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公开(公告)号:KR100327481B1
公开(公告)日:2002-06-24
申请号:KR1019950059491
申请日:1995-12-27
IPC: G01P3/44
Abstract: PURPOSE: A micro gyroscope is provided to sense displacement of a vibration structure owing to coriolis force using a sensor disposed on the same plane as the vibration structure. CONSTITUTION: A vibration structure(35,35',36') has portions(35,35') of a stripe shape disposed in parallel, a plurality of connection portions(36) connecting the stripe-type portions, and combs(40,42) formed at one sides of the stripe-type portions. Elastic members(32,32') elastically maintain the vibration structure so as to be spaced apart from a substrate. A driver(33) has a comb(39) between combs(40) of one stripe-type portion(35) so as to drive the vibration structure in one direction. A sensor(34) has a comb(41) disposed between combs(42) of the other stripe-type portion(36), so as to sense one motion direction of the vibration structure through capacitance variation. A plurality of sense electrodes(38) are disposed on the same plane as the vibration structure between the connection portions(36) so as to sense displacement caused when coriolis force is transmitted to the vibration structure.
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公开(公告)号:KR1019970048472A
公开(公告)日:1997-07-29
申请号:KR1019950059491
申请日:1995-12-27
IPC: G01P3/44
Abstract: 본 발명에 따르면, 기판(44)과; 스트라이프 형상 부분(35,35'), 다수의 연결부분(36) 및, 코움(40,42)을 구비한 진동 구조물(35,35',36')과; 상기 진동 구조물(35,35',36')을 탄성적으로 유지시키는 탄성 부재(32,32')와; 상기 진동 구조물(35,35',36)을 가진시킬 수 있는 구동 수단(33)과; 상기 진동 구조물(35,35',36)의 일 방향 운동을 감지할 수 있는 감지 수단(34)과; 상기 진동 구조물(35,35',36)에 코리올리의 힘에 의한 변위를 감지하도록 배치된 다수의 감지 전극(38);을 구비한 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 신규한 진동 구조물과 감지 전극을 도입함으로써, 종래 기술에 따른 진동 구조물의 가공상 문제점을 해결하는 동시에 성능을 향상시킬 수 있는 장점을 지닌다.
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公开(公告)号:KR1019970047975A
公开(公告)日:1997-07-29
申请号:KR1019950059492
申请日:1995-12-27
IPC: G01C19/56
Abstract: 본 발명에 따르면 기판 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 제1감지수단(31), 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 구동수단(32), 상기 제1 감지수단(31) 및 상기 구동수단(32)의 평면으로부터 수직 상방으로 소정의 높이로 이격되어 있으며 다수의 제1홈(35) 및 다수의 (36)을 지니는 진동 구조물(34), 상기 진동 구조물(34)을 상기 기판으로부터 소정의 높이로 유지시킬 수 있도록 상기 기판위에 형성된 지지부(39) 및 진동 구조물(34)과 지지부(39) 사이를 연결시키는 탄성부재(38)를 구비하는 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 전체적인 구성이 매우 단순화되었으므로 제작이 용이할뿐만 아니라 사용도중에 고장이 발생할 가능성이 거의 없는 우수한 성능을 발휘한다.
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公开(公告)号:KR1019970022628A
公开(公告)日:1997-05-30
申请号:KR1019950037779
申请日:1995-10-28
IPC: G05D19/00
Abstract: 본 발명에 따르면, 지지단에 일단이 고정된 탄성 부재; 상기 탄성 부재의 탄성력에 의해 진동 운동하는 관성체; 상기 관성체와 일체로 형성된 이동 전극; 지지단에 고정된 유효 강성 제어용 전극; 상기 이동 전극과 상기 유효 강성 제어용 전극 사이에 전기력을 발생시킬 수 있도록 전압을 인가하는 전원 공급 장치; 를 구비한 진동 구조물에 있어서, 상기 관성체의 변위에 대하여 상기 이동 전극과 상기 유효 강성 제어용 전극 사이에 발생하는 전기력이 선형적으로 변화될 수 있도록 상기 이동 전극 또는 상기 유효 강성 제어용 전극이 소정의 형상을 지니는 것을 특징으로 하는 진동 구조물 및, 그것의 고유 진동수 제어방법이 개시된다. 본 발명의 진동 구조물은 관성체의 변위에 따라 진동계에 발생하는 전기력이 선형적으로 변화하므로 인가 전압의 변경만으로 고유 진동수를 제어할 수 있는 장점이 있다.
