公开(公告)号：KR1020060013060A

公开(公告)日：2006-02-09

申请号：KR1020040061839

申请日：2004-08-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병하 ,  권명종 ,  김남균

IPC: B41J2/05

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1645

Abstract: 잉크젯 프린트 헤드의 제조방법을 제공한다. 상기 제조방법은 기판 상에 잉크 토출을 위한 에너지 발생 요소를 형성하는 것을 포함한다. 상기 기판 상에 챔버층 및 상기 에너지 발생 요소에 대응하는 노즐을 구비하는 노즐층을 형성한다. 상기 챔버층 및 상기 노즐층 중 적어도 한 층은 광라디칼 발생제, 라디칼과 반응하여 경화될 수 있는 에폭시 레진 및 비광반응성 용매를 함유하는 광경화성 수지 조성물을 사용하여 형성한다.
챔버층, 노즐층, 광경화성 수지 조성물, 광라디칼 발생제, 에폭시 레진

Abstract translation: 提供了一种制造喷墨打印头的方法。 该制造方法包括在基板上形成用于喷墨的能量产生元件。 具有腔室层和与能量产生元件对应的喷嘴的喷嘴层形成在基板上。 腔室层和喷嘴层的至少一个层是使用含有环氧树脂和bigwang反应性溶剂，其可以通过与光自由基的自由基生成反应而固化的光固化树脂组合物形成。

公开(公告)号：KR1020060006346A

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：KR1020040055292

申请日：2004-07-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병하 ,  권명종 ,  박성준

IPC: B41J2/05

Abstract: 일체식 잉크젯 헤드의 제조방법을 제공한다. 이 방법은 기판 상에 잉크 토출을 위한 압력을 생성하는 발열 저항기를 형성하는 것을 포함한다. 상기 기판 상에 네가티브 감광성 수지층 및 포지티브 감광성 수지층을 차례로 형성한다. 유로패턴이 마련된 포토마스크를 사용하여 상기 포지티브 감광성 수지층 및 상기 네가티브 감광성 수지층에 대한 노광을 수행하여 상기 네가티브 감광성 수지층에 유로의 측벽을 한정하는 잠상 패턴을 형성한다. 상기 포지티브 감광성 수지층을 현상하여 상기 잠상패턴을 노출시키는 포지티브 감광성 수지층 패턴을 형성한다. 다음으로, 상기 포지티브 감광성 수지층 패턴 및 상기 잠상패턴 상에 상기 발열 저항기와 대응되는 노즐을 구비하는 노즐층을 형성한다. 상기 발열 저항기 사이의 상기 기판을 관통하는 잉크 공급구를 형성한다. 상기 포지티브 감광성 수지층 패턴 및 상기 포지티브 감광성 수지층 패턴 하부의 노광되지 않은 상기 네가티브 감광성 수지층을 제거한다.

잉크젯, 일체식, 노광, 감광성 수지

公开(公告)号：KR1020050108970A

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：KR1020040034430

申请日：2004-05-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병하 ,  하용웅 ,  박성준 ,  권명종

IPC: C08L63/00

CPC classification number: G03F7/038 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1631 ,  G03F7/0043 ,  G03F7/0048

Abstract: 광경화성 수지 조성물, 패터닝 방법, 잉크젯 헤드 및 그 제조방법이 제공된다. 상기 광경화성 수지 조성물은 에폭시 화합물, 광개시제로써 제공되는 광촉매 및 비광반응성 용매를 포함한다. 상기 광촉매는 광에너지에 의하여 전자-정공 쌍을 생성시키는 반도체 물질인 것이 바람직하다. 이러한 반도체 물질은 TiO
2 , CdS, Si, SrTiO
3 , WO, ZnO, SnO
2 , CdSe, 또는 CdTe일 수 있다. 상기 에폭시 화합물은 이작용성 에폭시 화합물 및 다작용성 에폭시 화합물을 포함할 수 있다. 상기 비광반응성 용매로는 감마 부티로락톤, 싸이클로펜타논, C
1-6 아세테이트, 테트라 하이드로 푸란, 크실렌(xylene) 또는 이들의 혼합물일 수 있다. 상기 광경화성 수지 조성물을 패터닝함으로써 잉크젯 헤드의 유로 구조물이 형성된다.

