公开(公告)号：US20040100633A1

公开(公告)日：2004-05-27

申请号：US10717316

申请日：2003-11-19

Inventor： Allan Rosencwaig ,  Lanhua Wei

IPC: G01J004/00

CPC classification number: H01L21/02046 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0227 ,  G01N2201/023 ,  H01L21/02054 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67115 ,  H01L22/20

Abstract: A method for improving the measurement of semiconductor wafers is disclosed. In the past, the repeatability of measurements was adversely affected due to the unpredictable growth of a layer of contamination over the intentionally deposited dielectric layers. Repeatability can be enhanced by removing this contamination layer prior to measurement. This contamination layer can be effectively removed in a non-destructive fashion by subjecting the wafer to a cleaning step. In one embodiment, the cleaning is performed by exposing the wafer to microwave radiation. Alternatively, the wafer can be cleaned with a radiant heat source. These two cleaning modalities can be used alone or in combination with each other or in combination with other cleaning modalities. The cleaning step may be carried out in air, an inert atmosphere or a vacuum. Once the cleaning has been performed, the wafer can be measured using any number of known optical measurement systems.

Abstract translation: 公开了一种改善半导体晶片测量的方法。 在过去，由于在有意沉积的介电层上的污染层的不可预测的增长，测量的重复性受到不利影响。 在测量之前，通过去除这个污染层可以提高重复性。 通过使晶片进行清洁步骤，可以非破坏性地有效地去除该污染层。 在一个实施例中，通过将晶片暴露于微波辐射来进行清洁。 或者，可以用辐射热源清洁晶片。 这两种清洁方式可以单独使用或彼此组合使用或与其他清洁模式组合使用。 清洁步骤可以在空气，惰性气氛或真空中进行。 一旦执行了清洁，就可以使用任何数量的已知光学测量系统测量晶片。

公开(公告)号：WO2015054594A1

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：PCT/US2014/060071

申请日：2014-10-10

Applicant: PRECISIVE, LLC ,  PASON SYSTEMS CORP.

Inventor： SAPTARI, Vidi A.

IPC: G01N21/35 ,  G01N21/05 ,  G01N21/31 ,  G01N33/22

CPC classification number: G01N21/3518 ,  G01N21/05 ,  G01N21/31 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/359 ,  G01N33/225 ,  G01N2021/3536 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/023

Abstract: Described herein is a spectroscopic system and method for measuring and monitoring the chemical composition and/or impurity content of a sample or sample stream using absorption light spectroscopy. Specifically, in certain embodiments, this invention relates to the use of sample pressure variation to alter the magnitude of the absorption spectrum (e.g., wavelengthdependent signal) received for the sample, thereby obviating the need for a reference or zero sample. Rather than use a reference or zero sample, embodiments described herein obtain a spectrum/signal from a sample-containing cell at both a first pressure and a second (different) pressure.

Abstract translation: 本文描述的是使用吸收光谱测量和监测样品或样品流的化学成分和/或杂质含量的光谱系统和方法。 具体地说，在某些实施方案中，本发明涉及使用样品压力变化来改变为样品接收的吸收光谱的大小（例如，波长相关信号），从而避免了对参考或零样品的需要。 不是使用参考或零样本，本文所述的实施例在第一压力和第二（不同）压力下都从含样品的细胞获得光谱/信号。

公开(公告)号：WO2013128396A4

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：PCT/IB2013051589

申请日：2013-02-28

Applicant: SMART APPLIC LTD ,  BEER DEON DE

Inventor： ZINN MICHAEL TREVOR ,  WOODS QUINTON ENCOMBE ,  BUYS PETRUS HENDRIK

IPC: G01N21/954 ,  E04G23/00 ,  F23J99/00 ,  G03B37/00

CPC classification number: G01N21/954 ,  E04G23/008 ,  F23J13/00 ,  F23J99/00 ,  F23J2213/60 ,  G01C19/00 ,  G01N2201/023 ,  G01N2201/025 ,  G01N2201/062 ,  G03B37/005

