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公开(公告)号：KR101155991B1
公开(公告)日：2012-06-18
申请号：KR1020070063614
申请日：2007-06-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/14129 , B41J2/1404 , B41J2002/14387 , Y10T29/49401
Abstract: 본 발명은 열 구동 방식으로 동작되는 잉크젯 화상형성기기의 헤드칩과 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 화상형성기기의 헤드칩은 기판의 상측에 형성되어 열을 발생시키는 히터와, 히터의 상측에 형성되며 잉크가 공급되는 잉크챔버가 형성되는 챔버층과, 챔버층의 상측에 형성되며 잉크챔버와 대응하도록 노즐이 형성되는 노즐층과, 히터에서 발생한 열의 일부를 노즐에 전달하는 열전달층이 형성되어 노즐을 통과하여 분사되는 잉크가 열전달층을 통해 전달된 열에 의해 가열되어 점도가 낮아지도록 되어 있으므로, 노즐을 통해 분사되는 잉크가 쉽게 끊어져 구형에 가까운 형태의 잉크액적을 얻을 수 있게 되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020080114247A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020070063614
申请日：2007-06-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/14129 , B41J2/1404 , B41J2002/14387 , Y10T29/49401
Abstract: A head chip of an ink jet image forming apparatus and a manufacturing method thereof are provided to form ink droplet in the shape of approximately complete sphere by allowing the ink discharged through the nozzle to be cut easily. A head chip of an ink jet image forming apparatus comprises a heater(3) which is formed on the upper side of a substrate(1) and generates the heat, an insulation layer(2) made of silicon oxide on the upper of the substrate, a heater protection layer(4) made of silicon nitride film, a chamber layer(6) in which an ink chamber(6a) for supplying the ink is formed, a nozzle layer(8) in which a nozzle(8a) is formed to correspond to the ink chamber, and a heat transfer layer(7) delivering a part of heat generated in the heater to the nozzle.
Abstract translation: 提供一种喷墨图像形成装置的头部芯片及其制造方法，以通过允许通过喷嘴排出的墨水容易地被切割而形成近似整个球体形状的墨滴。 喷墨图像形成装置的头部芯片包括形成在基板（1）的上侧并产生热量的加热器（3），在基板的上部形成由氧化硅制成的绝缘层（2） ，由氮化硅膜制成的加热器保护层（4），形成有用于供应墨水的墨水室（6a）的腔室层（6），形成喷嘴（8a）的喷嘴层（8） 以及将在加热器中产生的一部分热量传送到喷嘴的传热层（7）。
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公开(公告)号：KR1020080000421A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：KR1020060058224
申请日：2006-06-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/14129 , B41J2202/03 , B41J2202/11
Abstract: A print head and a manufacturing method thereof are provided to increase energy efficiency of a heater layer, to preclude excessive heat from being transferred to an ink chamber, and to improve ejecting or printing efficiency of ink by installing the heater layer in which a heat transferring part and other parts have different heights. A print head comprises a substrate(210), a heat insulating layer(220), and a heater layer(230). The substrate has an upper part an ink chamber(270) and a nozzle. The heat insulating layer is deposited on the substrate. The heater layer is deposited on the heat insulating layer and installed with a heat transferring part(232). The thickness of the heat insulating layer is non-uniform. The part corresponding to the heat transferring part is thicker than the other parts. A lead wire layer(240) is deposited on the heater layer to apply current to the heater layer. A protective layer(250) is deposited on the heater layer and the lead wire layer.
Abstract translation: 提供一种打印头及其制造方法，以提高加热器层的能量效率，防止过多的热量转移到墨水室，以及通过安装加热器层来提高墨的喷射或打印效率，其中传热 部分和其他部分具有不同的高度。 打印头包括基底（210），隔热层（220）和加热层（230）。 基板具有上部，墨水室（270）和喷嘴。 绝热层沉积在基底上。 加热器层沉积在绝热层上并安装有传热部分（232）。 隔热层的厚度不均匀。 与传热部相对应的部分比其他部分厚。 引线层（240）沉积在加热器层上以向加热器层施加电流。 保护层（250）沉积在加热器层和引线层上。
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公开(公告)号：KR1020070037897A
公开(公告)日：2007-04-09
申请号：KR1020050093055
申请日：2005-10-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05 , B41J29/377
CPC classification number: B41J2/14129
Abstract: 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드가 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 기판; 기판 상에 형성되는 절연층; 절연층 상에 형성되는 히터; 히터에 전류를 인가하기 위한 것으로, 히터 상에 형성되는 도체; 히터 및 도체가 형성된 절연층 상에 적층되는 것으로, 히터의 상부에 토출될 잉크가 채워지는 잉크챔버가 형성된 챔버층; 및 챔버층 상에 적층되는 것으로, 잉크챔버의 상부에 잉크가 토출되는 노즐이 형성된 노즐층; 및 히터로부터 발생되어 절연층에 잔존하는 열을 상기 기판 쪽으로 방출시키기 위한 것으로, 절연층의 하부에 절연층 및 기판과 접촉하도록 마련되는 복수의 서멀 플러그(thermal plug);를 구비한다.