公开(公告)号：KR100509481B1

公开(公告)日：2005-08-22

申请号：KR1020020076274

申请日：2002-12-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권명종 ,  김윤기 ,  박성준 ,  민재식 ,  김경일 ,  박용식 ,  박병하

IPC: B41J2/235

Abstract: 일체형 잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 제조방법은, 기판 상에 히터와 전극을 형성하는 단계와, 히터와 전극이 형성된 기판 상에 원자외선(DUV) 감광성 포토레지스트를 도포하여 제1 포토레지스트층을 형성하는 단계와, 제1 포토레지스트층 위에 자외선(UV) 감광성 포토레지스트를 도포하여 제2 포토레지스트층을 형성하는 단계와, 제2 포토레지스트층을 노즐 패턴이 형성된 제1 포토마스크를 사용하여 자외선(UV)에 노광시키는 단계와, 제2 포토레지스트층을 현상하여 노즐이 형성된 노즐층을 형성하는 단계와, 제1 포토레지스트층을 잉크챔버와 리스트릭터 패턴이 형성된 제2 포토마스크를 사용하여 원자외선(DUV), 전자선 및 X선 중 어느 하나에 노광시키는 단계와, 기판의 배면으로부터 기판을 관통되도록 식각하여 잉크공급구를 형성하는 단계와, 제1 포토레지스트층을 현상하여 잉크챔� ��와 리스트릭터가 형성된 유로형성층을 형성하는 단계를 구비한다. 이와 같은 구성에 의하면, 별도의 희생층 없이 포토리소그라피 공정에 의해 일체형 잉크젯 프린트헤드를 제조할 수 있으므로, 그 공정이 보다 단순화되고 잉크 유로의 형상 및 치수의 제어가 용이하다.

公开(公告)号：KR100470592B1

公开(公告)日：2005-03-08

申请号：KR1020020046940

申请日：2002-08-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김윤기 ,  박병하 ,  권명종 ,  박용식 ,  민재식

IPC: B41J2/235

Abstract: 본 발명의 모노리식 버블 잉크젯 프린트 헤드는 잉크를 가열하기 위한 저항체와 저항체를 보호하도록 저항체 위에 보호층을 형성한 기판; 기판을 관통하는 잉크 공급구; 쳄버, 리스트릭터, 잉크공급로 등의 유로구조를 형성하도록 포토 레지스트를 포토리소그래피 공정으로 패터닝하는 것에 의해 보호층 위에 형성된 쳄버 플레이트; 및 노즐을 형성하도록 드라이 필름 레지스트를 포토리소그래피 공정으로 패터닝하는 것에 의해 쳄버 플레이트 위에 형성된 노즐 플레이트를 포함한다. 본 발명의 프린트 헤드 제조방법은 상면에 잉크를 가열하기 위한 저항체를 내장하고 저항체 위에 보호층이 형성된 기판을 마련하는 단계, 보호층 상에 포토 레지스트를 형성하는 단계, 잉크 쳄버, 리스트릭터, 잉크공급로 등의 유로구조의 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 포토 레지스트을 패터닝하는 것에 의해 쳄버 플레이트를 형성하는 단계, 쳄버 플레이트 상에 드라이 필름 레지스트를 형성하는 단계, 및 노즐의 패턴이 형성된 마스크를 사용하여 드라이 필름 레지스트를 패터닝하여 노즐 플레이트를 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, 노즐 플레이트 형성시 하층의 쳄버 플레이트용 포토 레지스트가 용해되지 않도록 노즐 플레이트를 드라이 필름 레지스트로 형성함으로써, 쳄버 플레이트의 잉크 쳄버, 리스트릭터, 잉크공급로 등의 치수 정확성이 저하되는 문제를 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR100449720B1

公开(公告)日：2004-09-22

申请号：KR1020020018016

申请日：2002-04-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박용식 ,  조서현 ,  민재식 ,  박병하 ,  권명종 ,  김경일

IPC: B41J2/05

Abstract: PURPOSE: An ink jet print head is provided to improve ink ejecting capacity and supply quick speed and response property by the uniform heat emission of a heater. CONSTITUTION: An ink jet print head is composed of a nozzle plate(200) having a nozzle(210) for ejecting ink droplets; a base plate(100) positioned under the nozzle, wherein an ink chamber(110) filled with ink together with the nozzle plate is mounted; and a heater(300,300a,300b,300c) for generating bubbles by heating ink(400) filled in the ink chamber, covering the central axis of the nozzle and having the characteristics of electric resistance that is reduced from the central axis toward the radial outside thereof. The heater is formed on one of the upside and the bottom of the nozzle plate.