Abstract: The invention relates to an inspection and repair module for an internal side wall of a vertically erected structure, with the module including a carrier for supporting at least one data recording mechanism and being securable to a hoist, and for an inspection and repair module for an internal wall of a conduit with the module including propulsion means comprising a set of driven tracked wheels controllable by a controller carried by the carrier and configured to provide, within a conduit, longitudinal forward and reverse motion.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于垂直竖立结构的内部侧壁的检查和修理模块，该模块包括用于支撑至少一个数据记录机构并可固定到升降机上的托架，以及用于 所述模块的内壁包括推进装置，所述推进装置包括一组从动履带式车轮，所述一组从动履带式车轮通过由所述载运架携带的控制器控制并且被配置为在导管内提供纵向向前和向后运动。

公开(公告)号：WO2013128396A1

公开(公告)日：2013-09-06

申请号：PCT/IB2013/051589

申请日：2013-02-28

Applicant: SMART APPLICATIONS LIMITED ,  DE BEER, Deon

Inventor： ZINN, Michael Trevor ,  WOODS, Quinton Encombe ,  BUYS, Petrus Hendrik

IPC: G01N21/954 ,  E04G23/00 ,  G03B37/00 ,  F23J99/00

CPC classification number: G01N21/954 ,  E04G23/008 ,  F23J13/00 ,  F23J99/00 ,  F23J2213/60 ,  G01C19/00 ,  G01N2201/023 ,  G01N2201/025 ,  G01N2201/062 ,  G03B37/005

Abstract: The invention relates to an inspection and repair module for an internal side wall of a vertically erected structure, with the module including a carrier for supporting at least one data recording mechanism and being securable to a hoist, and for an inspection and repair module for an internal wall of a conduit with the module including propulsion means comprising a set of driven tracked wheels controllable by a controller carried by the carrier and configured to provide, within a conduit, longitudinal forward and reverse motion.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于垂直竖立结构的内侧壁的检查和修理模块，其中该模块包括用于支撑至少一个数据记录机构并可安装在起重机上的载体，以及用于检查和修理模块 具有模块的导管的内壁包括推进装置，该推进装置包括一组驱动的跟踪轮，该组可由载体承载的控制器控制，并配置成在管道内提供纵向前进和后退运动。

公开(公告)号：WO2010078218A2

公开(公告)日：2010-07-08

申请号：PCT/US2009/069525

申请日：2009-12-24

Applicant: SPECTRASENSORS, INC. ,  HU, Xuejiao ,  FEITISCH, Alfred

Inventor： HU, Xuejiao ,  FEITISCH, Alfred

IPC: G01N21/39 ,  G01N21/53

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01N2201/022 ,  G01N2201/023 ,  G01N2201/0231

Abstract: Thermally controlled enclosures that can be used with gas analyzers are described. The enclosures incorporate one or more phase changing materials that buffer ambient and internal heat loads to reduce the power consumption demand of mechanical or electronic heating apparatus. Maintenance of gas analyzer equipment at a consistent temperature can be important to achieving stable and reproducible results. Related systems, apparatus, methods, and/or articles are also described.

Abstract translation: 描述了可用于气体分析仪的热控制外壳。 外壳采用缓冲环境和内部热负荷的一种或多种相变材料，以减少机械或电子加热设备的功耗需求。 在一致的温度下维护气体分析仪设备对于获得稳定和可重现的结果是重要的。 还描述了相关系统，装置，方法和/或制品。

公开(公告)号：WO2009065463A1

公开(公告)日：2009-05-28

申请号：PCT/EP2008/008341

申请日：2008-10-01

Applicant: DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH ,  HOLZAPFEL, Wolfgang

Inventor： HOLZAPFEL, Wolfgang

IPC: G01B9/02 ,  G01N21/45

CPC classification number: G01B9/0207 ,  G01B9/02027 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/60 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3554 ,  G01N2201/023

