧化物的高浓度臭氧气体。本发明的臭氧发生装置具有通过施加交流电压而放电的两个电极（11、12），以及设置在上述电极间的至少一个电介体（22）；向发生上述放电的放电空间（40）内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧；在至少一个上述电极和放电空间之间的与放电接触的面的表面电阻率为104Ω~1011Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度≥99.9%的高纯度的氧。

公开(公告)号：CN103443024B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201180069317.5

申请日：2011-04-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中谷元 ,  田村哲也 ,  江崎德光 ,  尾台佳明 ,  竹田智昭

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

Abstract: 本发明提供一种运行成本较低的臭氧产生系统。该臭氧产生系统包括存储电费单价的电费单价存储部、以及存储气费单价的气费单价存储部，根据存储在电费单价存储部中的电费单价、存储在气费单价存储部中的气费单价、以及臭氧化气体所要求的所需臭氧产生量，对于作为臭氧产生量基础参数的臭氧浓度及气体流量决定使运行成本最低的值，控制气体流量调节器以使得变成为该决定的气体流量，并控制臭氧产生器用电源的功率以使得变成为所决定的臭氧浓度。

公开(公告)号：CN104445076A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410462879.1

申请日：2014-09-12

Applicant: 气体产品与化学公司

Inventor： T.C.戈尔登 ,  V.P.多拉基亚 ,  S.S.西索迪亚

IPC: C01B13/02 ,  C01B13/11 ,  C22B3/44

CPC classification number: C01B13/10 ,  C01B13/0203 ,  C01B13/0229 ,  C22B1/02 ,  Y02P20/125 ,  C01B13/0248 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64

Abstract: 本发明的实施方案提供使用单一空气分离单元用于有效生产低压臭氧流和高压氧流二者的系统和方法。低压臭氧流和高压氧流可以显著的能量节约而生产并且可用于多种应用，包括使用含水氧化反应器和高压氧化反应器从矿石提取贵金属。

公开(公告)号：CN104245571A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201280072566.4

申请日：2012-04-23

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 永山贵久 ,  中谷元 ,  尾台佳明 ,  和田昇

IPC: C01B13/11

CPC classification number: B01J19/088 ,  B01J2219/0807 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/14 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76

Abstract: 本发明的臭氧产生装置中，设置放电抑制构件(10)，该放电抑制构件(10)覆盖电介质管(2)的与管板(90)相对的部分的外周表面且由金属板形成，并使该放电抑制构件与金属管(1)或管板(90)电接触，放电抑制构件通过如下方式形成：将比电介质管的外周长度要长的金属板卷绕成环状，从而具有重合部(14)，在重合部中、位于外侧的金属板的端部附近，使重合部中位于外侧的金属板与位于内侧的金属板接合来形成该放电抑制构件，且在重合部中位于外侧的金属板上具有沿周向延伸的弹性部(17)。

公开(公告)号：CN103957945A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201280052029.3

申请日：2012-08-20

Applicant: 特萨诺公司

Inventor： S.L.亨斯佩格 ,  J.L.纳姆斯佩特拉 ,  J.奥奈尔

IPC: A61L2/20 ,  B01F3/04 ,  B01J47/00 ,  C01B13/10 ,  C02F1/78

CPC classification number: C02F9/00 ,  B01F3/04985 ,  B01F2003/04886 ,  B01J39/05 ,  B01J39/07 ,  B01J39/20 ,  B01J47/022 ,  B01J49/06 ,  B01J49/53 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/42 ,  C02F1/78 ,  C02F2001/425 ,  C02F2209/06

Abstract: 本发明涉及提供酸性离子化的臭氧化液体的系统。所述系统包括配置成接受液体到所述系统中的液体入口；与所述液体入口流体连通的基于酸的阳离子交换树脂，所述树脂适合使在所述接受的液体中的阳离子与在所述树脂上的H+离子交换；与所述液体入口和所述基于酸的阳离子交换树脂流体连通的臭氧溶解设备；和与所述液体入口、所述基于酸的阳离子交换树脂和所述臭氧溶解设备流体连通的液体出口。所述臭氧溶解设备和所述基于酸的阳离子交换树脂共同生成所述酸性离子化的臭氧化液体以便经所述液体出口分配到所述系统以外。

公开(公告)号：CN103636294A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201280031442.1

申请日：2012-04-27

Applicant: 旭有机材工业株式会社

Inventor： 中岛秀之 ,  迫田达也 ,  马场诚二

IPC: H05H1/24 ,  C01B13/10 ,  C01B13/11

CPC classification number: H05H1/2406 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/64 ,  H05H2001/245