Abstract translation: 公开了一种热驱动喷墨打印头。 所公开的喷墨打印头包括基板; 形成在基板上的绝缘层; 加热器形成在绝缘层上; 形成在加热器上的用于向加热器施加电流的导体; 在加热器的上部形成填充有要排出的油墨的油墨室的腔室层，腔室层被层压在其上形成有加热器和导体的绝缘层上; 以及喷嘴层，层叠在所述腔室层上，所述喷嘴层形成有喷嘴，通过所述喷嘴将墨水喷射在所述墨水室的上部上; 和用于释放从加热器产生的热量在朝向衬底的绝缘层被留下，多个热塞（热插头）的被提供给所述绝缘层和在绝缘层的下部的衬底相接触;以及一个。
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公开(公告)号：KR100641357B1
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：KR1020040067635
申请日：2004-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1645
Abstract: 본 발명은 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 카트리지에 저장된 잉크를 공급받기 위한 잉크 피드홀 및 잉크 챔버와 연통되는 리스트릭터를 갖는 기판과; 상기 기판의 상부에 형성된 산화막과; 상기 산화막의 상부에 형성되며, 상기 리스트릭터를 가로지르며 배치되는 히터와; 상기 히터와 전기적으로 연결되어 형성되는 리드와; 상기 리드의 상부에 형성되며, 잉크 챔버를 형성하는 챔버층과; 상기 챔버층의 상부에 형성되며, 노즐을 갖는 노즐층을 포함하며, 상기 리드는 상기 챔버층의 하부에 삽입되어 있으며, 상기 히터는 기판상에 지지되는 고정부와, 상기 노즐을 향해 경사지게 연장되는 경사부와, 상기 경사부 사이에서 기판과 평행하게 연장되는 평행부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드를 제공한다.
본 발명에 의하면, 히터가 경사부에 의해 지지되어 있으므로, 잉크 공급압이나 캐비테이션 포스가 히터의 표면에 가해져도 경사부가 완충재의 역할을 하게 되므로 히터의 수명을 연장할 수 있게 된다. 또한, 히터가 직각으로 꺾인 부분을 갖지 않으므로 증착 공정에 의해 히터 박판을 형성하는 경우에도 균일한 두께를 갖도록 형성할 수 있다.
잉크젯, 헤드, 히터, 희생층.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020060067754A
公开(公告)日：2006-06-20
申请号：KR1020040106655
申请日：2004-12-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1626 , B41J2/1631
Abstract: 본 발명은 잉크젯 프린트헤드에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명은, 기판의 상면에 절연층을 형성하는 절연층형성단계; 절연층상에 저면히터를 형성하고, 저면히터의 상측에 전면히터와 다른 재질로 소정간격 이격되는 다수의 단위 히터셀이 마련된 히터를 형성하는 히터형성단계; 히터의 상측에 전극을 형성하는 전극형성단계; 히터 및 전극의 상측에 보호층을 형성하는 보호층형성단계; 보호층의 상측에 잉크 챔버와 잉크 유로를 형성하는 유로플레이트를 형성하는 유로플레이트형성단계; 유로플레이트의 상측에 잉크 챔버에 대응되는 노즐이 형성된 노즐플레이트를 형성하는 노즐플레이트형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 이에 따라, 히터에 의해 형성되는 버블의 형상을 제어할 수 있어, 노즐로 토출되는 잉크 토출특성을 개선할 수 있고, 버블에 의해 발생되는 케비테이션이 히터의 일부분에 집중적으로 발생하는 것을 방지하며, 토출방식에 따른 적합한 버블을 형성시킬 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100560717B1
公开(公告)日：2006-03-13
申请号：KR1020040016598
申请日：2004-03-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/14129 , B41J2/1412
Abstract: 잉크젯 헤드 기판, 잉크젯 헤드 및 잉크젯 헤드 기판의 제조방법이 제공된다. 상기 잉크젯 헤드 기판은 지지 구조물을 구비한다. 잉크 토출을 위한 열에너지를 발생시키되, 약 20 내지 80 원자%의 금속, 약 3 내지 25 원자%의 탄소 및 약 10 내지 60 원자%의 질소로 이루어진 적어도 하나의 발열저항기가 상기 지지 구조물의 일면에 배치된다. 상기 발열 저항기는 약 300 내지 2000μΩ·㎝의 비저항 값을 갖는다.
