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    압전 충격 센서 및 그 제조 방법
    101.
    发明公开
    압전 충격 센서 및 그 제조 방법 审中-实审
    压电式传感器及其制造方法

    公开(公告)号：KR1020170017398A

    公开(公告)日：2017-02-15

    申请号：KR1020150111242

    申请日：2015-08-06

    Applicant: 삼성전기주식회사

    Inventor： 하문수 ,  조홍연 ,  김용구

    IPC: H01L41/113 ,  H01L41/083 ,  H01L41/047 ,  H01L41/27

    CPC classification number: G01P15/0922 ,  G01P2015/0828 ,  H01L41/27 ,  H01L41/29

    Abstract: 본발명은, 하부커버, 제1 및제2 압전시트가적층된압전소자및 상부커버; 를포함하며, 상기제1 및제2 압전시트는캔틸레버부와틀부가일체로이루어지며, 상기제1 및제2 압전시트상에서로대향하는방향으로노출되도록제1 및제2 내부전극이각각형성되는압전충격센서및 그제조방법을제공한다.

    Abstract translation: 一种压电式震动传感器包括下盖，堆叠第一和第二压电片的压电元件和上盖。 第一和第二压电片中的每一个具有彼此一体形成的悬臂部和框部。 第一和第二内部电极分别形成在第一和第二压电片上。 分别电连接到第一和第二内部电极的第一和第二引线部分通过压电元件的相对的侧表面暴露。

    가속도 측정 센서
    102.
    发明授权
    가속도 측정 센서 失效
    具有可变轴灵敏度的三轴加速度计

    公开(公告)号：KR101332136B1

    公开(公告)日：2013-11-21

    申请号：KR1020060033584

    申请日：2006-04-13

    Applicant: 제너럴 일렉트릭 캄파니

    Inventor： 버드더글러스에스

    IPC: G01P15/02

    CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/097 ,  G01P2015/0828

    Abstract: 가속도계는 관성 질량(10)과, 고정 베이스(30)와, 베이스로부터 질량을 지지하여 부정정의 지지 시스템을 제공하는 적어도 하나 또는 그 이상의 지지체/센서(12, 14, 16, 18, 20, 22, 24)를 포함한다. 지지체/센서는 장착 패드 사이에 현수되어 오실레이터(40)에 의해 진동되는 이중단부형 듀얼 비임 튜닝 포트(34)가 바람직하다. 정정 지지 시스템을 위해 필요한 이들 지지체/센서 이상으로 하나 또는 그 이상의 지지체/센서를 추가함으로써, 지지 시스템은 부정정을 제공하며, 그에 따라 하나 또는 그 이상의 방향에서 민감하다.

    진동형 센서
    103.
    发明授权
    진동형 센서 有权
    振动式传感器

    公开(公告)号：KR101031378B1

    公开(公告)日：2011-04-25

    申请号：KR1020090077643

    申请日：2009-08-21

    Applicant: 세이코 엡슨 가부시키가이샤 ,  엡슨 토요콤 가부시키 가이샤

    Inventor： 니시자와류타 ,  가메타다카히로

    IPC: G01P15/13 ,  G01P15/00 ,  G01L1/10

    CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P2015/0828

    Abstract: 센서에 가해지는 충격 등에 의해 진동편에 생기는 응력 집중을 방지함으로써, 진동편의 파손을 방지하고, 내충격성이 우수한 진동형 센서를 제공한다.
    소정의 공진 주파수에서 평면 방향으로 굴곡 진동하는 들보형상의 진동 아암(15, 16)과, 진동 아암(15, 16)의 한쪽의 단부로부터 순서대로, 제1 베이스부(12), 제1 잘록부(8), 제1 지지부(17)가 형성되고, 다른 쪽의 단부로부터 순서대로, 제2 베이스부(13), 제2 잘록부(9), 제2 지지부(18)가 형성된 진동편(11)과 진동편(11)을 지지하는 기대(基臺)(23)를 가지며, 진동편(11)은, 제1 지지부(17) 및 제2 지지부(18)의 한 주면(31)이 기대(23)와 접속되어 있다.

    정전용량형 가속도 센서
    104.
    发明授权
    정전용량형 가속도 센서 有权
    静电电容型加速传感器

    公开(公告)号：KR100903789B1

    公开(公告)日：2009-06-19

    申请号：KR1020060046933

    申请日：2006-05-25

    Applicant: 미쓰비시덴키 가부시키가이샤

    Inventor： 야마구치야스오 ,  호리카와마키오 ,  오쿠무라미카 ,  사토우키미토시

    IPC: G01P3/483

    CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0008 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/0235 ,  G01P1/023 ,  G01P2015/0828

    Abstract: 정전용량형 가속도 센서에 있어서, 가동전극을 가지는 가속도 검출부를 수납하고 있는 밀폐 공간 내로의 수분 등의 침입 및 양극 접합시에 캡(8)에 축적되는 정전기로 인한 전계로 가동전극의 캡에 들러붙는 것을 방지한다. 밀폐 공간을 구성하고 있는 캡(8)의 내면 전체면에 연성변형하는 도전성의 실드막(9)을 설치하고, 상기 실드막(9)을 접합틀(7)과 캡(8) 사이에 개재하도록 연장시키며, 가동 전극(6)과 전기적으로 접속시킴으로써, 접합틀(7)의 표면에 요철이 존재하고 있어도, 양호한 접합틀(7)과 캡(8)과의 양극 접합이 가능하게 되며, 캡(8)에 축적된 정전기에 의한 전계를 차폐할 수 있다.
    실드막, 정전기, 밀폐 공간, 전계

    용량성 가속센서
    105.
    发明授权
    용량성 가속센서 失效
    电容加速传感器

    公开(公告)号：KR100236486B1

    公开(公告)日：1999-12-15

    申请号：KR1019950039283

    申请日：1995-11-02

    Applicant: 콘티 테믹 마이크로일렉트로닉 게엠베하

    Inventor： 귄터슈스터 ,  우도노텔퍼

    IPC: G01P15/125

    CPC classification number: G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828

    Abstract: 본 발명은 특히 차량내의 승객 보호장치의 구성요소로 사용하기 위한 평면형 구조물이 완성된 용량성 가속센서에 관한 것이다. 전기적으로 단열되어 있지만 서로간에 기계적으로 접합된 2개의 반도체 소자간의 공간내에는 자기 지지구조물이 이동 가능하게 설치되어 있다. 여기서 부동질량의 자기 지지구조물상에 작용하는 가속력은 자기 지지구조물과 반도체 소자간의 거리를 변화시킨다. 이것은 적합한 회로에 의해서 평가될 수 있는 용량의 변화를 제공한다.

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