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公开(公告)号：CN106461460A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580010174.9
申请日：2015-01-29
Applicant: 唯亚威通讯技术有限公司
CPC classification number: G01J3/0229 , G01J3/0208 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/12 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J2003/1213 , G01J2003/1221 , G01J2003/1234 , G01J2003/2813 , G02B5/285
Abstract: 公开了一种光学滤波器，该光学滤波器包括以彼此相距固定距离地堆叠的两个横向可变带通滤波器，使得上游滤波器起到用于下游滤波器的空间滤波器的作用。这发生是因为由上游滤波器透射的倾斜的光束在碰撞在下游滤波器上时被横向地位移。当在倾斜的光束碰撞到上游滤波器和下游滤波器上的位置处的透射通带不重叠时，横向的位移引起倾斜的光束的抑制。
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公开(公告)号：CN106415222A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201480077461.7
申请日：2014-04-03
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0256 , G01J3/0205 , G01J3/0262 , G01J3/18
Abstract: 公开了一种光谱仪、光谱仪的波导片的制造方法及其结构。在制造方法中，利用微机电制造程序使硅晶圆形成至少一个波导片(1)，波导片逸侧边(13)。光谱仪组件(31)可精确定位于定位侧边(12)，减少光谱仪组件间于抵靠波导片时存在的错位现象，且杂光经由杂光散逸侧边(13)而离开，减少噪音误差，可提升光谱仪的感度和解析度。(1)具有至少一定位侧边(12)以及至少一杂光散
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公开(公告)号：CN105960579A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201580007240.7
申请日：2015-02-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/021 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/0264 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/18
Abstract: 分光器(1A)具备：光检测元件(20)，其设置有光通过部(21)及光检测部(22)；支撑体(30)，其以在与光通过部(21)及光检测部(22)之间形成空间(S)的方式固定于光检测元件(20)；第1反射部(11)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将通过光通过部(21)的光(L1)反射；第2反射部(12)，其设置于光检测元件(20)，且在空间(S)中，将由第1反射部(11)反射的光(L1)反射；以及分光部(40)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将由第2反射部(12)反射的光(L1)相对于光检测部(22)进行分光并反射。
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公开(公告)号：CN105814417A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201480068015.X
申请日：2014-09-17
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0221 , G01J3/0262 , G01J3/12 , G01J3/2803 , G01J3/30 , G01J3/36 , G01J2003/1234 , G01J2003/1243 , G02B5/28 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及分光单元以及使用该分光单元的分光装置。本发明的分光单元以及分光装置具备从被测定光的入射侧向出射侧按顺序配置的多个滤光片元件，具有与沿着第一方向的入射位置对应而具有不同透射波长的滤光片，通过使上述多个滤光片元件中的一个第一滤光片元件将分别与上述第一方向以及从上述入射侧朝向射出侧的第二方向分别正交的第三方向作为旋转轴旋转规定的角度，或者将上述第一方向作为旋转轴旋转规定的角度，从而使上述第一滤光片元件相对于与该第一滤光片元件邻接配置的第二滤光片元件被倾斜地配置。
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公开(公告)号：CN104501960B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410775107.3
申请日：2014-12-16
Applicant: 杭州彩谱科技有限公司 , 中国计量学院
IPC: G01J3/46
CPC classification number: G01J3/0251 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0262 , G01J3/501 , G01J3/502 , G01J3/513 , G01J3/524
Abstract: 本发明公开了一种基于LED光源的分光测色仪及其实现方法，包括：一积分球、耦合光路和光谱仪，其中，所述积分球的内壁上分布有8个LED组成的复合光源，且积分球球壁设置光源入射孔径，每个LED发出的光从光源入射孔径入射积分球内部，投射在积分球内壁上；耦合光路用于将测量口径处的光线耦合进入入射狭缝，同时去除积分球内壁的杂散光；光线从积分球的观察孔径出射后，经过耦合光路进入光谱仪的入射狭缝，经过分光光路分光后，投射到线阵传感器上，线阵传感器上的不同像元对应了不同波长处的光辐射强度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103424187B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201310359016.7
申请日：2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0256 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块（1）中，由于本体部（2）为板状，因而能够通过本体部（2）的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部（2）为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块（1）。即，通过对作为多个本体部（2）的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部（3）、衍射层（4）、反射层（6）以及光检测元件（7）设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块（1）。如此，能够容易地大量生产分光模块（1）。
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公开(公告)号：CN102971823B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201180033884.5
申请日：2011-07-08
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/22 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/244
CPC classification number: G01J3/0262 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01N21/9501 , G01N21/95684 , G01N2021/8825 , G01N2021/95653 , H01J37/226 , H01J37/3005 , H01J37/3056 , H01J2237/31749
Abstract: 一种用于处理衬底的带电粒子束系统被公开，其包括：带电粒子镜筒；组合红外辐射和可见光照射与成像子系统；真空中的光学器件；以及精密镜台，所述精密镜台用于支撑所述衬底并且将所述衬底交替地定位在所述带电粒子镜筒和所述成像系统下面。所述带电粒子镜筒和成像系统的轴被偏移，以实现对于成像和射束处理两者而言与在单个集成组件中将是可能的工作距离相比近得多的工作距离。一种用于极准确地校准所述镜筒与成像系统之间的偏移的方法被公开，实现了在所述衬底上的精确确定的位置处的射束处理。所述成像系统能够定位所述衬底上的不能够使用所述带电粒子束看见的子表面特征。两个照射模式被公开，实现了采用红外辐射和可见光的明场成像和暗场成像两者。
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公开(公告)号：CN102680097B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201210063704.4
申请日：2012-03-12
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0218 , G01J3/0232 , G01J3/0262 , G01J3/027 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 提供一种分光特性测量方法以及分光特性测量装置，用于更高精度地测量被测量光的分光特性。分光特性测量方法包括以下步骤：使波长范围为第二波长范围的光入射到在第一波长范围具有检测灵敏度的分光测量器，第二波长范围为上述第一波长范围的一部分；从与由分光测量器检测出的第一光谱中的第二波长范围以外的范围相对应的部分中获取表示杂散光成分的特性信息；以及对特性信息进行外插处理直至第一波长范围中的第二波长范围为止，来获取表示产生于上述分光测量器的杂散光成分的图案。
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公开(公告)号：CN102538962B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201210015681.X
申请日：2012-01-19
Applicant: 杭州远方光电信息股份有限公司
Inventor： 潘建根
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/021 , G01J3/0216 , G01J3/0237 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 本发明公开了一种低杂散光多色仪，包括光学腔、入射狭缝、色散系统和阵列探测器，色散系统的色散元件为光栅，阵列探测器的光敏面与光栅的主截面倾斜相交。本发明通过改变多色仪内光学器件的相对位置，使阵列探测器的光敏面上因发生非期望反射而产生的杂散光刚好被反射出期望光路，并在光学腔内壁，反射光斑投影的平面上安装消光的小光阑，从而大幅降低了杂散光。
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公开(公告)号：CN104956193A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201380071639.2
申请日：2013-01-30
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/0218 , G01J3/0208 , G01J3/0262 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 一种光感测模块、光谱仪的光机构及光谱仪。光感测模块包含一光感测元件(1)及一光纤。光感测元件具有至少一列的多数感光单元(11)。光纤由透光材料构成且具有一圆柱表面，并且圆柱表面的一侧相对多数感光单元设置，用以改变至少一部分感光单元所接收的入射光。该光感测模块，可增加光感测元件的集光量，适合改善微小化的装置或系统的整体光接收或光利用效率。
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