ink jet head substrate, heat generating resistor, specific resistance-
公开(公告)号：KR1020050121145A
公开(公告)日：2005-12-26
申请号：KR1020040046309
申请日：2004-06-21
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 민재식
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1629
Abstract: 잉크젯 헤드의 제조방법을 제공한다. 이 방법은 기판을 준비하는 것을 포함한다. 상기 기판 상에 절연성 열장벽층(insulating thermal barrier layer)을 형성한다. 상기 절연성 열장벽층 상에 도전성 금속층을 형성한다. 다음으로, 상기 도전성 금속층을 패터닝하여 배선 패턴을 형성한다. 상기 배선 패턴의 소정영역을 선택적으로 제거하여 상기 배선 패턴이 제거된 영역에 발열부를 한정하고, 동시에 상기 발열부에 의하여 이격된 제1 배선 및 제2 배선을 형성한다. 상기 제1 배선 및 사이 제2 배선을 갖는 상기 기판 상에 콘포말한 고저항 금속층을 형성하되, 상기 고저항 금속층은 ALD법을 사용하여 형성된다. 상기 고저항 금속층을 패터닝하여 상기 발열부를 덮고 상기 제1 배선 및 상기 제2 배선 상으로 연장된 발열 저항기를 형성한다. 상기 제1 배선, 상기 제2 배선 및 상기 발열 저항기 상에 절연성 보호층을 형성한다.
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公开(公告)号：KR1020050066309A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097576
申请日：2003-12-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1646
Abstract: 본 발명에 따른 열전사식 잉크젯 프린트 헤드는, 기판상에 발열층과 전극층을 순차적으로 적층시키는 단계와, 잉크챔버 내부에 노출되는 전극층 및 발열층의 상면에 제 1 보호층과 제 2 보호층을 순차적으로 적층시켜 보호층을 형성시키는 단계와, 보호층의 상면에 잉크챔버 배리어 및 노즐 플레이트를 적층하여 잉크챔버를 형성시키는 단계를 포함하며, 제 2 보호층은 제 1 보호층의 적층시 발생되는 흠결을 플라즈마의 인가를 통해 인가한 후 제 1 보호층의 상면에 적층된다. 이에 의하면, 제 1 보호층의 형성시 핀홀(Pin hole)의 발생을 억제시킬 수 있어, 잉크젯 프린트 헤드의 구동시 제 1 보호층의 파손 및 핀홀에 의해 발열층이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020040097848A
公开(公告)日：2004-11-18
申请号：KR1020030030364
申请日：2003-05-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/235
Abstract: PURPOSE: A method of manufacturing a monolithic ink jet print head is provided to improve an ink exhaust performance by uniformly forming a fluid path. CONSTITUTION: A heater layer is formed, and then, the heater layer remains only in a part in which an ink chamber is formed by patterning with respect to the heater layer. After forming a negative photo-resist layer on the substrate(110), a patterning process is performed with respect to a result structure, thereby forming a fluid path plate. After forming a positive photo-resist layer on the fluid path plate(130), the patterning process is performed with respect to a result structure, thereby forming a first sacrificial layer. After forming a positive photo-resist layer on the first sacrificial layer, the patterning process is performed with respect to a result structure, thereby forming a second sacrificial layer. A nozzle plate is formed on the second sacrificial layer and the fluid path plate. A nozzle(106) is formed on the nozzle plate.
Abstract translation: 目的：提供一种制造单片喷墨打印头的方法，以通过均匀地形成流体路径来改善排墨性能。 构成：形成加热器层，然后，通过相对于加热器层进行图案化，加热器层仅保留在其中形成墨室的部分中。 在基板（110）上形成负光致抗蚀剂层后，对结果结构进行图案化处理，从而形成流体通路板。 在流体路径板（130）上形成正光致抗蚀剂层之后，对结果结构进行构图处理，从而形成第一牺牲层。 在第一牺牲层上形成正光致抗蚀剂层之后，对结果结构进行构图处理，从而形成第二牺牲层。 喷嘴板形成在第二牺牲层和流体路径板上。 在喷嘴板上形成喷嘴（106）。
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