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Interferometeranordnung und ein Verfahren zu deren Betrieb. Die Interferometeranordnung umfasst ein Interferometer mit einer Interferometer-Lichtquelle, deren emittierte Strahlung in einen Mess- und einen Referenzarm aufteilbar ist, wobei ein Messobjekt im Messarm angeordnet ist und das Interferometer von der Position des Messobjekts abhängige Interferometersignale liefert. Ferner sind Erfassungsmittel zur Erfassung von Fluktuationen des Brechungsindexes der Luft im Mess- und/oder Referenzarm vorgesehen. Hierbei umfassen die Erfassungsmittel eine Spektrometereinheit; die Spektrometereinheit weist mindestens eine Spektrometer-Lichtquelle sowie mindestens eine Spektrometer-Detektoreinheit auf. Die von der Spektrometer-Lichtquelle emittierten Strahlenbündel werden den Strahlenbündeln der Interferometer-Lichtquelle überlagert, wobei die Spektrometer-Lichtquelle Strahlung mit einer Wellenlänge emittiert, die im Bereich einer Absorptionslinie mindestens eines bestimmten Luftbestandteils liegt. Die Spektrometer-Detektoreinheit dient zur Erzeugung von Spektrometersignalen, die die Absorption des Luftbestandteils bzgl. der Spektrometer-Lichtquellenwellenlänge im Mess- und/oder Referenzarm charakterisieren.

Abstract translation: 本发明涉及一种干涉仪和用于其操作的方法。 的干涉仪，其包括具有干涉仪的光源，其发射的辐射可分为一个测量臂和参考，其中，被测物体被布置在测量臂和所述干涉仪提供依赖于测量对象干涉信号的位置的干涉仪。 此外，检测装置，用于设置在测量和/或参考臂的空气的折射率检测的波动。 这里，检测装置包括分光计单元; 光谱仪单元至少包括一光谱仪光源和至少一个光谱仪检测器单元。 从分光计光源的光束射出的光重叠在干涉仪光源的光束，其中光谱仪光源发射具有波长为至少在一个吸收线的范围内的一定的空气成分的辐射。 该光谱仪检测器单元被用于生成表征所述空气成分的相关的吸收光谱仪的信号。分光计光源波长在测量和/或参考臂。

公开(公告)号：EP3312587A1

公开(公告)日：2018-04-25

申请号：EP16814195.0

申请日：2016-06-10

Applicant: Kyoto University ,  Masa International Corp.

Inventor： TANAKA, Yu ,  AKIYAMA, Shigeyuki

IPC: G01N21/03

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N33/004 ,  G01N33/0098 ,  G01N2021/8466 ,  G01N2201/023

Abstract: To provide an NDIR gas sensor having high responsiveness and less noise. A gas sensor 5 includes a radiating section 50 arranged to radiate an infrared ray, a detecting section 51 arranged to detect the infrared ray radiated by the radiating section 50, and a sample cell 6 extending between the radiating section 50 and the detecting section 51 along a route of the infrared ray and covering the entire circumference of the route of the infrared ray. The sample cell 6 includes a plurality of cell elements 60 and 61 extending along the route of the infrared ray. Side portions of the cell elements 60 and 61 adjacent to each other overlap at an interval from each other.

Abstract translation: 提供具有高响应性和低噪音的NDIR气体传感器。 气体传感器5包括用于辐射红外线的辐射部分50，用于检测由辐射部分50辐射的红外线的检测部分51和沿辐射部分50与检测部分51之间延伸的样品池6 红外线的路线并且覆盖红外线路线的整个圆周。 样品池6包括沿着红外线的路线延伸的多个电池元件60和61。 彼此相邻的电池元件60和61的侧部彼此间隔地重叠。

公开(公告)号：EP3055670A1

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：EP14792936.8

申请日：2014-10-10

Applicant: MKS Instruments, Inc. ,  Pason Systems Corp.

Inventor： SAPTARI, Vidi A.

IPC: G01N21/35 ,  G01N21/05 ,  G01N21/31 ,  G01N33/22

CPC classification number: G01N21/3518 ,  G01N21/05 ,  G01N21/31 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/359 ,  G01N33/225 ,  G01N2021/3536 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/023

Abstract: Described herein is a spectroscopic system and method for measuring and monitoring the chemical composition and/or impurity content of a sample or sample stream using absorption light spectroscopy. Specifically, in certain embodiments, this invention relates to the use of sample pressure variation to alter the magnitude of the absorption spectrum (e.g., wavelength-dependent signal) received for the sample, thereby obviating the need for a reference or ‘zero’ sample. Rather than use a reference or ‘zero’ sample, embodiments described herein obtain a spectrum/signal from a sample-containing cell at both a first pressure and a second (different) pressure.