Abstract: 本发明提供一种在流体和电介质管之间产生放电的等离子体生成方法及生成装置。所述等离子体生成方法通过对所供给的气体施加电压，利用电介质管内的放电而生成等离子体，其中，在该电介质管的内部或上方配置通水管，在该电介质管的外侧设置高电压电极，在该电介质管的内周具有间隙的状态下对通过通水管排出到该电介质管内的流体设置接地电极，并通过对与电源装置连接的该高电压电极和该接地电极施加电压而在该电介质管的内壁与流体之间、或者在该电介质管的内壁和该通水管之间产生放电。另外，所述电介质管、所述通水管、导入所述供给的气体的导入口的连结形成为抽吸结构。

公开(公告)号：CN103404236A

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201280010991.0

申请日：2012-02-17

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 成田宪二 ,  实松涉 ,  斋藤亮彦 ,  中山敏

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  B08B3/10 ,  B26B19/48 ,  C01B13/11 ,  C02F1/46 ,  C02F1/48 ,  C02F1/72 ,  C02F1/78

CPC classification number: B08B13/00 ,  A45D27/46 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 等离子体发生装置(1)具有容纳含水的液体(6)的液体容纳部(3)、容纳气体的气体容纳部(4)以及隔离壁部(3)，该隔离壁部将液体容纳部与气体容纳部隔开，形成有用于将气体容纳部中的气体引导到液体容纳部的气体通路(5a)。另外，具备被配置于气体容纳部的第一电极(10)和被配置成与液体容纳部中的液体相接触的第二电极(11)。并且，还具有向气体容纳部供给气体的气体供给部(9)、等离子体电源部(13)以及液体流入防止装置(控制部(14))，该液体流入防止装置防止液体经由气体通路从液体容纳部流入到气体容纳部。

公开(公告)号：CN103340020A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201280006503.9

申请日：2012-01-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 实松涉 ,  斋藤亮彦 ,  成田宪二 ,  町昌治

IPC: H05H1/24 ,  A61L2/18 ,  A61L2/20 ,  B08B3/08 ,  C01B13/11

CPC classification number: H05H1/24 ,  A45D27/46 ,  A61L2/14 ,  B08B7/0035 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  C02F1/78 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 等离子体发生装置(1)具备：第一电极(12)，其被配置于气体容纳部(5)；以及第二电极(13)，其被配置成至少与第一电极(12)成对的一侧的部分与液体容纳部(4)中的液体(17)相接触。然后，通过使第一电极(12)与第二电极(13)之间产生放电，来在液体容纳部(4)中的液体(17)内的气体区域产生等离子体，基于液体(17)中含有的水和气体中含有的氧来产生羟基自由基。电压控制部(60)根据液体(17)的状态来控制等离子体电源部(15)所施加的电压。

公开(公告)号：CN102960073A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201180032218.X

申请日：2011-06-13

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 实松渉

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  B08B7/00 ,  B08B7/04 ,  C02F1/50 ,  C02F1/78

CPC classification number: H05H1/48 ,  A45D27/46 ,  A45D27/48 ,  B08B3/10 ,  B08B7/00 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/60 ,  C01B2201/64 ,  C02F1/72 ,  C02F1/78 ,  C02F2305/02 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32091 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/466

Abstract: 等离子体发生装置(1)具备：第一电极(12)，其被配置于气体容纳部(5)；以及第二电极(13)，其被配置成至少与第一电极(12)成对的一侧的部分与液体容纳部(4)中的液体(17)相接触。而且，通过使第一电极(12)与第二电极(13)之间产生放电，来在液体容纳部(4)中的液体(17)内的气体区域处生成等离子体，基于液体(17)中含有的水和气体中含有的氧来生成羟基自由基。

公开(公告)号：CN102625861A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201080036764.6

申请日：2010-08-12

Applicant: ASM美国股份有限公司

Inventor： E·谢罗 ,  P·雷伊塞宁 ,  S.H.金 ,  王长工

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C01B13/11

CPC classification number: C23C16/40 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C23C16/45553 ,  C23C16/52

Abstract: 描述了其中在反应室中的衬底上沉积薄膜的系统和方法。在示例性方法中，所述方法可包括对衬底施加原子层沉积循环，其中，所述循环可包括使所述衬底与前体气体接触前体脉冲时间，然后除去所述前体气体，并使所述衬底与包含氧化剂气体和含氮类气体的氧化剂接触氧化脉冲时间，然后除去氧化剂。本发明的各方面利用分子和受激氮-氧自由基/离子形式，可能还与氧化剂如臭氧组合。本发明的实施方式也包含电子元件，以及包括使用按照本发明的方法制造的器件的系统。