Abstract translation: 目的：提供喷墨打印头以提高喷墨能力并通过加热器的均匀散热提供快速和响应特性。 构成：喷墨打印头由具有用于喷射墨滴的喷嘴（210）的喷嘴板（200）组成; 位于所述喷嘴下方的基板（100），其中安装有与所述喷嘴板一起填充有墨的墨室（110）; 以及通过加热填充在所述墨室中的墨（400）来产生气泡的加热器（300,300a，300b，300c），所述加热器覆盖所述喷嘴的中心轴并且具有从所述中心轴向所述径向减小的电阻特性 在其外面。 加热器形成在喷嘴板的上侧和下侧中的一个上。

公开(公告)号：KR1020040013853A

公开(公告)日：2004-02-14

申请号：KR1020020046940

申请日：2002-08-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김윤기 ,  박병하 ,  권명종 ,  박용식 ,  민재식

IPC: B41J2/235

Abstract: PURPOSE: A monolithic bubble ink jet print head and a method for manufacturing the same are provided to prevent a fluid path structure from being inaccurately formed by forming a nozzle plate using dry film resist. CONSTITUTION: A monolithic bubble ink jet print head includes a silicon substrate(101), a first ink feeding path(102), a chamber plate(108) and a nozzle plate(109). The silicon substrate(101) is formed with a heater(106) for heating ink and a protective layer(105) for protecting the heater(106). The first ink feeding path(102) is formed by passing through the silicon substrate(101). The chamber plate(108) is formed on the protective layer(105) of the silicon substrate(101). The nozzle plate(109) is provided on the chamber plate(108) by patterning dry film resist through a photolithography process.

Abstract translation: 目的：提供一种单片式气泡喷墨打印头及其制造方法，以通过使用干膜抗蚀剂形成喷嘴板来防止流体路径结构不准确地形成。 构成：整体式气泡喷墨打印头包括硅基板（101），第一供墨路径（102），室板（108）和喷嘴板（109）。 硅基板（101）形成有用于加热油墨的加热器（106）和用于保护加热器（106）的保护层（105）。 第一供墨路径（102）通过硅衬底（101）形成。 室板（108）形成在硅衬底（101）的保护层（105）上。 喷嘴板（109）通过光刻工艺对干膜抗蚀剂进行构图而设置在室板（108）上。

公开(公告)号：KR1020030030689A

公开(公告)日：2003-04-18

申请号：KR1020010062947

申请日：2001-10-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박성준 ,  조서현 ,  고상철 ,  민재식 ,  김경일 ,  박병하 ,  김태균 ,  정명송

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/14129 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645

Abstract: PURPOSE: A bubble jet type ink jet print head is provided to improve an exhaust characteristic of ink by forming a concave recess on a substrate, on which a bottom surface of an ink chamber is placed. CONSTITUTION: A bubble jet type ink jet print head includes a base plate(110), a barrier(120), and a nozzle plate(130), which are sequentially stacked. The barrier(120) defines an ink chamber(122) for filling ink therein and an ink passage for feeding ink from an ink reservoir to the ink chamber(122). The barrier(120) forms a sidewall surrounding the ink chamber(122) and the ink passage. The base plate(110) is formed by depositing various layers on a substrate. A bottom surface(124) of the ink chamber(122) is formed with a concave section. A plurality of nozzles(132) is formed in the nozzle plate(130).