Abstract translation: 本文描述的是使用吸收光谱测量和监测样品或样品流的化学成分和/或杂质含量的光谱系统和方法。 具体地说，在某些实施方案中，本发明涉及使用样品压力变化来改变为样品接收的吸收光谱的幅度（例如，依赖于波长的信号），从而避免了对参考或“零”样品的需要。 不是使用参考或“零”样本，本文所述的实施例在第一压力和第二（不同）压力下都从含样品的单元获得光谱/信号。

公开(公告)号：EP3043172A1

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：EP15201936.0

申请日：2015-12-22

Applicant: Rolls-Royce plc

Inventor： Worth, Nicholas A ,  Harding, Stephen C

IPC: G01N21/956 ,  F01D21/00

CPC classification number: G01N21/53 ,  B23P2700/06 ,  F01D5/186 ,  F01D21/003 ,  F05D2260/202 ,  F05D2260/607 ,  F05D2260/83 ,  G01M15/14 ,  G01N21/64 ,  G01N21/95692 ,  G01N2201/023

Abstract: A method and apparatus for testing an engine component, e.g. a turbine blade, guide vane or exhaust duct, for blockage of one or more through-holes (114) in at least a portion of a wall (104) thereof, wherein the portion of the wall (104) comprises a known pattern of through-holes (114) therein extending between first and second sides of the wall (104), the method comprising:
(i) providing in a first region to the first side of the wall (104) a supply (130) of a test fluid, wherein the test fluid comprises a material able to scatter electromagnetic radiation incident thereon;
(ii) causing or permitting a flow of the test fluid to occur from the first region to a second region to the second side of the wall (104);
(iii) illuminating the second region with electromagnetic radiation (155) to cause scattering of electromagnetic radiation by material (160) exiting substantially non-blocked through-holes (114) in the wall portion (104) having passed therethrough from the first side to the second side;
(iv) detecting said scattering of electromagnetic radiation from said substantially non-blocked through-holes (114); and
(v) comparing said detected scattering of electromagnetic radiation from said substantially non-blocked holes (114) with the known pattern of through-holes in the component wall portion (104) to determine the presence and/or location and/or identity of any blocked or partially blocked through-holes (114B) in the component wall portion (104).

Abstract translation: 一种用于测试发动机部件的方法和装置，例如， 用于在其壁（104）的至少一部分中阻塞一个或多个通孔（114）的涡轮机叶片，导向叶片或排气管，其中所述壁（104）的所述部分包括已知的通过图案 其中在所述壁（104）的第一和第二侧之间延伸的孔（114），所述方法包括：（i）在第一区域中向所述壁（104）的第一侧提供测试流体的供应（130） ，其中所述测试流体包括能够散射入射在其上的电磁辐射的材料; （ii）引起或允许所述测试流体从所述第一区域到所述壁（104）的第二侧发生到第二区域的流动; （iii）用电磁辐射（155）照射所述第二区域，以使从所述第一侧穿过的所述壁部分（104）中基本上未堵塞的通孔（114）离开的材料（160）散射电磁辐射到 第二面 （iv）检测来自所述基本上未堵塞的通孔（114）的电磁辐射的所述散射; 以及（v）将来自所述基本上未堵塞的孔（114）的所述检测到的电磁辐射散射与所述部件壁部分（104）中的已知图案的通孔进行比较，以确定所述部件壁部分（104）中的存在和/或位置和/或身份 组件壁部分（104）中的任何阻塞或部分阻挡的通孔（114B）。

公开(公告)号：EP2373978B1

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：EP09837058.8

申请日：2009-12-24

Applicant: SpectraSensors, Inc.

Inventor： HU, Xuejiao ,  FEITISCH, Alfred

IPC: G01N21/39 ,  G01N21/53 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01N2201/022 ,  G01N2201/023 ,  G01N2201/0231