公开(公告)号：CN103201198A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201180052964.5

申请日：2011-10-28

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 太田达司 ,  福岛正纯 ,  伊藤靖久

IPC: B65G1/00 ,  B65G47/52

CPC classification number: B65G47/00 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明的搬运系统为了在多个处理装置（4）间搬运物品（18）设置有通过处理装置（4）的装卸口（6）的上部的高架行驶车（12）的轨道（10）和沿高架行驶车（12）的轨道（10）行驶并具备升降机（14）的高架行驶车（12）。还设置有局域轨道（20），其被配置成比高架行驶车（12）的轨道（10）低的高度等级、至少延伸到高架行驶车（12）的轨道（10）的正下方、且俯视观察时该局域轨道朝向与高架行驶车（12）的轨道（10）成直角的方向；局域台车（22），其沿局域轨道（20）行驶并具备升降物品（18）的升降机（38）；缓冲区（26、50、60），其被配置在局域轨道（20）的下部并能够与局域台车（22）之间交接物品（18）并且至少延伸到高架行驶车（12）的轨道（10）的正下方。

公开(公告)号：CN102862772A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201210349258.3

申请日：2012-09-19

Applicant: 深圳市华星光电技术有限公司

Inventor： 陈增宏 ,  吴俊豪 ,  林昆贤 ,  齐明虎 ,  郭振华 ,  杨卫兵

IPC: B65G1/04

CPC classification number: B65G1/02 ,  B65G2201/0297 ,  B65G2207/28 ,  B65G2207/42 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明公开了一种玻璃基板卡匣的承载装置及仓储设备，承载装置包括：承载元件，用于承载玻璃基板卡匣；缓冲定位元件，设置于承载元件上，用于沿水平方向弹性定位玻璃基板卡匣。通过上述方式，本发明承载装置的缓冲定位元件承载玻璃基板卡匣时存在一个缓冲过程，不会出现承载于玻璃基板卡匣中的玻璃基板移位或破片的情况。

公开(公告)号：CN101209774B

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN200710305744.4

申请日：2007-12-28

Applicant: 村田自动化机械有限公司

Inventor： 前泷进

IPC: B65G1/04 ,  B65G35/00 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B66C1/62 ,  B65G9/002 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  B66C1/36 ,  Y10S414/14

Abstract: 一种用于存储来自输送车架(110)的被输送物体(220)的存储设备(1)，该输送车架在抓持被输送物体时沿着安装在天花板(210)上或其附近的轨道行进。该存储设备设有托架部分(30)，在其上放置被输送物体；以及支撑部件(10)，其上端由轨道或者天花板支撑并且其下端支撑所述托架部分。所述支撑部件选择性地具有第一和第二形状中的一种。所述第一形状允许所述输送车架将被输送物体在预定位置处放置在所述托架部分上，所述第二形状允许所述托架部分从所述轨道下方的位置离开。

公开(公告)号：CN102530553A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110338937.6

申请日：2011-10-28

Applicant: 村田自动化机械有限公司

Inventor： 太田达司 ,  福岛正纯 ,  伊藤靖久

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G1/0457 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供一种搬送系统以及搬送方法，能够不堵塞处理装置的前表面并且减小在俯视观察下搬送系统所占的占地面积，且迅速地向处理装置供给搬出物品。与高架输送车轨道平行且在高架输送车轨道的下方，设置从处理装置的装载口的上游侧到下游侧且配置于装载口的上方的区间轨道，供具备提升机的区间台车行驶。在区间轨道的下部设置有配置在处理装置的装载口的上游侧的第一缓冲部、和配置在下游侧的第二缓冲部，从而使高架输送车和区间台车都自如地交接物品。

公开(公告)号：CN102405519A

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN200980158761.7

申请日：2009-06-02

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 木股友也

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67766 ,  B65G47/503 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67294 ,  H01L21/67727

Abstract: 本发明在环形带上安装多个搬运器并使之环行，搬运器用于保持并搬送半导体存储盒等，并且具有搬运器识别用的被识别部。设置多个站，该站具有与搬运器之间交接物品的机械手、沿着传送带的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测被识别部的传感器。根据传感器的信号，识别搬运器，并且识别搬运器在规定位置出现了的情况，使机械手相对于期望的搬运器动作。通过用于检测搬运器的位置的传感器，能够识别搬运器。