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公开(公告)号:KR1019960042014A
公开(公告)日:1996-12-19
申请号:KR1019950013258
申请日:1995-05-25
IPC: G01C19/00
Abstract: 진동형 자이로스코프를 개시한다. 이 진동형 자이로스코프는 상호 소정간격이격되는 복수개의 질량 판부재와, 상기 각 질량판부재의 양측에 설치되어 상기 질량판부를 가진시키는 구동수단과, 상기 각 진동판부재를 지지하는 현수수단과, 상기 진동판부재와 소정간격 이격되도록 진동판부재의 하부에 위치되는 전극부재를 구비하여 된 것으로, 상기 상기 현수수단이 상기 각 진동판 부재와 지지부에 의해 연결된 바(bar)와, 상기 바의 양 단부에 길이 방향으로의 인장력을 줄이기 위한 고정수단과, 상기 바의 진동에 따른 응답모드의 노드점에 설치된 지지수단을 구비하여 된 것에 그 특징이 있으며, 이는 응답모드의 진동폭을 크게 할 수 있는 이점을 가진다.
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公开(公告)号:KR101924415B1
公开(公告)日:2019-02-20
申请号:KR1020170056346
申请日:2017-05-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01N27/02 , G01N33/574 , G01N27/327
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公开(公告)号:KR101727624B1
公开(公告)日:2017-04-17
申请号:KR1020150067196
申请日:2015-05-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: F16K99/00
Abstract: 미세유체밸브는입구와출구에각각연통된제1 개구부와제2 개구부그리고상기제1 개구부와상기제2 개구부사이에서연장하여상기제1 및제2 개구부들을구분하는밸브시트를갖는채널유로층구조물, 상기채널유로층구조물을커버하고상기밸브시트와선택적으로접촉가능하도록작동하고상기제1 개구부및 상기제2 개구부와함께제1 영역및 제2 영역을각각정의하는가변형멤브레인, 및상기가변형멤브레인을사이에두고상기채널유로층구조물상에배치되고상기가변형멤브레인과함께상기가변형멤브레인을상기밸브시트로가압또는감압하기위한제3 영역을형성하기위한제3 개구부를갖는멤브레인제어층구조물을포함하고, 상기밸브시트는상기밸브시트의적어도일부가상기제2 영역으로돌출하도록구부러진형상을갖는다.
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公开(公告)号:KR101680712B1
公开(公告)日:2016-12-12
申请号:KR1020140145468
申请日:2014-10-24
Abstract: 세포융합장치는유입부와유출부를포함하며적어도세포를포함하는유체의흐름을위한공간을제공하는챔버, 상기챔버내에구비되어상기유체가흐르는유체채널을형성하고상기유체내의상기세포를포획하기위한포획부및 상기포획부에연통되며상기포획부를통해유입된적어도 2개의세포들을서로융합시키기위한공간을제공하는융합부를갖는적어도하나의세포융합구조물, 상기세포융합구조물의상기포획부에구비되며상기포획부의상기유체채널의단면적을제어하여상기세포를선택적으로포획하도록작동하는가변형박막구조물, 및상기가변형박막구조물에압력을인가하기위한박막제어부를포함한다.
Abstract translation: 细胞融合装置包括包含第一输入/输出部分和第二输入/输出部分的腔室,并通过包含细胞流的流体提供空间,至少一个细胞融合结构,设置在腔室中以形成流体通道, 流体流动并且具有适于捕获流体中的细胞的捕获部分和连接到捕获部分的融合部分,并且提供用于将由捕获部分捕获的至少两个细胞融合并按顺序移入熔融部分的空间, 膜结构,其设置在细胞融合结构的捕获部分中,并被配置为致动以改变捕获部分的流体通道的横截面面积并且选择性地捕获细胞;以及膜控制部分,被配置为向 可变形膜结构。
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公开(公告)号:KR1020160133946A
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:KR1020150067196
申请日:2015-05-14
Applicant: 한국과학기술원
IPC: F16K99/00
Abstract: 미세유체밸브는입구와출구에각각연통된제1 개구부와제2 개구부그리고상기제1 개구부와상기제2 개구부사이에서연장하여상기제1 및제2 개구부들을구분하는밸브시트를갖는채널유로층구조물, 상기채널유로층구조물을커버하고상기밸브시트와선택적으로접촉가능하도록작동하고상기제1 개구부및 상기제2 개구부와함께제1 영역및 제2 영역을각각정의하는가변형멤브레인, 및상기가변형멤브레인을사이에두고상기채널유로층구조물상에배치되고상기가변형멤브레인과함께상기가변형멤브레인을상기밸브시트로가압또는감압하기위한제3 영역을형성하기위한제3 개구부를갖는멤브레인제어층구조물을포함하고, 상기밸브시트는상기밸브시트의일부가상기제2 영역으로돌출하도록구부러진형상을갖는다.
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