Abstract translation: 目的：提供一种气泡喷墨式喷墨打印头，以通过在其上放置墨水室的底表面的基板上形成凹形凹槽来改善墨水的排气特性。 构成：气泡喷墨式喷墨打印头包括依次堆叠的基板（110），屏障（120）和喷嘴板（130）。 阻挡物（120）限定用于在其中填充墨水的墨水室（122）和用于将油墨从墨水储存器供给到墨水室（122）的墨水通道。 屏障（120）形成围绕墨水室（122）和墨水通道的侧壁。 基板（110）通过在基板上沉积各种层而形成。 墨水室（122）的底面（124）形成有凹形部分。 多个喷嘴（132）形成在喷嘴板（130）中。

公开(公告)号：KR1020020051332A

公开(公告)日：2002-06-29

申请号：KR1020000080126

申请日：2000-12-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박성준 ,  정명송 ,  정성천 ,  김태균 ,  박병하 ,  김경일

IPC: B41J2/235

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing monolithic bubble inkjet print head is provided to achieve improved productivity by depositing polycrystalline silicon thin film through LPCVD process, while improving performance of product by ensuring uniformity of resistance value. CONSTITUTION: A method is characterized in that adhesive layer developing process, nozzle plate manufacturing process and adhesion process are eliminated, and a heater wafer(13) and a nozzle plate(19) are manufactured through a batch manufacturing process. Each heater and nozzle portion have individual ink feeding part, and a chamber(18) and a nozzle are obtained through a patterning process using a photosensitive epoxy polymer. The polycrystalline silicon serving as a heater film is deposited onto a silicon wafer through LPCVD process so as to obtain a resistor. Alternatively, resistance value is obtained through ion implantation or diffusion process, after completion of LPCVD process. The resistor is heat-treated after formation so as to prevent fluctuation of resistance value.

Abstract translation: 目的：提供一种制造单片气泡喷墨打印头的方法，以通过LPCVD工艺沉积多晶硅薄膜来提高生产率，同时通过确保电阻值的均匀性来提高产品性能。 构成：一种方法的特征在于消除了粘合剂层显影工艺，喷嘴板制造工艺和粘合过程，并且通过批量制造工艺制造加热晶片（13）和喷嘴板（19）。 每个加热器和喷嘴部分具有单独的供墨部分，并且通过使用感光环氧聚合物的图案化工艺获得室（18）和喷嘴。 用作加热膜的多晶硅通过LPCVD工艺沉积到硅晶片上，以获得电阻。 或者，LPCVD工艺完成后，通过离子注入或扩散工艺获得电阻值。 电阻器在形成后进行热处理，以防止电阻值的波动。

公开(公告)号：KR100266746B1

公开(公告)日：2000-09-15

申请号：KR1019980008853

申请日：1998-03-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박병하

IPC: H03L7/08

Abstract: PURPOSE: A CMOS fractional N frequency synthesizer for wireless communications having low phase noises is provided to reduce noise due to quantization, save power consumption, change output frequency quickly, reduce spurious and simplify the circuit configuration. CONSTITUTION: The CMOS fractional N frequency synthesizer(100) includes a reference divider(110), a phase-frequency detector(120), a charging pump(130), a loop filter(140), a voltage controlled oscillator(150), a multimodulus prescaler(160), a 3rd order sigma-delta modulator(170) and an RF output buffer(180). Here the digital phase -frequency detector(120) and the charging pump(130) forms a phase-frequency detector. The voltage controlled oscillator(150) responds to the frequency control voltage(Vc) from the loop filter(140) and produces a variable frequency(F3). The sigma-delta modulator9170) responds to the m-bit frequency setting data signal and produces a scale controlling data signal(SC). The phase error signal from the phase-frequency detector(120) is sent to the voltage controlled oscillator(150) through the loop filter(140).

Abstract translation: 目的：提供具有低相位噪声的无线通信的CMOS分数N频率合成器，以减少由于量化造成的噪声，节省功耗，快速改变输出频率，减少寄生并简化电路配置。 构成：CMOS分数N频率合成器（100）包括参考分压器（110），相位频率检测器（120），充电泵（130），环路滤波器（140），压控振荡器（150） 多模预分频器（160），三阶Σ-Δ调制器（170）和RF输出缓冲器（180）。 这里，数字相位频率检测器（120）和充电泵（130）形成相位频率检测器。 压控振荡器（150）响应来自环路滤波器（140）的频率控制电压（Vc）并产生可变频率（F3）。 Σ-Δ调制器9170）对m位频率设置数据信号进行响应并产生标尺控制数据信号（SC）。 来自相位频率检测器（120）的相位误差信号通过环路滤波器（140）发送到压控振荡器（150）。