Abstract:
Apparatus for determining the effective surface roughness of polished optical samples, by measuring the total integrated scattering, only operates for non-light-transmissive samples. For a transmissive sample, the invention adds a light trap behind the sample for transmitted light, and a diaphragm in front of the sample. The rear surface of the diaphragm is provided with a non-reflective wafing which traps secondary light reflected or scattered by the inside rear surface of the sample.
Abstract:
듀얼빔 장치를 가지는 산란미터기 또는 파로우지아미터(parousiameter) 및 이를 사용하기 위한 방법이 광학 파라메타의 측정을 생성하기 위해 제공된다. 듀얼빔 파로우지아미터는 베이스(320)와 저면에 봉합된 반구돔 인클로우저(318)를 포함한다. 방사 소스(302)는 2개의 빔인 샘플 표면(308)을 조명하기 위한 조명빔(304) 및 이 조명빔(304)에 관한 광학 특징화 정보를 제공하는 교정빔(330)에서 방사를 생성한다. 각 빔은 별개의 광학 경로를 통하여 반구돔 인클로우저(318)로 인도된다. 광학 이미징 디바이스(324)는 조명빔(304)에 의해 조명된 샘플 표면(308)에 의해 산란된 산란 방사(314)의 이미지를 획득하고, 동시에 교정빔의 이미지를 획득하기 위해 위치된다. 이 교정빔 이미지는 산란 방사 데이터를 분석하는 경우, 방사 소스(302)의 광학 출력에서 변동성을 보상하기 위해 사용된다. 빔, 파로우지아미터, 광학, 프로젝터, 스크린
Abstract:
PURPOSE: A fire sensing unit is provided to prevent wrong operation due to a noise component, since there is no need to separate the signal line from a base board. CONSTITUTION: A device substrate(31) is installed in an optical case(21) and has a receiving element unit(12). The device substrate is connected to a signal line(35) which is communicated with an inlet of a main wall of the optical case. The opening unit of the optical case is closed by the optical cover. The signal line is inserted into a slit(37) which is opened in the upper end face of the main wall.
Abstract:
유리와 같은 평탄한 표면들 상에 나타날 수 있는 점형태(punctiform), 선형(linear) 또는 층형(laminar) 결함들을 검출하기 위하여 광학 센서가 사용된다. 상기 광학 센서는 a) 텔레센트릭 레이저 스캐너(12); 및 b) 검출 유닛(11)을 포함하고, 상기 텔레센트릭 레이저 스캐너(12)는 평탄한 표면(5)에 거의 수직하는 조명을 위한 레이저(1), 스캐닝 미러(2), 및 조명 및 검출 빔들을 안내하기 위한 텔레센트릭 광학 시스템(4)을 구비하고, 상기 검출 유닛(11)은 광학 검출기 시스템(8), 텔레센트릭 레이저 스캐너(4)를 향해서 광학 검출기 시스템 부근에 동심적으로(concentrically) 위치되는 중앙 조리개(9), 평탄한 표면들(5) 상의 결함들로부터 나오는 스캐터링된 광을 검출하기 위한 고감도 광전자증배기(6), 및 상기 광전자증배기(6)의 업스트림에 배치되는 슬릿 조리개(9)를 구비한다. 응용/제품 : 표면들의 광학 조사를 위한 조사 시스템
Abstract:
본 발명은 광원으로부터 측정 대상물까지의 거리가 변동된 경우라도, 수광 영역을 항상 일정하게 유지할 수 있어, 거리 변동의 영향을 회피할 수 있음과 동시에, 측정 영역 외부로부터 미광(迷光)이 입사하여 오차를 발생하는 것을 방지할 수 있어, 측정 정밀도를 향상시키는 것을 목적으로 한다. 측정 대상을 조명하는 광원과, 상기 측정 대상의 측정면으로부터 반사된 광을 수광하는 수광기와, 상기 측정 대상의 측정면에 조사되는 조명광 및 상기 측정 대상의 측정면으로부터 반사되어 수광기에 수광되는 반사광을 제한하는 개구부를 갖는 개구 부재를 구비하고, 상기 측정 대상의 측정면에 접촉하지 않고 비접촉 상태에서 측정 대상물을 광학적으로 측정하는 광학 측정 장치에 있어서, 상기 개구 부재를 상기 측정 대상의 측정면에 대한 조명 영역을 결정하는 제 1 개구 부재와, 상기 측정 대상의 측정면으로부터 반사되어 상기 수광기에 입사하는 반사광의 측정 영역을 결정하는 제 2 개구 부재로 구성하여 과제를 해결하였다. 광학 측정 장치, 메인 애퍼처, 서브 애퍼쳐, 조명 렌즈, 수광 렌즈
Abstract:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for inspecting defects in which method when one side of a sample such as a transparent sheet is irradiated with light with the sample such as a transparent sheet continuously moved, transmitted light is imaged over the edge of a light-shielding plate from the other side of the sample with a line sensor camera to inspect whether there are defects or not, misalignment of the edge of the light-shielding plate with the optical axis of a line sensor camera and tilt thereof around the optical axis are prevented to stably maintain inspection accuracy.SOLUTION: A light-shielding plate 8 comprises: a central area covering a part of a light emitting surface in the moving direction of a sample 3 a border of which part a linear edge 8A crossing a moving direction thereof at a predetermined angle defines; and end part areas forming through holes of a predetermined pattern in the light-shielded regions wholly covering the end parts of the light emitting surface in the moving direction of the sample 3, and enables evaluation of whether there are defects on the sample 3 or not in the central area and detection of the relative position of the light-shielding plate 8 to a line sensor camera 6 in the end part areas.