公开(公告)号：CN101217126B

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200810002276.8

申请日：2003-08-29

Applicant: 应用材料有限公司

Inventor： 迈克尔·R·赖斯 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  埃里克·A·恩格尔哈德 ,  罗伯特·B·劳伦斯 ,  马丁·R·埃里奥特

IPC: H01L21/677

CPC classification number: B65G37/02 ,  B65G47/61 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  H01L21/67778

Abstract: 在本发明的第一方面中，一基片加载站用于连续传送基片载体的运输装置。一个基片载体搬运器作为该基片加载站的一部分，对其进行操作从而和运输装置交换基片载体，同时基片载体在运动中。载体交换过程可以包括使基片载体搬运器的端部操作装置以与运输装置的速度大体上相匹配的速度来运动。本发明还提供了许多其它的方面。

公开(公告)号：CN102026858A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200980117729.4

申请日：2009-05-14

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 本田则明 ,  泉孝宪

IPC: B61B3/02 ,  B61B13/06 ,  B65G1/00 ,  B66C11/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6773 ,  B61B3/02 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  B66C11/04 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736

Abstract: 本发明提供一种天车，当升降时输送物品难以与盖掉落防止部件发生冲突。天车，以悬挂的状态收纳、输送在侧面能够装卸地设置有盖(4a)的输送物品，其具备：天车主体、升降机构、盖掉落防止部件(62)和动力传递机构(82)。升降机构设置于天车主体，能够对FOUP(4)进行升降。盖掉落防止部件(62)与盖(4a)的正面接近配置。动力传递机构(82)在对FOUP(4)的升降时使盖掉落防止部件(62)从盖(4a)的正面退避。

公开(公告)号：CN101998926A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200980112704.5

申请日：2009-01-15

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 乾吉隆

IPC: B65G1/04 ,  H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67769 ,  B65G2201/0297

Abstract: 本发明提供一种能够防止导致结构复杂化并且能够使架前后方向的设置空间更小的物品收纳设备，设有：在上下方向以及左右方向上具备多个收纳部(1)的物品收纳架(2)，以及将物品(3)自由输送到该物品收纳架(2)的各收纳部(1)中的物品输送装置(4)，物品输送装置包括：移动体(12)、在物品收纳架(2)的架横宽方向上移动自如，升降引导柱(13)、相对于该移动体(12)在物品收纳架(2)的架前后方向上移动自如，以及物品支撑体(14)、通过升降引导柱(13)在架前后方向上的移动、在相对于收纳部(1)的物品移载用的突出位置与从收纳部(1)后退的后退位置之间移动自如，且由升降引导柱(13)引导和支撑而升降自如。

公开(公告)号：CN1537797B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200410035218.7

申请日：2004-01-27

Applicant: 应用材料有限公司

Inventor： 迈克尔·R·赖斯 ,  罗伯特·B·劳伦斯 ,  马丁·R·埃利奥特 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  埃里克·安德鲁·恩格尔哈德

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67706 ,  B65G17/20 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67778 ,  Y10S414/135

Abstract: 本发明提供了一第一传送系统，适合于在半导体器件制造设备内部传送衬底载体。该第一传送系统包括一根带条，该带条沿着半导体器件制造设备的至少一部分形成了一个闭合回路。该带条适合于(1)在水平平面中呈柔性而在竖直平面中呈刚性；和(2)在半导体器件制造设备的至少一部分内部传送若干衬底载体。按照本发明的这些以及其他方面，提供了多种其他形式，比如系统、方法和计算机程序产品。

公开(公告)号：CN1923640B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200610125753.0

申请日：2006-08-29

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 乾吉隆

IPC: B65G1/04 ,  B65G47/74

CPC classification number: B65G47/5104 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  Y10S414/14

Abstract: 本发明涉及一种物品搬送设备，具备：搬送物品用的移动体，设置为能够沿移动路径移动，并具备物品保持部；保管物品用的物品支承体，可以在物品交接位置(article transfer position)和物品保管位置之间位移，其中所述的物品交接位置，用于从移动体的保持部接受物品，并向保持部交出物品；和操作装置，设在移动体上，用于在该移动体停在物品支承体对应的物品移载位置的状态下，使物品支承体在物品保管位置和物品交接位置之间位移。